SU1477256A3

SU1477256A3 - Apparatus for pressing-on film

Info

Publication number: SU1477256A3
Application number: SU853901784A
Authority: SU
Inventors: Эгберт Кюнерт Ханс-Гюнтер
Original assignee: Хехст Аг (Фирма)
Priority date: 1984-06-01
Filing date: 1985-05-31
Publication date: 1989-04-30
Also published as: ES543709A0; ES8707897A1; DD232880A5; DE3420409A1; EP0170002A2; US4676862A; EP0170002A3; BR8502617A; FI852168L; AU4321085A; FI852168A0; ZA854114B; KR860000151A; CA1245963A; JPS60262645A

Abstract

Изобретение может быть использовано дл нанесени пленки фоторезиста на заготовки печатных плат. Устройство дл напрессовки пленки имеет нагреваемые прессующие валки (НПВ) 2, 3, торсионную трубу 4, распорную трубу 5, детали 6, 6Ъ и подвижно установленные детали 7, 7Ъ, которые вместе с НПВ 2 и торсионной трубой 4 образуют параллельный качающийс Г-образный рычаг и с определенным давлением прижимают НПВ 2 к подложке. Детали 6, 6Ъ и 7, 7Ъ расположены симметрично относительно середины устройства. НПВ 3 неподвижно установлен в детал х 6, 6Ъ, а НПВ 2 неподвижно установлен в детал х 7, 7Ъ, благодар перемещению которых можно в заданных пределах измен ть зазор D между НПВ 2 и 3. Подложка вводитс в зазор между НПВ 2 и 3, отжимает НПВ 2 и параллельный качающийс Г-образный рычаг вниз так, что его плечо 39 поворачиваетс вниз и винт 38 вдвигает шток 37 поршн цилиндра до тех пор, пока не установитс равновесие между давлением в цилиндре и давлением, которое параллельный качающийс Г-образный рычаг оказывает через плечо 39 на шток 37 поршн цилиндра. Устройство имеет улучшенные эксплуатационные возможности. 7 з.п. ф-лы, 5 ил.The invention can be used to apply a photoresist film to printed circuit board blanks. The device for pressing the film has heated pressing rolls (LEL) 2, 3, torsion tube 4, spacer tube 5, parts 6, 6b and movably mounted parts 7, 7b, which together with LF2 and torsion tube 4 form a parallel swinging L-shaped the lever and with a certain pressure presses the LEL 2 to the substrate. Parts 6, 6 and 7, 7 are symmetrically located relative to the center of the device. LEL 3 is fixedly installed in parts 6, 6b, and LES 2 is fixedly mounted to parts 7, 7b, due to the movement of which you can change the gap D between LEL 2 and 3 within specified limits. The substrate is introduced into the gap between LIP 2 and 3, pushes the LES 2 and the parallel swinging L-shaped lever down so that its shoulder 39 pivots down and the screw 38 pushes the piston rod 37 of the cylinder until the balance between the pressure in the cylinder and the pressure that the parallel swinging L-shaped lever exerts through the shoulder 39 to the piston rod 37 of the cylinder. The device has improved operational capabilities. 7 hp f-ly, 5 ill.

Description

Изобретение относитс к устройствам дл напрессовки пленки и может быть использовано дл нанесени пленки фоторезиста на заготовки печатных плат.The invention relates to a device for pressing a film and can be used for applying a film of photoresist on printed circuit board blanks.

Цель изобретени - улучшение эксплуатационных возможностей путем изменени зазора между валками и давлени прессовани .The purpose of the invention is to improve the operational capabilities by changing the gap between the rolls and the pressing pressure.

На фиг.1 изображено устройство дл напрессовки пленки, вид сбоку, частично в разрезе; на фиг.2 - подвижные элементы устройства дл напрессовки пленки с установленной в боковинах торсионной трубой, разрез; на фиг.З - устройство дл напрессовки пленки с приводным двигателем и зубчатой передачей, вариант исполнени ; на фиг.4 - то же, разрез; на фиг.5 - детали подвижных элементов устройства дл напрессовки пленки.1 shows a device for pressing a film, side view, partially in section; FIG. 2 shows the moving elements of a device for pressing a film with a torsion tube installed in the sidewalls, a section; Fig. 3 shows a device for pressing a film with a drive motor and a gear, an embodiment; figure 4 is the same section; 5 shows details of the moving parts of the device for pressing a film.

