SU1539716A1 - Projection lens with 1/3h magnification - Google Patents

Projection lens with 1/3h magnification Download PDF

Info

Publication number
SU1539716A1
SU1539716A1 SU884410124A SU4410124A SU1539716A1 SU 1539716 A1 SU1539716 A1 SU 1539716A1 SU 884410124 A SU884410124 A SU 884410124A SU 4410124 A SU4410124 A SU 4410124A SU 1539716 A1 SU1539716 A1 SU 1539716A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
component
lens
negative
fluorite
positive
Prior art date
Application number
SU884410124A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Игорь Феликсович Гуревич
Валерьян Александрович Юдицкий
Original Assignee
Предприятие П/Я Р-6495
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Р-6495 filed Critical Предприятие П/Я Р-6495
Priority to SU884410124A priority Critical patent/SU1539716A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1539716A1 publication Critical patent/SU1539716A1/en

Links

Landscapes

  • Lenses (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к оптическим системам и может найти применение в проекционных системах экспонировани , в частности в ретушировании дефектов промежуточных фотооригиналов. Целью изобретени   вл етс  увеличение разрешающей способности объектива за счет увеличени  апертуры до А1=0,37, улучшени  коррекции аберраций, а также увеличени  заднего отрезка. Объектив состоит из семи компонентов. Первый компонент - плосковыпукла  линза 1. Второй - положительный, состо щий из положительного мениска 2, выполненного из флюорита, и отрицательного мениска 3, выполненного из кварца. Третий компонент - отрицательный, состоит из дво ковыпуклой линзы 4, выполненной из флюорита, и дво ковогнутой линзы 5, выполненной из кварца и расположенной от второго компонента на рассто нии 0,14F. Четвертый компонент - отрицательный, выполненный из дво ковыпуклой линзы 6, выполненной из флюорита, и дво ковогнутой линзы 7, выполненной из кварца. П тый компонент - дво ковыпукла  линза 8, выполненна  из флюорита. Шестой компонент - отрицательный, состо щий из дво ковыпуклой линзы 9, выполненной из флюорита, и дво ковогнутой линзы 10, выполненной из кварца. Седьмой компонент - положительный, состо щий из дво ковыпуклой линзы 11 и положительного мениска 12, выполненных из флюорита. 1 ил.The invention relates to optical systems and can be used in projection exposure systems, in particular in retouching defects of intermediate photo originals. The aim of the invention is to increase the resolution of the lens by increasing the aperture to A 1 = 0.37, improving the correction of aberrations, as well as increasing the back section. The lens consists of seven components. The first component is a flat convex lens 1. The second is a positive one, consisting of a positive meniscus 2, made of fluorite, and a negative meniscus 3, made of quartz. The third component, negative, consists of a two-convex lens 4, made of fluorite, and a two-bent lens 5, made of quartz and located at a distance of 0.14F from the second component. The fourth component is a negative one, made of a double-convex lens 6, made of fluorite, and a two-bent lens 7, made of quartz. The fifth component is a dual convex lens 8, made of fluorite. The sixth component is negative, consisting of a two-convex lens 9, made of fluorite, and a two-bent lens 10, made of quartz. The seventh component is a positive one, consisting of a two-convex lens 11 and a positive meniscus 12, made of fluorite. 1 il.

Description

Изобретение относится к оптическим система и может найти применение в проекционных системах экспонирования.The invention relates to an optical system and may find application in projection exposure systems.

Цель изобретения - увеличение разрешающей способности объектива за счет увеличения апертуры до А*=0,37, повышение качества 'изображения, а также увеличение заднего отрезка.The purpose of the invention is to increase the resolution of the lens by increasing the aperture to A * = 0.37, improving the quality of the image, as well as increasing the rear segment.

На чертеже приведена оптическая схема предлагаемого объектива.The drawing shows an optical diagram of the proposed lens.

Объектив состоит из семи компонентов.The lens consists of seven components.

Первый компонент выполнен в виде плосковыпуклой линзы 1 из кварца, 15 второй компонент положительный, состоящий из положительного мениска 2, (выполненного из флюорита, и отрицательного мениска 3, выполненного из кварца, и расположен на расстоя- 20 нии 6,4F от первого компонента 1, третий компонент отрицательный, состоит из двояковыпуклой линзы 4, выполненной из флюорита, и двояковогнутой линзы 5, выполненной из квар- 25 ца, и расположен от второго компонента на расстоянии 0,14. Четвертый компонент отрицательный, состоит из двояковыпуклой линзы 6, выполненной из флюорита, и двояковогнутой линзы эд 7, выполненной из кварца. Пятый компонент двояковыпуклая линза 8, выполненная из флюорита, шестой компонент . отрицательный, состоит из двояковыпуклой линзы 9, выполненной из флюорита, и двояковогнутой линзы 10, выполненной из кварца. Седьмой компонент положительный, состоит из двояковыпуклой линзы 11 и положительного мениска 12, выполненных из флю- 4θ орита.The first component is made in the form of a plano-convex lens 1 of quartz, 15 the second component is positive, consisting of a positive meniscus 2 (made of fluorite, and a negative meniscus 3 made of quartz, and is located at a distance of 6.4F from the first component 1 , the third component is negative, consists of a biconvex lens 4, made of fluorite, and a biconcave lens 5, made of quartz, located at a distance of 0.14 from the second component.The fourth component is negative, consists of a biconvex lens 6, made of fluorite, and a biconcave lens ed 7 made of quartz.The fifth component is a biconvex lens 8 made of fluorite, the sixth component is negative, consists of a biconvex lens 9 made of fluorite, and a biconcave lens 10 made of quartz. Seventh component positive, consists of a biconvex lens 11 and a positive meniscus 12 made of flu- 4 θ orite.

