SU1434238A1

SU1434238A1 - Способ электромагнитного измерени толщины покрытий

Info

Publication number: SU1434238A1
Application number: SU853992444A
Authority: SU
Inventors: Игорь Николаевич Антонов; Вячеслав Николаевич Дегтярев; Юрий Рафаилович Владов; Алексей Николаевич Татарников
Original assignee: Оренбургский политехнический институт
Priority date: 1985-10-02
Filing date: 1985-10-02
Publication date: 1988-10-30

Abstract

Изобретение относитс к неразру- тающему контролю и может быть использовано дл измерени толщины двухслойных электропровод пцпс объектов. Цель изобретени - измерение толщины каждого из слоев тонких двухслойных неферромагнитных электропровод щих объектов, один из слоев которого по сравнению с другим - слабопровод щий, достигаетс путем измерени затухани электромагнитного пол с помощью разомкнутой магнитной цепи с контролируемым объектом в воздушном промежутке . На контролируемом участке размещают электромагнитный преобразователь с П-образным магнитопрово- дом. С противоположной стороны контролируемого участка устанавливают ферромагнитное тело и замыкают им магнитную цепь магнитопровода. По измеренному магнитному сопротивлению R в системе ферромагнитное тело - магнитопровод определ ют суммарную толщину Т слоев. Измен ют по периодическому низкочастотному закону зазор h мевду ферромагнитным телом и поверхностью контролируемого объекта, одновременно плаэно увеличивают частоту тока, питающего электромагнитный преобразователь, фиксируют граничную частоту f,.при которой выходной сигнал преобразовател не зависит от вариации зазора h, и по нему с помощью градуировочной кривой определ ют толщину ji сло с большей удельной электрической проводимостью. 2 ил.

Description

, Изобретекке относкгсг; к неразрушающему , контролю и может быть использовано дл измерени толщины двухслойных электропровод щз Х объектов. ,

Цель изобретени ™ измерение тол щины кавдого из сдоев тонких двухслойных неферромагийтнык объектов; один из слоеЕ..которого по сразнению с другим слабопровод щ гй, путем. |Q йз мерени затухани .: Г)эомагкитного пол с помощью разомкну::ой магнитной- цепи с к.онтролируемьй ;; объектом в возду1ик-ом промегсутке.

На фиг о 1 к 2. :аоказакы градуиро- вочные зависимости 9 исп -льзуемые при измереник:.

Предлагаемый способ реализуетс еледуюЕЩ-ш образом с.

На контролируемом ун;: .стке разме- JQ щают электромагнитный пг аобразовв тель с П-образным магнитопроводом. С противоположной cTopo:i-{f3i :контроли- руемого участка устаназл:йВ агат ферромагнитное тело -и замь:(кают им магни:т 25 ную цепь П-образного магнитопровода, Измер ют магнитное с.)Тй:в ение R в системе магнитопро:; рд - ферромагнитное тело и но предварительно полученной rpaflji poBo-qHou характери- - „ стике К,,д f(T) определ ют сум шрную толщину Т слоев объекта (фт г, 1), Затем измен ют по пер:;- ол:нческому шзкoчaGтoтнoмy закону ::;з.зор меж/цу ферромагнитньм телом и :аоЕерхкоетыо

Л

контролируемого объекта , Одновремен- но плавно у величизаю : частоту тока, питающего электромагкитиый преобра- з озат ель. При этом глубина проникновени злектромагкитного пол непре- рьгано уменьа аетс и в основном зависит от толщины сло с большой удельной электрической про:водимостью. На определенной (га.рнкчной частоте изменение зазора мезвду ферромагнитльп телом и контролируемым объектом не

40

0

приводит к изменению выходного сигнала электромагнитного преобразовател . Фиксиру граничную частоту f, с помощью предварительно полученной гра- дуировочной зависимости f f (f) , где f .- толщина сло с большей удельной электрической проводимостью, определ ют величину . 2). Зна суммарную толщину Т, определ ют также толщину Л слабопровод щего сло сР, Т - .

Claims

Формула изобретени

Способ электромагнитного измерени толщины покрытий, заключающийс в том, что на контролируемом участке размещают электромагнитный преобразователь- с П-образным магнитопроводом и измер ют изменение магнитного сопротивлени преобразовател , отличающийс тем, что, с целью измерени толщины ка:вдого из слоев тонких двухслойных кеферромагнитиых объектов, один из слоев которого по сравнению с другим - слабопровод щий, предварительно с противоположной стороны контролируемого .участка устанавливают ферромагнитное тело и замыкают им магнитную цепь П-образного магнитопровода 5 по -измеренному значению магнитного сопротивлени определ ют , суммарную толщину слоев, измен ют по периодическому низкочастотному закону зазор между ферромагнитным телом и поверхностью контролируемого объекта, плавно увеличивают ча-г: стоту тока, электромагнитный преобразователь, фиксируют граничную частоту тока, при которой изменение зазора не вли ет на выходной сигнал злектрома1гнитного преобразовател э и по полученной граничной частоте определ ют толщину сло с большей электропроводностью.

(fj

Одщо толицина объекта f Фие.г

Фиб.2

лз fnz nj

Толщина подложки,п