Устройство дл напрессовки пленки включает раму 1, напрессовочные валки 2 и 3, торсионную 4 и распорную 5 трубы, детали 6, б и подвижно установленные детали 7,7, которые вместе с напрессовочным валком 2 и торсионной трубой 4 образуют параллельный качающийс рычаг и с определен- ным давлением прижимают напрессовоч- ный валок 2 к подложке (не показана) на которую напрессовываетс слой и котора перемещаетс через зазор d между напреесовочными валками 2 и 3. Детали 6, б и 7 7 расположены симметрично относительно середины устройства дл напрессовки пленки. Под напрессовочными валками 2 и 3 в боковинах 8 и 9 установлены торси- онна 4 и распорна 5 трубы. Скорость вращени напрессовочных валков 2 и 3 больше скорости передвижени подложки, котора от нагревательного устройства (не показано) сверху в вертикальном направлении подводитс к обоим напрессовочным валкам 2 и 3. Напрессовочный валок 3 неподвижно установлен в неподвижных детал х 6, 6 , а напрессовочный валок 2 непод- вижно установлен в подвижных детал х 7, 7 , благодар перемещению которых можно в заданных пределах измен ть зазор d между валками. Зазор d может быть отрегулирован, например, на 0,5 10 мм.The device for pressing the film includes a frame 1, pressing rollers 2 and 3, torsion 4 and spacer 5 pipes, parts 6, b and movably mounted parts 7.7, which together with the press-on roller 2 and torsion pipe 4 form a parallel swing arm and - by pressing, the pressing roller 2 is pressed against the substrate (not shown) on which the layer is pressed and which moves through the gap d between the pressure rollers 2 and 3. Parts 6, 7 and 7 are located symmetrically relative to the center of the device for pressing Lenki. Under the press rolls 2 and 3 in the sidewalls 8 and 9, the torsion bar 4 and the spacing pipe 5 are installed. The rotational speed of the press rolls 2 and 3 is greater than the speed of movement of the substrate, which from the heating device (not shown) from above in the vertical direction is supplied to both the press rolls 2 and 3. The press roll 3 is fixed in fixed parts 6, 6, and the press roll 2 It is fixed in moving parts 7, 7, due to the movement of which it is possible to change the gap d between the rolls within specified limits. The gap d can be adjusted, for example, by 0.5 to 10 mm.

Дл установлени зазора d между обоими напрессовочными валками 2 и 3 служат один или два регулировочныхTo set the gap d between the two press rolls 2 and 3, one or two adjusting

элемента 10, 10 с установочными винтами , которые наход тс в зацеплении с неподвижными детал ми 6,6 и к которым примыкают подвижные детали 7, 7 . Установочные винты ввинчены, например , горизонтально в неподвижные детали 6,6, при этом резьбовое отверстие имеет длину, по меньшей мере равную длине установочного винта. Установочные винты в соответствии с величиной желаемого зазора d между напрессовочными валками 2 и 3 ввинчиваютс в резьбовое отверстие и фиксируютс с помощью контргайки. . Подвижные детали 7, 7 устройства дл напрессовки пленки упорной поверхностью примыкают к соответствующей головке 11 установочного винта.the element 10, 10 with set screws that engage with the fixed parts 6.6 and to which the moving parts 7, 7 adjoin. The set screws are screwed, for example, horizontally into the fixed parts 6.6, while the threaded hole has a length at least equal to the length of the set screw. The adjusting screws, in accordance with the size of the desired gap d between the press rolls 2 and 3, are screwed into the threaded hole and secured with a lock nut. . The movable parts 7, 7 of the device for pressing the film with a stop surface are adjacent to the corresponding head 11 of the set screw.

Подвижные детали 7, 71 параллельного качающегос рычага имеют по одному клещевому зажиму 12 и 13 (см. фиг.З) дл приема напрессовочного валка 2. В горизонтальных верхних участках деталей 7, 7 или, соответственно , 6, 6 предусмотрены вертикальные резьбовые отверсти , в кото- рыа ввинчены винты 14 и 15, своими коническими концами примыкающие к напрессовочному валку 2 или 3 и фиксирующие их против бокового смещени из зажимов..The movable parts 7, 71 of the parallel rocker arm each have one clamp clamp 12 and 13 (see FIG. 3) for receiving the press roll 2. In the horizontal upper sections of the parts 7, 7 or 6, 6, vertical threaded holes are provided. screws 14 and 15 are screwed in, with their conical ends adjacent to the press roll 2 or 3 and fixing them against lateral displacement from the clamps ..