Предлагаемый объектив рассчитан для видимой и ультрафиолетовой областей спектра и имеет высокую степень коррекции аберрации. Так средний квадрат волновой аберрации для Я =337,1 нм составляет 0,036, а дан 1 =?546,7 нм -0,01. Хроматизм положения менее 0,5 мкм, а хроматизм увеличения - менее 0,1 мкм.The proposed lens is designed for visible and ultraviolet spectral regions and has a high degree of aberration correction. So the average square of wave aberration for R = 337.1 nm is 0.036, and given 1 =? 546.7 nm -0.01. The chromaticity of the position is less than 0.5 μm, and the chromatism of increase is less than 0.1 μm.

Задний отрезок составляет 9,47 мм.The rear segment is 9.47 mm.

Claims (1)

Формула изобретения.Claim. Проекционный объектив с увеличением - 1/30*, содержащий пять компонентов, первый из которых плосковыпуклая линза, второй положительный, третий отрицательный и четвертый выполнены из двояковыпуклой и двояковогнутой линз, а пятый двояковыпуклая линза, отличающийся тем, что, с целью увеличения разрешающей ^способности за счет увеличения числовой апертуры, повышения качества изображения и увеличения заднего отрезка, в него за пятым компонентом введены отрицательный компонент, состоящий из двояковыпуклой и двояковогнутой линз и положительный компонент, состоящий из двояковыпуклой линзы и положительного мениска, обращенного вогнутостью к изображению, второй компонент выполнен из положительного и отрицательного менисков., обращенных вогнутостью к предмету и расположен на расстоянии 6,4F от первого компонента, где F - фокусное расстояние объектива, третий компонент расположен на расстоянии 0,14F от второго компонента, а четвертый компонент выполнен отрицательным. -A projection lens with a magnification of 1/30 *, containing five components, the first of which is a plano-convex lens, the second positive, the third negative and the fourth are made of biconvex and biconcave lenses, and the fifth biconvex lens, characterized in that, in order to increase the resolution due to an increase in the numerical aperture, an increase in image quality and an increase in the posterior segment, a negative component consisting of a biconvex and biconcave lenses is introduced into it behind the fifth component and are positive a component consisting of a biconvex lens and a positive meniscus facing concavity to the image, the second component is made of positive and negative menisci. facing concavity to the subject and is located at a distance of 6.4F from the first component, where F is the focal length of the lens, the third component is located at a distance of 0.14F from the second component, and the fourth component is negative. -
SU884410124A 1988-04-18 1988-04-18 Projection lens with 1/3h magnification SU1539716A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884410124A SU1539716A1 (en) 1988-04-18 1988-04-18 Projection lens with 1/3h magnification

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884410124A SU1539716A1 (en) 1988-04-18 1988-04-18 Projection lens with 1/3h magnification

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1539716A1 true SU1539716A1 (en) 1990-01-30

Family

ID=21368681

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU884410124A SU1539716A1 (en) 1988-04-18 1988-04-18 Projection lens with 1/3h magnification

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1539716A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 1247812, кл. G 02 В 13/14, 1984. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR960018769A (en) Projection optical system and projection exposure apparatus
JPH07294808A (en) Image forming lens
SU1539716A1 (en) Projection lens with 1/3h magnification
RU2333518C2 (en) Catadioptric lens
JP3026648B2 (en) 1x projection lens
US2671380A (en) Photographic optical objective lens system
RU2822998C1 (en) High-aperture long-focus lens
SU1136092A1 (en) Photographic lens for reproduction systems
SU1195322A1 (en) Catadioptric lens
SU1170404A1 (en) Projecting lens with 1/30 magnification
SU991346A1 (en) Projection lens having 1/30x magnification
SU1720048A1 (en) Objective
SU1420581A1 (en) Teleconverter for increasing focal distance of photographic lenses
SU1647492A1 (en) Reproduction objective
RU2037855C1 (en) Reproduction objective
SU983623A1 (en) Reproduction lens
SU1665332A1 (en) Camera objective
SU993187A1 (en) Photo zoom lens
SU1672399A1 (en) Fast objectives
RU1778736C (en) Wide-angle lens
SU1195318A1 (en) High-speed lens
SU685999A1 (en) Reflex objective lens
SU1670662A1 (en) Photographic lens
SU672595A1 (en) Teleobjective
SU905790A1 (en) Anastigmatic lens for spectrum ultraviolet region