Томский Институт Автоматизированных Систем Управления И Радиоэлектроники
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Томский Институт Автоматизированных Систем Управления И РадиоэлектроникиfiledCriticalТомский Институт Автоматизированных Систем Управления И Радиоэлектроники
Priority to SU4100757/21ApriorityCriticalpatent/SU1412586A1/ru
Application grantedgrantedCritical
Publication of SU1412586A1publicationCriticalpatent/SU1412586A1/ru
Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof
(AREA)
Abstract
Изобретение относится к электронно-лучевой технике. Устройство для получения и вывода частиц, преимущественно из вакуума в газовую среду высокого давления, содержит источник 1 частиц, буферную камеру 2, в стенке которой имеются выходное отверстие 5 для сброса газа, соосное с диффузором 6, и отверстия 3 и 4 для вывода пучка частиц. Устройство имеет увеличенный ток выводимых частиц. 1 ил.
SU4100757/21A1986-05-261986-05-26Устройство для получения и вывода частиц
SU1412586A1
(ru)