<p>Изобретение относится к спосо</p></li></ul>
<p>2</p>
<p>бам получения многоцветного изображения и позволяет повысить качество изображения посредством того, что экспонирование фоторезиста осуществляют посредством цветоделенных фотошаблонов, а перед электрохимическим окрашиванием осуществляют термообработку для задубливания фоторезиста, при этом электрохимическое окрашивание осуществляют по всей поверхности через растровые цветоделенные маски.</p>
<p>Изобретение касается получения многоцветных изображений.</p>
<p>Целью изобретения является повышение качества изображения.</p>
<p>Способ получения многоцветного изображения заключается в нанесении пленки металла на диэлектрическую подложку, очистке поверхности металла, нанесении фоторезиста, его экспонировании, проявлении, электрохимическом окрашивании и удалении фоторезиста. Экспонирование фоторезиста осуществляют посредством цветоделенных фотошаблонов, а- перед электрохимическим окрашиванием осуществляют термообработку для задубливания фоторезиста, при этом электрохимическое окрашивание осуществляют по всей поверхности через растровые цветоделенные маски.</p>
<p>Пример. На диэлектрическую подложку, например ситалловую, катодным распылением наносят пленку тантала толщиной 0,2 мкм. Затем нанесенную пленку покрывают слоем позитивного фоторезиста, например ФП-РН7. Для пе</p>
<p>реноса изображения с цветного оригина-д ла на пленку металла изготавливают ® три цветоделенных растровых фотошабло- £/1 на-негатива. При изготовлении негатива для желтой окраски применяют сине-фио- |Саш> летовый светофильтр, для красной (розовой) - зеленый светофильтр, для синей (голубой) —красный светофильтр. На цветоделенных растровых негативах выполняют элементы (знаки) совмещения. После изготовления фотошаблонов-негативов проводят экспонирование пленки фоторезиста через первый негатив. После проявления и сушки фоторезиста получают цветоделенную растровую фоторезистовую маску, через которую проСЛ</p>
<p>№</p>
<p>00</p>
<p>СФ</p>
<p>СИ</p>
<p>водят электрохимическое окрашивание (окисление) свободных от фоторезиста участков металла. За цветом (тоном) следят визуально по цветовой контрольной шкале напряжений. Окрашивание (окисление) проводят в растворах слабых кислот, например в лимонной. После получения первого (в данном случае синего) изображения фоторе</p>
<p>зист удаляют и наносят новый его</p>
<p>3</p>
<p>1542835</p>
<p>4</p>
<p>слой. После совмещения второго негатива проводят экспонирование через второй негатив. После проявления и сушки фоторезиста проводят окисление свободных от фоторезиста участков металла через вторую растровую цветоделенную фоторезистовую маску до получения зеденого изображения. Затем фоторезистовую маску удаляют и проводят такой же цикл операций с использованием третьего негатива - получают красное изображение. Окрашивание проводят в 2%-ном растворе лимонной кислоты при постоянной плотности тока в пределах 0,5 ~ 25 мА/см<sup>2</sup> до напряжения 33~3б В для получения синей окраски, 144-145 В для получения зеленой окраски, 170 180 В - для получения красной окраски. После удаления третьей растровой цветоделенной фоторезистовой маски проводят травление неокисленных (неокрашенных) участков пленки тантала до ситалла в растворе НЕ + + ΗΝΟ, в соотношении 1:9, при этом</p>
<p>10</p>
<p>15</p>
<p>20</p>
<p>25</p>
<p>окисленная пленка не травится. Сложение трех моноцветных изображений дает в сумме полутоновое многоцветное изображение.</p><p> The invention relates to a method </ p> </ li> </ ul>
<p> 2 </ p>
<p> Bam to obtain a multi-color image and allows you to improve the image quality through the fact that the exposure of the photoresist is carried out by means of color-separated photomasks, and before electrochemical staining is carried out heat treatment for the photoresist blunting, while electrochemical staining is performed over the entire surface through raster color-separated masks.
<p> The invention relates to obtaining multi-color images. </ p>
<p> The purpose of the invention is to improve the image quality. </ p>
<p> A method for producing a multi-color image consists of applying a metal film on a dielectric substrate, cleaning the metal surface, applying a photoresist, exposing it, developing it, electrochemically painting and removing the photoresist. Exposure of the photoresist is carried out by means of color-separated photomasks, and, before electrochemical staining, heat treatment is carried out to blunt the photoresist, while electrochemical staining is performed over the entire surface through raster-separated masks. </ P>
<p> Example. A film of tantalum with a thickness of 0.2 μm is deposited on a dielectric substrate, for example, a sieve metal cathode spray. Then the applied film is coated with a layer of positive photoresist, for example, FP-PH7. For ne </ p>
<p> Rendering images from a color original to a metal film is made by means of three color-separated raster photo frames / £ / 1 negatives. In the manufacture of negatives for yellow coloring, blue-fi- | Sash > Summer filter, for red (pink) - green filter, for blue (blue) - red filter. On color-separated raster negatives perform elements (signs) of the combination. After making the negative photomasks, the photoresist film is exposed through the first negative. After the development and drying of the photoresist, a color-separated raster photoresist mask is obtained, through which the PFL </ p>
<p> No. </ p>
<p> 00 </ p>
<p> SF </ p>
<p> SI </ p>
<p> they lead electrochemical staining (oxidation) of metal-free portions of the photoresist. Color (tone) is monitored visually on a color control scale of stresses. Staining (oxidation) is carried out in solutions of weak acids, for example, in citric acid. After receiving the first (in this case, blue) image photo </ p>
<p> The syst is removed and a new one is applied </ p>
<p> 3 </ p>
<p> 1542835 </ p>
<p> 4 </ p>
<p> layer. After combining the second negative, the exposure is carried out through the second negative. After the development and drying of the photoresist, oxidation of the metal-free sites of the metal is carried out through the second raster color-separation photoresist mask until a green image is obtained. Then the photoresist mask is removed and the same cycle of operations is performed using the third negative — a red image is obtained. Staining is carried out in a 2% citric acid solution at a constant current density in the range of 0.5 ~ 25 mA / cm <sup> 2 </ sup> to a voltage of 33 ~ 3b V to obtain a blue color, 144-145 V to obtain green coloring, 170 180 V - for red coloring. After the removal of the third raster color separated photoresist mask, etched unoxidized (unpainted) sections of the tantalum film to sitall in a solution of HE + + ΗΝΟ, in a ratio of 1: 9, while </ p>
<p> 10 </ p>
<p> 15 </ p>
<p> 20 </ p>
<p> 25 </ p>
<p> The oxidized film is not etched. The addition of three mono-color images adds up to a half-tone multicolor image. </ P>