<p>Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при настройке тензорезисторных датчиков давления, изготовленных по металлопленочной и полупроводниковой</p></li></ul>
<p>1</p>
<p>Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при настройке тензорезисторных датчиков давления, изготовленных по металлопленочной и полупроводниковой технологии.</p>
<p>Цель изобретения - увеличение точности датчика за счет уменьшения температурной погрешности.</p>
<p>На фиг. 1 изображен тензорезисторный датчик давления, при помощи которого осуществляют предлагаемый способ; на фиг. 2 - изменение выходного сигнала от термоудара после настройки.</p>
<p>Тензорезисторный датчик давления содержит упругий элемент 1, вакуумированный корпус 2 и мембрану 3, на которой расположена тензорезистивная мостовая схема из тензорезисторов 4 и 5, работающих в области деформаций сжатия </p>
<p>технологии. Целью изобретения является увеличение точности датчика за счет уменьшения температурной погрешности при воздействии нестационарной температуры. Сущность способа заключается в том, что на датчик с упругим элементом в форме стакана, дном которого является мембрана, воздействуют нестационарной температурой, опреде-. ляют при этом погрешность выходной характеристики, а затем в случае положительной погрешности путем механической обработки уменьшают толщину стенки цилиндра упругого а в случае отрицательной толщину мембраны. 2 ил.</p>
<p>элемента, погрешностие</p>
<p>2</p>
<p>I *</p>
<p>от измеряемого параметра (расположены в центре мембраны), и тензорезисторов 6 и 7, работающих в области деформаций растяжения от измеряемого параметра (расположены на периферии мембраны).</p>
<p>Способ осуществляют следующим образом.</p>
<p>Подключают на вход измерительного моста датчика источник питания, а на выход подключают регистрирующую аппаратуру. Калибруют выходной сигнал датчика. Осуществляют тепловое воздействие средой, например жидким азотом, на мембрану датчика с одновременной записью начального выходного сигнала на регистрирующую аппаратуру. Определяют по изменению начального выходного сигнала максимальную температурную погрешность от термоудара. В зависимости от величины и знака</p>
<p>81Ι о» 1458733</p>
<p>4</p>
<p><sup>3</sup> 1458733</p>
<p>этой погрешности методом механической, обработки делают проточку по всей! длине цилиндрической части упругого элемента, уменьшая толщину для компенсации положительной температурной погрешности или толщину мембраны для компенсации отрицательной погрешности. Преимуществом предлагаемого способа является то, что температурную погрешность при быстроизменяющемся тепловом режиме можно снизить до величины менее 1%, в результате чего можно получить достоверную информацию измерения непосредственно после воздействия давления, сопровождающего тепловым ударом на мембрану датчика. </p><p> The invention relates to a measurement technique and can be used when setting up strain-gauge pressure sensors made on metal-film and semiconductor </ p> </ li> </ ul>
<p> 1 </ p>
<p> The invention relates to a measuring technique and can be used when setting up strain-gauge pressure sensors manufactured by metal-film and semiconductor technology. </ p>
<p> The purpose of the invention is to increase the accuracy of the sensor by reducing the temperature error. </ p>
<p> In FIG. 1 shows a strain gauge pressure sensor, with which the proposed method is carried out; in fig. 2 - change the output signal from the thermal shock after tuning. </ P>
<p> A strain gauge pressure sensor contains an elastic element 1, an evacuated body 2 and a membrane 3 on which a strain gauge bridge circuit is located consisting of strain gauges 4 and 5 operating in the area of compression deformations </ p>
<p> technology. The aim of the invention is to increase the accuracy of the sensor by reducing the temperature error when exposed to non-stationary temperature. The essence of the method lies in the fact that the sensor with an elastic element in the form of a glass, the bottom of which is a membrane, is affected by a non-stationary temperature, defined by In this case, the error of the output characteristic is achieved, and then, in the case of a positive error, the thickness of the cylinder wall of the elastic is reduced by mechanical treatment, and in the case of a negative thickness of the membrane. 2 il. </ P>
<p> item error </ p>
<p> 2 </ p>
<p> I * </ p>
<p> from the measured parameter (located in the center of the membrane), and strain gages 6 and 7, working in the area of tensile deformations from the measured parameter (located on the periphery of the membrane). </ p>
<p> The method is as follows. </ p>
<p> A power supply is connected to the input of the measuring bridge of the sensor, and the recording equipment is connected to the output. Calibrate the sensor output. Thermal exposure is performed by a medium, for example, liquid nitrogen, on the sensor membrane while simultaneously recording the initial output signal on the recording equipment. Determined by the change in the initial output signal, the maximum temperature error from thermal shock. Depending on the size and sign </ p>
<p> 81Ι o "1458733 </ p>
<p> 4 </ p>
<p> <sup> 3 </ sup> 1458733 </ p>
<p> this error by the method of mechanical processing do the groove throughout! the length of the cylindrical part of the elastic element, reducing the thickness to compensate for the positive temperature error or the thickness of the membrane to compensate for the negative error. The advantage of the proposed method is that the temperature error in a rapidly changing thermal mode can be reduced to less than 1%, with the result that you can get reliable measurement information directly after exposure to pressure accompanying thermal shock on the sensor membrane. </ p>