SU1516744A1 - Емкостный датчик перемещений - Google Patents
Емкостный датчик перемещений Download PDFInfo
- Publication number
- SU1516744A1 SU1516744A1 SU874318872A SU4318872A SU1516744A1 SU 1516744 A1 SU1516744 A1 SU 1516744A1 SU 874318872 A SU874318872 A SU 874318872A SU 4318872 A SU4318872 A SU 4318872A SU 1516744 A1 SU1516744 A1 SU 1516744A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- electrically conductive
- dielectric
- coefficient
- interface
- electrode
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и позвол ет повысить чувствительность емкостного датчика перемещений. Датчик содержит две электропроводные пластины 1 и 2, на одной из которых в выемке 6 размещен капельный электрод из электропроводной жидкости 5, закрытый диэлектрической пленкой и погруженный в диэлектрическую жидкость 7. При изменении зазора между пластинами 1 и 2 происходит деформаци капельного электрода, вследствие чего измен етс площадь изолированного контактного п тна между этим электродом и электропроводной пластиной 1. Благодар этому существенно измен етс емкость датчика и увеличиваетс крутизна его характеристики преобразовани . 1 ил.
Description
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано в измерительных преобразовател х дл измерени малых перемещений.
Целью изобретени вл етс повышение чувствительности емкостного датчика перемещений путем изменени эффективной площади электропроводных пластин (электродов датчика) одновременно с изменением рассто ни (зазора) между ними.
На чертеже схематично представлен емкостный датчик перемещений, разрез.
Емкостный датчик перемещений содер-, этим капельным электродом и электрожит две электропроводные пластины 1 и 2, установленные с возможностью изменени зазора между ними. На периферии одной из пластин 2 размещено ограничительное кольцо 3, выполненное «п из диэлектрического материала. Между электропроводной пластиной 2 и ограничительным кольцом 3 герметически закреплены концы диэлектрической пленки из упругого материала, котора зак-25 рывает капельный электрод из электропроводной жидкости 5. Этот электрод размещен в выемке 6, выполненной в центре электропроводной пластины 2, и погружен в диэлектрическую жидкость ,Q 7, зiaпoлн ющyю объем между поверхностью этой пластины 2 и диэлектрической пленкой k. Межфазное нат жение на границе электропроводной и диэлектрической жидкостей 6 выбрано из условий:
э.х ..t. ;
35
T.5.(..
проводной пластиной 1, что приводит к изменению эффективной площади электродов и зазора в емкостном датчике . Поскольку зазор между электродными пластинами датчика в области Контактного п тна равен толщине диэлектрической пленки Ц, котора меньше рассто ни между пластинами 1 и 2, изменение площади этого п тна приводит к существенному изменению емкости датчика, что увеличивает крутизну характеристики преобразовани датчика.
Описанное соотношение коэффициентов межфазного нат жени предотвращает растекание капельки электропроводной жидкости 5 по электропроводной пластине 2 или диэлектрической пленке , обеспечива , кроме joro, смачивание пластины 2 и пленки Ц диэлектрической жидкостью, что позвол ет сохранить форму и выходные характеристики емкостного датчика.
де
эж
+ 6
,
7,6,
ЭЖ. J.
Ю
6т.
33«
г.
J
Э. «J. ..Ж ПЛ.Э.
коэффициент межфазного нат жени на границе электропроводной и диэлектрической жидкостей; коэффициент межфазного нат жени на границе ., пластины с выемкой и электропроводной жидкостью капельного электрода;
коэффициент межфазного нат жени на границе электропроводной пластины 2 и диэлектрической жидкости 7; коэффициент межфазного нат жени на границе диэлектрической пленки 4 и диэлектрической жидкости 7;
50
55
Г)Л. Э
коэффициент межфазного нат жени на границе . диэлектрической пленки 4 и электропроводной жидкости 5.
Емкостный датчик перемещений работает следующим образом.
При изменении зазора между электропроводными пластинами 1 и 2 в направлени х X происходит деформаци капельки электропроводной жидкости S, измен етс площадь изолированного пленкой контактного п тна между
этим капельным электродом и электроп 5 Q
5
., 0
5
проводной пластиной 1, что приводит к изменению эффективной площади электродов и зазора в емкостном датчике . Поскольку зазор между электродными пластинами датчика в области Контактного п тна равен толщине диэлектрической пленки Ц, котора меньше рассто ни между пластинами 1 и 2, изменение площади этого п тна приводит к существенному изменению емкости датчика, что увеличивает крутизну характеристики преобразовани датчика.
