SU1516744A1 - Емкостный датчик перемещений - Google Patents

Емкостный датчик перемещений Download PDF

Info

Publication number
SU1516744A1
SU1516744A1 SU874318872A SU4318872A SU1516744A1 SU 1516744 A1 SU1516744 A1 SU 1516744A1 SU 874318872 A SU874318872 A SU 874318872A SU 4318872 A SU4318872 A SU 4318872A SU 1516744 A1 SU1516744 A1 SU 1516744A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
electrically conductive
dielectric
coefficient
interface
electrode
Prior art date
Application number
SU874318872A
Other languages
English (en)
Inventor
Майдо Эрнивич Аяотс
Рейн Антсович Лаанеотс
Март Ильмарович Тамре
Original Assignee
Таллиннский политехнический институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Таллиннский политехнический институт filed Critical Таллиннский политехнический институт
Priority to SU874318872A priority Critical patent/SU1516744A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1516744A1 publication Critical patent/SU1516744A1/ru

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и позвол ет повысить чувствительность емкостного датчика перемещений. Датчик содержит две электропроводные пластины 1 и 2, на одной из которых в выемке 6 размещен капельный электрод из электропроводной жидкости 5, закрытый диэлектрической пленкой и погруженный в диэлектрическую жидкость 7. При изменении зазора между пластинами 1 и 2 происходит деформаци  капельного электрода, вследствие чего измен етс  площадь изолированного контактного п тна между этим электродом и электропроводной пластиной 1. Благодар  этому существенно измен етс  емкость датчика и увеличиваетс  крутизна его характеристики преобразовани . 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано в измерительных преобразовател х дл  измерени  малых перемещений.
Целью изобретени   вл етс  повышение чувствительности емкостного датчика перемещений путем изменени  эффективной площади электропроводных пластин (электродов датчика) одновременно с изменением рассто ни  (зазора) между ними.
На чертеже схематично представлен емкостный датчик перемещений, разрез.
Емкостный датчик перемещений содер-, этим капельным электродом и электрожит две электропроводные пластины 1 и 2, установленные с возможностью изменени  зазора между ними. На периферии одной из пластин 2 размещено ограничительное кольцо 3, выполненное «п из диэлектрического материала. Между электропроводной пластиной 2 и ограничительным кольцом 3 герметически закреплены концы диэлектрической пленки из упругого материала, котора  зак-25 рывает капельный электрод из электропроводной жидкости 5. Этот электрод размещен в выемке 6, выполненной в центре электропроводной пластины 2, и погружен в диэлектрическую жидкость ,Q 7, зiaпoлн ющyю объем между поверхностью этой пластины 2 и диэлектрической пленкой k. Межфазное нат жение на границе электропроводной и диэлектрической жидкостей 6 выбрано из условий:
э.х ..t. ;
35
T.5.(..
проводной пластиной 1, что приводит к изменению эффективной площади электродов и зазора в емкостном датчике . Поскольку зазор между электродными пластинами датчика в области Контактного п тна равен толщине диэлектрической пленки Ц, котора  меньше рассто ни  между пластинами 1 и 2, изменение площади этого п тна приводит к существенному изменению емкости датчика, что увеличивает крутизну характеристики преобразовани  датчика.
Описанное соотношение коэффициентов межфазного нат жени  предотвращает растекание капельки электропроводной жидкости 5 по электропроводной пластине 2 или диэлектрической пленке , обеспечива , кроме joro, смачивание пластины 2 и пленки Ц диэлектрической жидкостью, что позвол ет сохранить форму и выходные характеристики емкостного датчика.
де
эж
+ 6
,
7,6,
ЭЖ. J.
Ю
6т.
33«
г.
J
Э. «J. ..Ж ПЛ.Э.
коэффициент межфазного нат жени  на границе электропроводной и диэлектрической жидкостей; коэффициент межфазного нат жени  на границе ., пластины с выемкой и электропроводной жидкостью капельного электрода;
коэффициент межфазного нат жени  на границе электропроводной пластины 2 и диэлектрической жидкости 7; коэффициент межфазного нат жени  на границе диэлектрической пленки 4 и диэлектрической жидкости 7;
50
55
Г)Л. Э
коэффициент межфазного нат жени  на границе . диэлектрической пленки 4 и электропроводной жидкости 5.
Емкостный датчик перемещений работает следующим образом.
При изменении зазора между электропроводными пластинами 1 и 2 в направлени х X происходит деформаци  капельки электропроводной жидкости S, измен етс  площадь изолированного пленкой контактного п тна между
этим капельным электродом и электроп 5 Q
5
., 0
5
проводной пластиной 1, что приводит к изменению эффективной площади электродов и зазора в емкостном датчике . Поскольку зазор между электродными пластинами датчика в области Контактного п тна равен толщине диэлектрической пленки Ц, котора  меньше рассто ни  между пластинами 1 и 2, изменение площади этого п тна приводит к существенному изменению емкости датчика, что увеличивает крутизну характеристики преобразовани  датчика.
Описанное соотношение коэффициентов межфазного нат жени  предотвращает растекание капельки электропроводной жидкости 5 по электропроводной пластине 2 или диэлектрической пленке , обеспечива , кроме joro, смачивание пластины 2 и пленки Ц диэлектрической жидкостью, что позвол ет сохранить форму и выходные характеристики емкостного датчика.

