SU1442825A1 - Device for measuring angles of prismatic standards - Google Patents
Device for measuring angles of prismatic standards Download PDFInfo
- Publication number
- SU1442825A1 SU1442825A1 SU864113048A SU4113048A SU1442825A1 SU 1442825 A1 SU1442825 A1 SU 1442825A1 SU 864113048 A SU864113048 A SU 864113048A SU 4113048 A SU4113048 A SU 4113048A SU 1442825 A1 SU1442825 A1 SU 1442825A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- axis
- autocollimator
- rotation
- base
- mark
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл проверки угловых мер. Целью изобретени вл етс повышение точности измерени за счет устранени систематической погрешности измерений углов меры из-за неперпендикул рности ее граней к основанию . Контролируемую меру 5 размещают на предметном столе 4 в соответствии с меткой датчика 7 нулевого положени . Затем получают автоколлимационное изображение входной марки, отраженной от первой (базовой) грани в поле зрени автоколлиматора 6, и перемеш,еки ми его по оси У добиваютс ее максимального совмеш,ени , например, с левой горизонтальной ш,елевой диафрагмой. После этого систему привод т во вращение относительно неподвижного автоколлиматора 6. В случае, если вертикальна ось параллельна оси предметного вращени стола 4, то горизонтальна щель входной марки при перемещении в направлении слева направо войдет полностью в правую приемную горизонтальную щель. При этом амплитуды импульсов автоколли- матора 6, получаемые при прохождении автоколлимационного изображени входной марки по левой и правой горизонтальной выходным щел м, будут равны. Обеспечив таким образом параллельность оси вращени измерительного стола и вертикальной оси ФЭА, т.е. исключив вли ние неперпендикул рности граней призмы к основанию и биений оси вращени на результаты измерени , переход т к последним. 2 ил. I (ЛThe invention relates to a measurement technique and can be used to test angular measures. The aim of the invention is to improve the measurement accuracy by eliminating the systematic error in measuring the angle of a measure due to the non-perpendicularity of its faces to the base. Controlled measure 5 is placed on the subject table 4 in accordance with the zero position sensor mark 7. Then, an autocollimation image of the input mark reflected from the first (base) face in the field of view of the autocollimator 6 is obtained, and mixed by maximizing its axis along the Y axis, its maximum consistency is achieved, for example, with the left horizontal wedge diaphragm. After that, the system is rotated with respect to the stationary autocollimator 6. In the event that the vertical axis is parallel to the axis of the object rotation of the table 4, the horizontal slot of the input mark will move completely into the right receiving horizontal slot when moving from left to right. In this case, the amplitudes of the pulses of the autocollimator 6, obtained when the autocollimation image of the input mark passes along the left and right horizontal output slots, will be equal. Thus ensuring parallelism of the axis of rotation of the measuring table and the vertical axis of the PEA, i.e. eliminating the influence of the non-perpendicularity of the faces of the prism to the base and the beating of the axis of rotation on the measurement results, go to the latter. 2 Il. I (L
Description
ю Yu
СХ)CX)
ю елyou ate
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл поверки угловых мер.The invention relates to a measurement technique and can be used to calibrate angular measures.
Цель изобретени - повышение точности измерени за счет устранени система- тической погрешности измерений углов меры из-за неперпендикул рности ее граней к основанию .The purpose of the invention is to improve the measurement accuracy by eliminating the systematic error in measuring the angle of a measure due to the non-perpendicularity of its faces to the base.
На фиг. 1 представлена схема устройства; на фиг. 2- поле зрени устройства. FIG. 1 shows a diagram of the device; in fig. 2- device field of view.
Устройство содержит платформу 1 с приводом 2 ее вращени , установленный на ней кольцевой лазер 3, предметный стол 4, предназначенный дл размещени на нем контролируемой меры 5, фотоэлектрический автоколлиматор 6, установленный так, что его оптическа ось пересекает ось вращени платформы 1 под пр мым углом, датчикThe device contains a platform 1 with a drive 2 of its rotation, an annular laser 3 mounted thereon, an object table 4 for placing a controlled measure 5 on it, a photoelectric autocollimator 6 installed so that its optical axis intersects the axis of rotation of the platform 1 at a right angle sensor
7нулевого положени и электронный блок7 position and electronic unit
8обработки сигналов, один из входов которого подключен к электрическому выходу кольцевого лазера 3, а второй - к элек- трическому выходу автоколлиматора 6. Входна марка автоколлиматора 6 выполнена в виде перекрести взаимно перпендикул рных угловых диафрагм. Анализирующа марка выполнена из двух взаимно пер- пендикул рных щелевых диафрагм, одна из которых состоит из двух частей, расположенных симметрично относительно второй диафрагмы. Обе марки ориентированы так, что оси щелевых диафрагм одной марки параллельны соответствующим ос м щеле- вых диафрагм другой марки.8 signal processing, one of the inputs of which is connected to the electrical output of the ring laser 3, and the second to the electrical output of the autocollimator 6. The input brand of the autocollimator 6 is designed as a crosshair of mutually perpendicular angular diaphragms. The analyzing mark is made of two mutually perpendicular slit diaphragms, one of which consists of two parts located symmetrically with respect to the second diaphragm. Both marks are oriented so that the axes of the slit diaphragms of the same mark are parallel to the corresponding axes of the slit diaphragms of the other mark.
Устройство работает следующим образом.The device works as follows.