Описанное соотношение коэффициентов межфазного нат жени предотвращает растекание капельки электропроводной жидкости 5 по электропроводной пластине 2 или диэлектрической пленке , обеспечива , кроме joro, смачивание пластины 2 и пленки Ц диэлектрической жидкостью, что позвол ет сохранить форму и выходные характеристики емкостного датчика.
Claims (1)
- Формула изобретениЕмкостный датчик перемещений, содержащий две установленные с возможностью изменени зазора между ними электропроводные пластины и размещенное на периферии одной из них ограничительное кольцо из диэлектрического материала, отличающийс тем, что, с целью повышени чувствительности ,он снабжен капельным электродом из электропроводной жидкости и закрывающей его диэлектрической пленкой из упругого материала, концы которой герметично закреплены между электропроводной плacтинoЙJИ размещенным на ней ограничительным кольцом, в этой же пластине выполнена выемка в центре дл размещени в ней капельного электрода, а объем между поверх515167ностыо этой пластины и диэлектрической пленкой заполнен диэлектрической жидкостью с межфаэным нат жением на границе между нею и электропроводной жидкостью капельного электрода, выбранным из условийг.,.л. де 6+ Э.9..эжj-6,«. 9 .т.,..; б.. ж9Ж.9Ч.;10ПЛ. Э.Жкоэффициент межфазного нат жени на границе электропроводной и диэлектрической жидкостей; коэффициент межфазного на- 5 т жени на границе пласти05T.q.«ПА..Жпл. з.жны с выемкой и электропроводной жидкостью капельного электрода; коэффициент межфазного нат жени на границе пластины с выемкой и диэлектрической жидкостью; коэффициент, межфазного нат жени на границе пленки и диэлектрической жидкости;коэффициент межфазного нат жени на границе пленки и электропроводной жидкости .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874318872A SU1516744A1 (ru) | 1987-10-19 | 1987-10-19 | Емкостный датчик перемещений |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874318872A SU1516744A1 (ru) | 1987-10-19 | 1987-10-19 | Емкостный датчик перемещений |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1516744A1 true SU1516744A1 (ru) | 1989-10-23 |
Family
ID=21332679
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU874318872A SU1516744A1 (ru) | 1987-10-19 | 1987-10-19 | Емкостный датчик перемещений |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1516744A1 (ru) |
-
1987
- 1987-10-19 SU SU874318872A patent/SU1516744A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Агейкин Д.И. Датчики контрол и регулировани . - М.: Машиностроение, 1965, с. б15. (k) ЕМКОСТНЫЙ ДАТЧИК ПЕРЕМЕЩЕНИЙ * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4531415A (en) | Differential pressure transducer | |
US4831492A (en) | Capacitor construction for use in pressure transducers | |
CN100454455C (zh) | 微机电传感器 | |
US5447076A (en) | Capacitive force sensor | |
CA1154545A (en) | Semiconductor variable capacitance pressure transducer assembly | |
US4641434A (en) | Inclination measuring device | |
US4386453A (en) | Method for manufacturing variable capacitance pressure transducers | |
JP4544749B2 (ja) | 圧力センサ | |
WO2004001334A1 (ja) | 静電容量式液体センサ | |
SE459887B (sv) | Tryckgivare | |
GB2204413A (en) | Capacitive pressure transducer | |
CN114323408A (zh) | 多量程多灵敏度压力mems芯片 | |
US4172387A (en) | Pressure responsive apparatus | |
CA1154502A (en) | Semiconductor variable capacitance pressure transducer | |
SU1516744A1 (ru) | Емкостный датчик перемещений | |
US6275448B1 (en) | Pressure-compensated acceleration-insensitive hydrophone | |
US4379279A (en) | Submersible pressure transducer package | |
SU746217A1 (ru) | Датчик давлени | |
RU172636U1 (ru) | Алмазный датчик давления | |
SU1158750A1 (ru) | Скважинный уровнемер (его варианты) | |
SU1615584A1 (ru) | Тензометрический преобразователь давлени и способ его изготовлени | |
SU901856A1 (ru) | Датчик силы | |
SU881553A1 (ru) | Датчик давлени | |
SU1352266A1 (ru) | Датчик давлени | |
SU1151890A1 (ru) | Акселерометр |