SU1471233A1 - Энергетический анализатор с угловым разрешением дл анализа рассе нных ионов - Google Patents
Энергетический анализатор с угловым разрешением дл анализа рассе нных ионов Download PDFInfo
- Publication number
- SU1471233A1 SU1471233A1 SU874235894A SU4235894A SU1471233A1 SU 1471233 A1 SU1471233 A1 SU 1471233A1 SU 874235894 A SU874235894 A SU 874235894A SU 4235894 A SU4235894 A SU 4235894A SU 1471233 A1 SU1471233 A1 SU 1471233A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- microchannel plate
- ions
- slit
- analyzer
- angular resolution
- Prior art date
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к области технической физики и может быть использовано дл исследовани поверхностей путем анализа упруго рассе нных ионов по энерги м и углам разлета. Целью изобретени вл етс повышение разрешающей способности. Поставленна цель достигаетс тем, что рассе нный образцом пучок ионов после электроанализа в квазисферическом четырехсеточном анализаторе 6,7,8,9 и преобразовани в электронный пучок на первой микроканальной пластине 11 фокусируют в одной плоскости с помощью цилиндрической одиночной линзы 17 на щелевую диафрагму 20. Ее щель расположена под углом к плоскости фокусировки цилиндрической линзы 17, и в зависимости от степени отклонени пучка отклон ющей системой 21, 22 на вход второй микроканальной пластины 23 попадают электроны, количество которых пропорционально количеству ионов, вход щих в анализатор под данным углом. С выхода второй микроканальной пластины 23 спектр обрабатываетс обычным образом, например, с помощью ЭВМ. 3 ил.
Description
18 Г6
Ч
zt
Фаг.з
Claims (1)
- 30 Формула изобретенияЭнергетический анализатор с угловым разрешением для анализа рассеянных ионов, содержащий последователь35 но расположенные в вакуумной камере вдоль ионно-оптической оси источник ионов, 'концентрично расположенные полусферические сетки, плоскую сетку и микроканальную пластину, о т л и40 чающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности, анализатор дополнительно содержит последовательно расположенные вдоль ионно-оптической оси одиночную ци~ 45 линдрическую линзу, систему отклонения пучка в плоскости фокусировки одиночной цилиндрической линзы, щелевую диаграмму, щель которой ___ расположена наклонно к плоскости фокусировки одиночной цилиндрической линзы в ее канальной плбскости, и вторую микроканальную пластину.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU874235894A SU1471233A1 (ru) | 1987-04-27 | 1987-04-27 | Энергетический анализатор с угловым разрешением дл анализа рассе нных ионов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU874235894A SU1471233A1 (ru) | 1987-04-27 | 1987-04-27 | Энергетический анализатор с угловым разрешением дл анализа рассе нных ионов |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1471233A1 true SU1471233A1 (ru) | 1989-04-07 |
Family
ID=21300665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU874235894A SU1471233A1 (ru) | 1987-04-27 | 1987-04-27 | Энергетический анализатор с угловым разрешением дл анализа рассе нных ионов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1471233A1 (ru) |
-
1987
- 1987-04-27 SU SU874235894A patent/SU1471233A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Патент US 4100409, кл. 250-305, 1978. Ярмофф и Уиль ме. Установка дл спектроскопии медленных ионов. - Приборы дл научных исследований, 1986, №3, с. 125. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0490626B1 (en) | Mass spectrometer with electrostatic energy filter | |
| GB1145107A (en) | Ion beam microanalyser | |
| Liebl | Design of a combined ion and electron microprobe apparatus | |
| US3949221A (en) | Double-focussing mass spectrometer | |
| Van Hoof et al. | Position-sensitive detector system for angle-resolved electron spectroscopy with a cylindrical mirror analyser | |
| SU1471233A1 (ru) | Энергетический анализатор с угловым разрешением дл анализа рассе нных ионов | |
| GB2240215A (en) | Selectable-resolution charged-particle beam analyzers | |
| GB1533526A (en) | Electro-static charged particle analyzers | |
| Brunnée | New instrumentation in mass spectrometry | |
| US3710103A (en) | Planar retarding grid electron spectrometer | |
| CN105914126B (zh) | 一种离子束调节装置、离子光学系统及二次离子质谱仪 | |
| GB1487199A (en) | Quadrupole field mass analyser | |
| US4171482A (en) | Mass spectrometer for ultra-rapid scanning | |
| SU1520414A1 (ru) | Ионный микроанализатор | |
| US4367406A (en) | Cylindrical mirror electrostatic energy analyzer free of third-order angular aberrations | |
| EP0448331B1 (en) | Mass spectrometry systems | |
| EP1051735A2 (en) | Charged particle energy analysers | |
| RU2235386C2 (ru) | Пылеударный масс-спектрометр | |
| SU995156A1 (ru) | Призменный масс-спектрометр | |
| SU1265890A2 (ru) | Энерго-массанализатор | |
| SU1191981A1 (ru) | Ионный микроанализатор | |
| SU1614050A1 (ru) | Квадрупольный масс-спектрометр | |
| SU680534A1 (ru) | Электростатический энергоанализатор | |
| SU1128308A2 (ru) | Масс-спектрометр | |
| CN110942973A (zh) | 质谱分析器及其光学系统 |