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Емкостный датчик перемещений, содержащий две установленные с возможностью изменени  зазора между ними электропроводные пластины и размещенное на периферии одной из них ограничительное кольцо из диэлектрического материала, отличающийс  тем, что, с целью повышени  чувствительности ,он снабжен капельным электродом из электропроводной жидкости и закрывающей его диэлектрической пленкой из упругого материала, концы которой герметично закреплены между электропроводной плacтинoЙJИ размещенным на ней ограничительным кольцом, в этой же пластине выполнена выемка в центре дл  размещени  в ней капельного электрода, а объем между поверх515167
    ностыо этой пластины и диэлектрической пленкой заполнен диэлектрической жидкостью с межфаэным нат жением на границе между нею и электропроводной жидкостью капельного электрода, выбранным из условий
    г.,.
     л. де 6
    + Э.9..
    эж
    j-6,«. 9 .
    т.,..; б.
    . ж
    9Ж.9
    Ч.;
    10
    ПЛ. Э.Ж
    коэффициент межфазного нат жени  на границе электропроводной и диэлектрической жидкостей; коэффициент межфазного на- 5 т жени  на границе пласти0
    5
    T.q.«
    ПА..Ж
    пл. з.ж
    ны с выемкой и электропроводной жидкостью капельного электрода; коэффициент межфазного нат жени  на границе пластины с выемкой и диэлектрической жидкостью; коэффициент, межфазного нат жени  на границе пленки и диэлектрической жидкости;
    коэффициент межфазного нат жени  на границе пленки и электропроводной жидкости .
SU874318872A 1987-10-19 1987-10-19 Емкостный датчик перемещений SU1516744A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874318872A SU1516744A1 (ru) 1987-10-19 1987-10-19 Емкостный датчик перемещений

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874318872A SU1516744A1 (ru) 1987-10-19 1987-10-19 Емкостный датчик перемещений

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1516744A1 true SU1516744A1 (ru) 1989-10-23

Family

ID=21332679

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU874318872A SU1516744A1 (ru) 1987-10-19 1987-10-19 Емкостный датчик перемещений

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1516744A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Агейкин Д.И. Датчики контрол и регулировани . - М.: Машиностроение, 1965, с. б15. (k) ЕМКОСТНЫЙ ДАТЧИК ПЕРЕМЕЩЕНИЙ *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4531415A (en) Differential pressure transducer
US4831492A (en) Capacitor construction for use in pressure transducers
CN100454455C (zh) 微机电传感器
US5447076A (en) Capacitive force sensor
CA1154545A (en) Semiconductor variable capacitance pressure transducer assembly
US4641434A (en) Inclination measuring device
US4386453A (en) Method for manufacturing variable capacitance pressure transducers
JP4544749B2 (ja) 圧力センサ
WO2004001334A1 (ja) 静電容量式液体センサ
SE459887B (sv) Tryckgivare
GB2204413A (en) Capacitive pressure transducer
CN114323408A (zh) 多量程多灵敏度压力mems芯片
US4172387A (en) Pressure responsive apparatus
CA1154502A (en) Semiconductor variable capacitance pressure transducer
SU1516744A1 (ru) Емкостный датчик перемещений
US6275448B1 (en) Pressure-compensated acceleration-insensitive hydrophone
US4379279A (en) Submersible pressure transducer package
SU746217A1 (ru) Датчик давлени
RU172636U1 (ru) Алмазный датчик давления
SU1158750A1 (ru) Скважинный уровнемер (его варианты)
SU1615584A1 (ru) Тензометрический преобразователь давлени и способ его изготовлени
SU901856A1 (ru) Датчик силы
SU881553A1 (ru) Датчик давлени
SU1352266A1 (ru) Датчик давлени
SU1151890A1 (ru) Акселерометр