SU1500634A1

SU1500634A1 - Uviol glass

Info

Publication number: SU1500634A1
Application number: SU874343762A
Authority: SU
Inventors: Stepan B Gukasyan; Mkrtich A Zatikyan; Valerij I Kheruntsyan; Rafael M Oganesyan; Anaida Z Arakelyan; Galina N Khokhlova; Aleksandr L Grigoryan
Original assignee: Stepan B Gukasyan; Mkrtich A Zatikyan; Kheruntsyan Valerij; Rafael M Oganesyan; Anaida Z Arakelyan; Galina N Khokhlova; Aleksandr L Grigoryan
Priority date: 1987-11-05
Filing date: 1987-11-05
Publication date: 1989-08-15

Description

Изобретение относится к увиолевым стеклам, применяемым в электрон2The invention relates to uviol glasses used in electron2

ной промышленности, в частности при формировании оптического окна корпусов ГИС из алюмооксидной керамики |дпя оптического стирания информации в микросхемах. С целью повышения светопропускания на длине волны 253,7 нм увиолевое стекло содержит, мас.%:Noah industry, in particular when forming the optical window of GIS enclosures from alumina ceramics | dpya optical information erasure in chips. In order to increase light transmission at a wavelength of 253.7 nm, uviol glass contains, wt%:

_:510_г 71 ,0-78,6; В₄0> 8,0-14,0; А1_г0₃ 0,12,0; по крайней мере два оксида из группы СаО, ΜβΟ, ΖηΟ 0,4-2,0; К._гО _: 510 _g 71, 0-78,6; B ₄ 0>8.0-14.0; A1 _g 0 ₃ 0.12.0; at least two oxides from the group of CaO, ΜβΟ, Ζη 0.4-2.0; K. _g O

11.5- 14,0,причем 1л_г0 0,5-1,5; Ыа_г011.5- 14.0, and 1l _g 0 0.5-1.5; 0 _g of Na

5.5- 6,0; К_г0 5,0-7,0. ТКЛР, ¢6(20 300) (62,0-68,2)¹10^-7К^-1, УФ-пропускание на длине волны Л=253,7 нм 7583%. 2 табл.5.5-6.0; K _g 0 5.0-7.0. TCLE, ¢ 6 (20 300) (62.0-68.2) ¹ 10 ^-7 K ^-1 , UV transmittance at the wavelength L = 253.7 nm 7583%. 2 tab.

Изобретение относится к увиолевым стеклам, применяемым в электронной промьшшеннсти, в частности, при формировании оптического окна корпуса ГИС из алюмооксидной керамики для оптического стирания информации в микросхемах.The invention relates to uviol glasses used in electronic industry, in particular, when forming an optical window of a GIS housing from alumina ceramics for optical erasure of information in microcircuits.

Цель.изобретения - повышение светопропускания на длине волны 253, 7 нм.The purpose of the invention is to increase the transmittance at a wavelength of 253.7 nm.

Стекла варят при 1500-1600°С высокочастотным индукционным нагревом в холодном контейнере. Процесс варки стекла в целом длится 8 ч. При этом в пределах 2 ч происходит старт и полная загрузка шихты; а в течение 6ч- осветление и стабилизация расплава. Старт может осуществляться с помощью графита, помещенного в кварцевую ампулу, или металлическим алюминием, атомы которого входят в шихтовый состав стекла. Ингредиенты,взятые в заявляемых пределах, обеспечивают стеклу высокое пропускание на длине волны 7! =253,7 нм, точное соответствие ТКЛР стекла с ТКЛР алюмооксидной керамики ВК-94-1.„Стекло не. кристаллизуется в температурном интервале 800-950^еС при выдержке более 48 ч.Glasses boiled at 1500-1600 ° C high-frequency induction heating in a cold container. The glass melting process as a whole lasts 8 hours. At the same time, within 2 hours the start and full charge loading takes place; and within 6 hours - clarification and stabilization of the melt. Start can be carried out using graphite, placed in a quartz ampoule, or metallic aluminum, the atoms of which are part of the charge composition of glass. The ingredients, taken in the claimed limits, provide glass with high transmittance at a wavelength of 7! = 253.7 nm, exact correspondence of TCLE glass with TCLR of alumina ceramic VK-94-1. “Glass no. crystallizes in the temperature range 800–950 ^e C at a shutter speed of more than 48 h.

За один процесс можно варить стекломассу в виде цилиндра весом 5-7 кг. Обжиг стеклоблоков производится при 540+10^р С в муфельной печи. Затем из этого стекла вырезают диски диаметром 9,6+ 0,2 мм и толщиной 0,8 ί ±0,01 мм. Стекло припаивают на керамику в зонных печах.In one process, you can cook glass melt in the form of a cylinder weighing 5-7 kg. Glass blocks are fired at 540 + 10 ^р С in a muffle furnace. Then, disks with a diameter of 9.6+ 0.2 mm and a thickness of 0.8 ί ± 0.01 mm are cut out of this glass. The glass is soldered to the ceramics in zone furnaces.

Соответствие ТКЛР стекла ТКЛР керамики, высокое светопропускание наCompliance TKLR TKLR glass ceramics, high light transmission on

длине волны 253,7 нм способствует по5 и „„ 1500634a wavelength of 253.7 nm contributes by 5 and „„ 1500634

33

вышению надежности и быстродействия микросхем.Improving the reliability and performance of the chips.

В табл'. 1 приведены конкретные составы стекол*In tabl '. 1 shows the specific compositions of glasses *

Свойства стекол представлены в табл.2.The properties of the glasses are presented in table 2.

Claims

Claim

Uviol glass containing 8ί0 ^, В _а 0 ^ А1 ₄ 0 ₃ , at least two oxides from the group CaO, ΜβΟ, ΖηΟ, К ^ О, due to the fact that, in order to increase the transmittance by 15

1500634

four

a wavelength of 253.7 nm, it contains these components in the following ratio, wt.%:

₅ 8ί0 ₄ 71.0-78.6

B ₄ 0, 8.0-14.0

A1 ₂ 0 _g 0.1-2.0

at least two oxides from the group

yu sao, meo, gpo 0.4-2.0 K ₄ 0 11.5-: 14.0

where

Bx ₄ 0 0.5-1.5

Na ₂ O 5.5-6.0

Κ _ζ 0 5.0-7.0.

Table 1

Example ⁱⁿ r ° 3 Ia _g 0 to ₂ o m A1 _g 0 _e to _Laughter on 1 Cao | ΖηΟ one 78.6 8.00 6.0 5.0 0.50 1.5 - 0.15 0.25 2 73.5 9.0 5.5 7.0 1.5 . 2.0 0.30 0.40 0.80 3 71.0 14.0 6.0 5.5 1.4 0.1 0.1 0.50 1.4

Table 2

Glass by example TCLE (20-300) * * 10 ~ ^T , K '' UV transmission at a wavelength of ‘7 = = 253.7 nm,% one 62.0 80 2 63,8 83 ' 3 68.2 75