На наружной стороне подвижной детали 7 параллельного качающегос рычага имеетс буртик 16, в котором выполнено сквозное отверстие 17, в которое ввинчен установочный винт 18. Под буртиком 16 находитс шаровидный или трубчатый корпус 19, расположенный параллельно торсионной 4 и распорной 5 трубой. Корпус 19 сверху и снизу выполнен уплощенным и на уплощенных участках имеет сквозные отверсти 20 и 21. В корпусе 19 в отверстии 22 размещен предустановоч- ный винт 23, который проходит через нижнее сквозное отверстие 21 и находитс в зацеплении с резьбовой гайкой 24, примыкающей к наружной стороне нижнего уплощенного участка корпуса 19, удерживающей предустановочный винт 23 и предохран ющей его от пружин щего действи пружины 25 сжати . Пружина 25 сжати огибает стержень предустановочного винта 23 и своим нижним концом располагаетс в глухом отверстии 22, выполненном в дне корпуса, а своим верхним концом примыкает кOn the outer side of the moving part 7 of the parallel swing arm there is a flange 16 in which a through hole 17 is made into which the set screw 18 is screwed. Under the flange 16 there is a spherical or tubular body 19 parallel to the torsion bar 4 and the expansion pipe 5. The housing 19 is flattened at the top and bottom and has through holes 20 and 21 in the flattened areas. In the housing 19, a preset screw 23 is placed in the hole 22, which passes through the lower through hole 21 and engages with a threaded nut 24 adjacent to the outer the side of the lower flattened portion of the housing 19, which holds the preset screw 23 and protects the compression spring 25 against the spring effect. The compression spring 25 bends around the rod of the pre-installation screw 23 and with its lower end is located in a blind hole 22 made in the bottom of the body, and with its upper end adjoins

нижней стороне головки 26 предустано- вочного винта 23. Конец установочного винта 18 располагаетс на верхней стороне винтовой головки 26. Вследствие симметричности параллельного качающегос рычага друга подвижна деталь 7 имеет буртик 16 с резьбовым отверстием 17 . Предустановочный винт 23 окружен пружиной 25 , расположенной симметрично относительно центра корпусов 19, 19.the bottom side of the head 26 of the pre-installation screw 23. The end of the installation screw 18 is located on the upper side of the screw head 26. Due to the symmetry of the parallel swing arm of the other, the moving part 7 has a shoulder 16 with a threaded hole 17. The preset screw 23 is surrounded by a spring 25 located symmetrically relative to the center of the housings 19, 19.

С помощью установочных винтов 18, 18 предустановочных винтов 23, 23, окруженных пружинами 25 и, соответственно 25 , а также резьбовых гаек 24 и, соответственно, 24 предварительно устанавливаетс усилие, необходимое дл поворота параллельного качающегос рычага устройства дл напрес- совки пленки.Using the set screws 18, 18 of the pre-set screws 23, 23, surrounded by the springs 25 and, respectively, 25, as well as the threaded nuts 24 and, respectively, 24, the force required to rotate the parallel swing arm of the film pressing mechanism is preset.

Если винт 18 (фиг.1) ввинчиваетс дальше в резьбовое отвер стие 17, то пружина 25 сильнее сжимаетс отжатым вниз предустановочным винтом 23 и соответствующей регулировкой резьбовой гайки 24 удерживаетс в желаемом положении . Чем сильнее сжимаетс пружина 25, тем больше усилие, которое необходимо сообщить, чтобы повернуть параллельный качающийс рычаг из его положени наружу, т.е. давление напрессовывани , которое устройство дл напрессовки пленки оказывает на подложку при ее прохождении через зазор d между напрессовочными валками 2 и 3, тем больше, чем сильнее сжаты пружины 25, 25 . Пружины сжати . 25, 25 имеют в целом линейную характеристику, однако могут иметь также характеристику, отличающуюс от линейной.If the screw 18 (Fig. 1) is screwed further into the threaded hole 17, the spring 25 is more compressed pressed down by the preset screw 23 and the corresponding adjustment of the threaded nut 24 is held in the desired position. The stronger the spring 25 is compressed, the greater is the force that must be communicated in order to turn the parallel swing arm from its position to the outside, i.e. the pressing pressure that the device for pressing the film onto the substrate as it passes through the gap d between the pressing rollers 2 and 3, the greater, the more the springs 25, 25 are compressed. Compression springs. 25, 25 have a generally linear characteristic, but may also have a characteristic other than linear.