Контролируемую меру 5 размещают на предметном столе 4 в соответствии с меткой датчика 7 нулевого положени . Полу- чают автоколлймационное изображение входной марки, отраженной от первой (базовой ) грани в поле зрени автоколлиматоров , и перемещени ми его по оси у добиваютс максимального совмещени пример, левой горизонтальной щелевой ди- афрагм,ой. После этого систему привод т во вращение относительно неподвижного автоколлиматора 6. В случае, если вертикальна ось автоколлиматора 6 параллельна оси вращени предметного стола 4, то горизон- тальна щель входной марки автоколлиматора 6 при перемещении в направлении слева направо входит полностью в первую приемную горизонтальную щель. При этом, амплитуды импульсов автоколлиматоров 6, получаемые при прохождении автоколлимационного изображени входной марки по левой и по правой горизонтальной выходным щел м, равны. В противном случае равенства добиваютс вращением авто- коллиматора 6 вокруг его геометрической оси.Controlled measure 5 is placed on the subject table 4 in accordance with the zero position sensor mark 7. An autocollimation image of the input mark reflected from the first (base) face in the field of autocollimators is obtained, and by moving it along the y axis, the maximum alignment is achieved, for example, the left horizontal slit diaphragm, oh. After that, the system is rotated with respect to the stationary autocollimator 6. If the vertical axis of the autocollimator 6 is parallel to the axis of rotation of the sample table 4, then the horizontal slot of the input brand of the autocollimator 6 enters the first receiving horizontal slot when moving from left to right. At the same time, the amplitudes of the autocollimator pulses 6, obtained by passing the autocollimation image of the input mark along the left and right horizontal output slots, are equal. Otherwise, equalities are achieved by rotating the autocollimator 6 around its geometrical axis.
Обеспечив таким образом параллельность оси вращени предметного стола 4 и вертикальной оси автоколлиматора 6, т.е. исключив вли ние неперпендикул рности граней призмы к основанию и биений оси вращени на результаты измерени , переход т к последним . Дл этого горизонтальные приемные щели закрывают щторками и запускают электронный блок 8 обработки, куда поступает измерительна информаци в виде старт-и стоп-импульсов автоколлиматора, ограничивающих временные интервалы. В электронном блоке 8 обработки производитс прием, обработка и представление результатов измерени .Thus providing parallelism to the axis of rotation of the object table 4 and the vertical axis of the autocollimator 6, i.e. eliminating the influence of the non-perpendicularity of the faces of the prism to the base and the beating of the axis of rotation on the measurement results, go to the latter. For this, the horizontal receiving slots are closed with the slips and start the electronic processing unit 8, where the measuring information comes in the form of start and stop pulses of the autocollimator, which limit the time intervals. In the electronic processing unit 8, the measurement is received, processed and presented.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU864113048A SU1442825A1 (en) | 1986-06-25 | 1986-06-25 | Device for measuring angles of prismatic standards |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU864113048A SU1442825A1 (en) | 1986-06-25 | 1986-06-25 | Device for measuring angles of prismatic standards |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1442825A1 true SU1442825A1 (en) | 1988-12-07 |
Family
ID=21254891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU864113048A SU1442825A1 (en) | 1986-06-25 | 1986-06-25 | Device for measuring angles of prismatic standards |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1442825A1 (en) |
-
1986
- 1986-06-25 SU SU864113048A patent/SU1442825A1/en active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Оптико-механическа промышленность, 1982, № 9, с. 28-31. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0165771A2 (en) | Method of determining a phase difference between a rotating analyser and a rotary phase detecting means of an ellipsometer | |
| US3871771A (en) | Optical apparatus for determining deviations from a predetermined form of a surface | |
| US4330212A (en) | Triaxis laser alignment system and method | |
| KR830001843B1 (en) | Electro-optic centerline measuring device | |
| CN104535500B (en) | The systematic parameter calibration steps of imaging ellipsometer | |
| US4600301A (en) | Spinning disk calibration method and apparatus for laser Doppler velocimeter | |
| SU1442825A1 (en) | Device for measuring angles of prismatic standards | |
| CN1200247C (en) | Transverse double-frequency zeeman laser linearity/coaxality measuring mechanism | |
| US3436556A (en) | Optical inspection system | |
| US3773421A (en) | Monitoring relative displacement | |
| CN1303006A (en) | Standard device for calibrating polarized-light stressometer and method for locating minimal light intensity | |
| US3453441A (en) | Radiation sensitive digital measuring apparatus | |
| SU494599A1 (en) | Device for measuring a flat angle | |
| SU1714347A1 (en) | Device for checking angles of prisms | |
| SU926532A1 (en) | Automated goniometer | |
| JPH04268433A (en) | Measuring apparatus for aspherical lens eccentricity | |
| RU2642975C2 (en) | Device for measuring instant angular movements of swinging platform | |
| JPS61292033A (en) | Measuring instrument for coaxial degree of capillary of ferrule | |
| SU1674698A3 (en) | Device for precision reproduction of work-piece angle-of- rotation | |
| SU1721436A1 (en) | Device for control of angle of a prism | |
| CN111121618A (en) | Zero position detection system of rotary motion turntable | |
| SU1375951A1 (en) | Polarometric goniometer | |
| SU1538044A1 (en) | Device for checking angular measure | |
| GB899623A (en) | Improvements in or relating to method for determining the magnitude of the angular rotation of the plane of polarization of a light beam by a substance | |
| CN106842473B (en) | Multi-polarizer assembling and calibrating device and method |