SU1467390A1 - Способ измерени глубины информационного микрорельефа отражательных оптических видео- и компакт-дисков - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть исполь- зовано дл  измерени  глубины информационного микрорельефа оптических видео- , компакт-дисков и полимерных подложек с рельефной дорожкой дл  оптических дисков. Целью изобретени   вл етс  повышение точности измерени  1 Изобретение относитс  к области измерительной техники и может быть использовано, в частности, дл  измерени  глубины информационного микрорельефа оптических видео- и комг пакт-дисков:и полимерных подложек с рельефной дорожкой дл  оптических дисков.. Целью изобретени   вл етс  повышение точности измерени  глубины информационного микрорельефа за счет исключени  погрешности от определени  глубины информационного микрорельефа за счет исключени  погрешности от определени  абсолютной величины относительного коэффициента зеркального отражени . При помощи егистрирующе- го спектрофотометра с приставкой зеркального отражени  регистрируют спектр зеркального отражени  образца видеодиска в диапазоне от 0,2 до 1,1 мкм. В результате погашающей интерференции при отражении от микрорельефной поверхности монохроматического света определенной длины волны в спектре отражени  наблюдают интер- ференционный минимум. По положению данного минимума определ ют длину Арм«н волны, котора  ему соответствует , и вычисл ют искомую глубину информационного микрорельефа по формуле: h Др„ин / } 1 - , где - о( - угол падени  излучени  на по- верхность диска; п - показатель преломлени  материала основы диска. 1 ил. i (Л 4 О) 00 со абсолютной величины относительного коэффициента зеркального отражени . На чертеже изображён пЗрофиль пи- тов информационного микрорельефа и схема отражени  света от него. На схеме обозначены защитное покрытие 1, отражающий слой А1 2, основа диска 3 с показателем преломлени  п. I Способ измерени  глубины информационного микрорельефа осуществл етс  следующим образом.

Description

Монохроматический пучок света 1 , |1ройд  через полимерный слой 2 осно- 3 с показателем преломлени  п, Отражаетс  от микрорельефа глубиной Ь. Интерференционный минимум форми- jfiyercK за счет возникающей на с ту- jieHbKe элемента информации разности ju хода между пучками 1 j

I й 2hn cos (ь, (1)

i fle р - угол преломлени .

: При сложении колебаний 1 и 1„

суммарна  интенсивность равна

+

Ч

2,

2Нл cos -г-.

л

(2)

Экстремум у этой функции

л, (5удет при

31 условии о

,в fl

т / . .

1,1(83.П --д-) -д7

о

(3)

условие выполнимо только при

(4)

.f2ird. --.-)

Л

Q. ,,

и, , . . - к. II,

ivie к 1,2. i При К 1

2Л 2-2 hn COS

Т ° т

(5)

Угол р удобнее выразить через Л и п

4hn Vl - sin«p. Д ; 4h - n sin fi /

(6)

4h in - sin2o(

0тсю,

Да,

4 in -

(7)

Так как cos -1, то экстремум  вл етс  минимумом.

Дп  эффективного применени  предлагаемого способа необходимо, чтобы глубина измер емого информационного Микрорельефа в пределах пол  измере6 ни  удовлетвор ла условию -т- Ojt,

ft

где 6 - среднее квадратическое отклонение h от среднего значени  h пределах пол  измерени 

±1 (h - h,.)2

1

n - 1

0

5

0

5

0

5

0

0

где Д- нижн   граница спектрального диапазона, в котором регистрируетс  спектр зеркального отражени  образца.

Разброс глубины профил  микрорельефа относительно среднего значени  h в пределах пол  измерени  не должен превышать 0,1 . Если 6 0,2Л , то относительный коэффициент зеркального отражени  уменьшаетс  почти до нул , т.е. така  поверхность перестает зеркально отражать и становитс  диффузно отражагадим объектом.

В зависимости от назначени  оптического диска глубина информационного микрорельефа на нем принимает значени  в пределах 700-1600 А. Спектральна  область, в которой наблюдаютс  интерференционные минимумы в спектре зеркального отражени , соответствующие этим глубинам, заключена между длинами волн, равными 0,42 и 0,96 мкм соответственно. Дл  четкой регистрации экстремума спектральную область необходимо расширить на 0,15-0,2 мкм в обе стороны. В предельном случае требуемый спектральный диапазон измерени  0,2 - 1,1 мкм.

При помощи регистрирующего спектрометра с приставкой зеркального отражени  регистрируют спектр зеркального отражени  образца видеодиска в диапазоне 0,2 - 1,1 мкм. В результате погавшющей интерференции при отражении от микрорельефной поверхности монохроматического света определенной длины волны в спектре отра- 5 жени  наблюдаетс  интерференционный минимум.. По положению данного минимума определ ют длину Л волны, котора  ему соответствует, т.е. Армии и, подставив ее значение в формулу (7) вычисл ют искомую глубину h инфорп мационного микрорельефа.

55

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Способ измерени  глубины информа- ,ционного микрорельефа отражательных оптических видео- и компа кт-дисков, заключающийс  в том, что облучают монохроматическим излучением микг рельеф , регистрируют интенсивность зеркально отраженного от микрорепье- фа излучени  и опре; ел ют его глубину , отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности измерени , непрерывно измер ют длину А волны излучени  в диапазоне от 0,2 до 1,1 мкм, по минимуму интенсивности зеркально отражённого от микро- рельефа излучени  наход т соответствунзщую ему длину Л, „„« , а глубину h микрорельефа определ ют по формуле

   f «««

   ° lln - ll T где с - угол падени  излучени  на

   поверхность диска; п - показатель преломлени  материала основы диска.