Подвижные детали 7, 7 образуют параллельный качающийс рычаг из торсионной трубы 4 и напрессовочного валка 2, который обеспечивает при увеличении зазора абсолютное параллельное перемещение подвижного на-- прессовочного валка 2 по отношению к неподвижно закрепленному напрессо- вочному валку 3. Торсионна труба 4 передает совершенно равномерно по всей длине поворот подвижного напрессовочного валка 2, вследствие чего создаетс сквозной посто нный зазор. Неподвижно установленные шестерни 27 и 28 через шестерню 29, котора при повороте напрессовочного валка 2 остаетс в зацеплении с второй шестер .The movable parts 7, 7 form a parallel swing arm from the torsion tube 4 and the press roll 2, which, as the gap increases, provides absolute parallel movement of the movable press roll 2 with respect to the fixed press roll 3. The torsion tube 4 conveys completely uniformly along the entire length, the rotation of the movable press roll 2, as a result of which a continuous clearance is created. The fixed gears 27 and 28 are via gear 29, which, when the press roller 2 is rotated, remains engaged with the second gear.

ней 30, обеспечивают одинаковую скорость вращени , которое получает жестко закрепленный напрессовочный г валок 3 от двигател 31. Это вращение через шестерни 27-30 передаетс повернутому напрессовочноку валку 2, даже если перва шестерн 29 не находитс в зацеплении с второй шестерней Ю 30. Благодар этому обеспечиваетс всегда посто нна скорость вращени обоих напрессово ных валков 2 и 3.30, provide the same rotational speed, which the rigidly fixed press-on roller roll 3 receives from the engine 31. This rotation through gears 27-30 is transmitted to the turned press-off roll 2, even if the first gear 29 does not engage with the second gear 30. 30 the rotational speed of both press rolls 2 and 3 is always constant.

На вал 32 напрессовочного валк,1 2 насажена шестерн 30, наход ща с в 15 зацеплении с шестерней 27, расположенной на ступенчатом конце торсионной трубы 4. Шестерни 30 и 27 наход тс между наружными поверхност ми детали 7 параллельного качающегос 20 рычага и внутренней поверхностью боковины 9.A gear 30 is mounted on the shaft 32 of the press roll, 1 2, located in 15 engagement with gear 27 located at the stepped end of the torsion tube 4. Gears 30 and 27 are located between the outer surfaces of the part 7 of the parallel swinging 20 lever and the inner surface of the sidewall 9.

В другом варианте исполнени подложка сверху в вертикалы-ом направлении вводитс в зазор между двум 5 напрессовочными валками 2 и 3. Торсионна труба 4 своей осью 33 закреплена в боковинах 8 и 9 рамы 1. На правой стороне на торсионную ось 33 насажена треть шестерн 27, сбоку 0 вход ща в зацепление с четвертой шестерней 28 на валике 34 и с второй шестерней 30, расположенной над ней на валу 32 напрессовочного валка 2. Перва шестерн 29 насажена на вал ,г напрессовочного валка 3, приводимого в действие двигателем 31.In another embodiment, the substrate from above in the vertical direction is introduced into the gap between the two 5 press rolls 2 and 3. The torsion tube 4 with its axis 33 is fixed in the sidewalls 8 and 9 of frame 1. On the right side, a third gear 27 is mounted on the torsion axis 33, on the side 0 is engaged with the fourth gear 28 on the roller 34 and the second gear 30 located above it on the shaft 32 of the press roll 2. The first gear 29 is mounted on the shaft, g of the press roll 3, driven by the engine 31.

В этом варианте исполнени параллельный качающийс рычаг поворачиваетс с помощью пневмоцилнндра 35, 4Q который укреплен на выступе 36 основани -рамы 1 и шток 37 поршн которого примыкает к законтренному винту 38, проход щему по плечу 39 рычага. Плечо 39 рычага соосно соединено с 45 торсионной трубой 4, например, приварено к ней. Принцип работы пневмо- цилиндра 35 соответствует приципу работы пневмопружины, котора с посто нным давлением выдавливает плечо CQ 39 рычага вверх и поворачивает параллельный качающийс рычаг из напрессовочного валка 2, торсионной трубы 4 и подвижных деталей 7, 7 до тех пор, пока установочный винт 40 не коснетс упорной поверхности 41 неподвижной детали 6. Вход ща в зазор между напрессовочными валками 2 и 3 подложка 42 немного толще зазора и отжимает напрессовочный валок 2 иIn this embodiment, the parallel swing arm is rotated by means of a pneumatic cylinder 35, 4Q which is fixed on the protrusion 36 of the base frame 1 and the piston rod 37 of which is adjacent to the counter screw 38 extending along the lever arm 39. The lever arm 39 is coaxially connected to the 45th torsion tube 4, for example, welded to it. The principle of operation of the pneumatic cylinder 35 corresponds to the principle of operation of the pneumatic spring, which with a constant pressure squeezes the lever arm CQ 39 upward and turns the parallel swing lever out of the pressing roller 2, the torsion tube 4 and the moving parts 7, 7 until the set screw 40 touches the stop surface 41 of the stationary part 6. When entering the gap between the press rolls 2 and 3, the substrate 42 is slightly thicker than the gap and squeezes the press roll 2 and

