Ярославское научно-производственное объединение "Электронприбор"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ярославское научно-производственное объединение "Электронприбор"filedCriticalЯрославское научно-производственное объединение "Электронприбор"
Priority to SU4192484/25ApriorityCriticalpatent/SU1530013A1/ru
Application grantedgrantedCritical
Publication of SU1530013A1publicationCriticalpatent/SU1530013A1/ru
Изобретение относится к технологии микроэлектроники и может быть использовано при производстве полупроводниковых приборов. Цель - повышение качества очистки поверхности. Состав для очистки поверхности антимонида индия включает, мас.%: оксиэтилированный моноалкилфенол формулы RCHO(CHCHO)H, где n = 9 - 12, в количестве 0,18 - 0,22, гексаметафосфат натрия 0,65 - 0,85, вода до 100. Состав снимает органические и минеральные загрязнения и обеспечивает полную смачиваемость водой очищенных пластин. 1 табл.
SU4192484/25A1987-02-091987-02-09Состав для очистки поверхности антимонида индия
SU1530013A1
(ru)
Metodo para soltar pelo menos uma parte de uma substancia de uma superficie;composicao de limpeza;metodo para remover substancias contendo glicosideos de superficies;metodo para remover substancias contendo n-acetilglicosamina de superficies;e metodo para remover substancias reativas com edoglicosidase de superficies