5five

514514

тем самым параллельный качающийс рычаг в виде полукруга налево вниз таким образом, что плечо 39 рычага поворачиваетс вниз и винт 38 вдвигает шток 37 поршн цилиндра в пневмоци- линдр 35 до тех пор, пока не установитс равновесие между давлением в цилиндре и давлением, которое параллельный качающийс рычаг оказывает через плечо 39 рычага на шток поршн цилиндра. В этом состо нии равновеси напрессовочный валок оказывает на подложку достаточное давление напрессовывани ,Thus, the parallel swing arm in the form of a semicircle is left and down so that the lever arm 39 pivots down and the screw 38 pushes the piston rod 37 of the cylinder into the pneumatic cylinder 35 until a balance is established between the pressure in the cylinder and the pressure that the parallel piston the lever exerts through the shoulder 39 levers on the piston rod of the cylinder. In this state of equilibrium, the press roll exerts a sufficient amount of pressure on the substrate,

Устройство работает следующим образом .The device works as follows.

Подложка 42 сверху в вертикальном направлении вводитс в зазор между двум 0 напрессовочными валками 2 и 3, отжимает напрессовочный валок 2 и тем самым параллельный качающийс рычаг в виде полукруга вниз таким образом , что плечо 39 рычага поворачиваетс вниз и винт 38 вдвигает шток 37 поршн цилиндра до тех пор, пока не установитс равновесие между давлением в цилиндре и давлением, которое параллельный качающийс рычаг оказывает через плечо 39 рычага на шток поршн цилиндра 35.The substrate 42 from above in the vertical direction is introduced into the gap between the two 0 pressing rollers 2 and 3, presses the pressing roller 2 and thereby the parallel swing arm in the form of a semicircle downwards so that the lever arm 39 turns down and the screw 38 pushes the piston rod 37 of the cylinder to until an equilibrium is established between the pressure in the cylinder and the pressure that the parallel swing arm exerts through the lever arm 39 onto the piston rod of the cylinder 35.

Claims

1. Device for pressing the film, mainly when applying a photoresist, -containing frame with heated pressing rollers installed in bearings, while one of the pressing rollers is connected with the drive of its movement in the form of a pneumatic mechanism and is kinematically connected with gears of rotation f and each pressing roll is connected with current-carrying clamps, characterized in that 5 with the aim of improving operational capabilities by changing the gap between the rollers, it is equipped with an L-shaped swing lever with 50 / h and with the fact that the L-shaped supports mounted on the axis, and the lever is provided with a screw, screwed into

one of its shoulders with the ability to interact with the pneumatic cylinder rod.

The viscous pressing roll is mounted on the supports of one of the shoulders of the L-shaped

the lever is parallel to its axis, while the other shoulder of the L-shaped lever is adapted to cooperate with a pneumatic cylinder or a pneumatic spring mounted on the frame.

2. The device according to claim 1, of which it is equipped with a mechanism for adjusting the gap between the rollers, made in the form of screws, screwed into a frame with the ability to interact with the heads of the screws with the lever supports.

3. The device is pr distinguished in that each support of the lever is made with a mounting hole in which the ball bearing is placed and is provided with a screw screwed into the support with the possibility of interaction with the bearing.

4. A device according to claim.), Characterized in that each lever support is provided with a protrusion with an adjusting screw.

5. A device according to claim 1, characterized in that it is provided with a spherical or cylindrical body with a spring-loaded screw disposed in its opening, while a nut is screwed on the end of the screw extending from the opening of the body; the spring with one end rests on the bottom of the body, and the other end on the bottom surface of the screw head.

6. A device according to claim 1, characterized in that the drive motor is located on the frame and is connected with gear by kinematically to gears mounted on the axis of the L-shaped lever and on the shaft of the pressing roll.

7. The device according to claim 2, characterized in that the mechanism for adjusting the gap in the form of screws is located after the pressing rolls

or in front of the press rolls. f

8. The device according to claim 1, about tl and 6, 6

1

ШШ1 8 V /// A U //// 77Lfie .2

3d

Fa 4

eleven

M, 3

and it I .iinj

/ 7