SU1411356A1 - Installation for checking thickness of electroplating in depositing process - Google Patents
Installation for checking thickness of electroplating in depositing process Download PDFInfo
- Publication number
- SU1411356A1 SU1411356A1 SU864128208A SU4128208A SU1411356A1 SU 1411356 A1 SU1411356 A1 SU 1411356A1 SU 864128208 A SU864128208 A SU 864128208A SU 4128208 A SU4128208 A SU 4128208A SU 1411356 A1 SU1411356 A1 SU 1411356A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- rotor
- trigger
- generator
- amplifier
- input
- Prior art date
Links
Abstract
Изобретение относитс к нанесению покрытий на издели в- гальванотехнике. Цель изобретени - повышение точности контрол . Устройство содержит генератор 1, фазосдвигающее устройство 2, усилители сигналов 3 и 4 статорные обмотки, индук- тосин 5, трансформатор 6, усилитель 7 сигнала роторной обмотки, формирователи 8 и 9 сигналов управлени У 5-триггером, RS-rpiir- гер 10, микропроцессор 11, устройство пам ти 12, блок сигнализации 13, дисплей 14, усилитель 15, тиристорный выпр митель 16. Напр жение частотой кГц, вырабатываемое генератором 1, через фазосдвигающее устройство 2 и усилители 3 и 4 сигналов статорной обмотки подаетс со сдвигом 90° на статорные обмотки индуктосина 5, тем самым создава вращающеес поле. При повороте ротора из начального положени происходит изменение фазы напр жени на его зажимах, которое через усилитель 7 сигнала ротора и формирователь 8 подаетс на / -вход / 5-триггера 10, формиру передний фронт интервала. За нулевое положение ротора принимаетс такое, при котором фазы напр жений генератора 1 и усилител 7 совпадают. Напр жение от генератора 1 и усилител 7 подаетс на формирователи 8 и 9, при помощи которых формируютс импульсы в момент прохождени напр жений через нуль от отрицательного к положительному значению. Когда ротор индуктосина сдвинут относительно нулевого потенциала на некоторый угол, между импульсами , подаваемы.ми на R- и S-входы 5-триггера, по вл етс временной интервал , вл ющийс мерой угла поворота ротора индуктосина, в свою очередь пропорционального весу «свидетел , наход щегос в электролитической ванне и подвещенного к рычагу весов. Информаци с выхода / 5-триггера поступает на входной порт микропроцессора. С клавиатуры диспле 14 можно вводить различного рода информацию: толщину сло покрыти , подпрограммы, изменение величины экспозиции. 5 ил. с В (ЛThe invention relates to the deposition of coatings on products in electroplating. The purpose of the invention is to improve the accuracy of control. The device contains a generator 1, a phase shifter 2, amplifiers of signals 3 and 4 stator windings, inductor 5, transformer 6, amplifier 7 of a rotor winding signal, drivers 8 and 9 of control signals U 5-trigger, RS-rpiirger 10, microprocessor 11, a memory device 12, an alarm unit 13, a display 14, an amplifier 15, a thyristor rectifier 16. The voltage at a frequency of kHz produced by the generator 1 is fed through a phase shifter 2 and amplifiers 3 and 4 of the stator winding signals with a shift of 90 °; on the stator windings of inductosin 5, thereby creating a rotating field. When the rotor rotates from the initial position, the voltage phase changes at its terminals, which through the rotor signal amplifier 7 and shaper 8 is applied to the I-input / 5-flip-flop 10, forming the leading edge of the interval. The zero position of the rotor is assumed to be such that the phases of the voltages of the generator 1 and the amplifier 7 coincide. The voltage from the generator 1 and the amplifier 7 is applied to the formers 8 and 9, with which the pulses are formed at the time the voltages pass through zero from a negative to a positive value. When the induktoshina rotor is shifted by an angle relative to the zero potential, a time interval appears between the pulses applied to the R and S inputs of the 5-flip-flop, which is a measure of the rotation angle of the induktoshina rotor, in turn proportional to the weight located in the electrolytic bath and pushed to the scale lever. Information from the / 5-flip-flop output goes to the input port of the microprocessor. From the keyboard of the display 14, various types of information can be entered: the thickness of the coating layer, the subroutines, the change in the exposure value. 5 il. with V (L
Description
0000
елate
в:at:
I Изобретение относитс к гальванотехни- I ке покрытий на издели и может быть применено дл контрол толщины в процессе i осаждени .I The invention relates to electroplating of coatings on products and can be applied to control the thickness in the process of i deposition.
; Цель изобретени - повышение точнос- 1ти контрол .; The purpose of the invention is to increase the accuracy of the control.
I На фиг. 1 представлена схема установки; I на фиг. 2 - эпюры напр жений; на фиг. 3 - I внешний вид весового устройства; на I фиг. 4 - взвешивающее устройство с ин- I дуктосином; на фиг. 5 - индуктосин, раз- I рез.I FIG. 1 shows the installation diagram; I in FIG. 2 - stress diagrams; in fig. 3 - I appearance of the weighing device; in FIG. 4 - weighing device with i-Ictosin; in fig. 5 - inductosin, section I res.
i Установка содержит генератор 1, фазо- i сдвигающее устройство 2, усилители 3 и 4 I сигналов статорной обмотки индуктосина, I индуктосин 5, трансформатор 6, усилитель 7 I сигнала роторной обмотки индуктосина, фор- j мирователи 8 и 9 сигналов управлени I триггером, триггер 10, ЭВМ, включающую I микропроцессор 11 с портами ввода и выво- 1 да, устройство 12 нам ти, блок 13 сигнализации , дисплей 14, усилитель 15, тиристор- ный вынр митель 16, причем выходы генера- 1 тора 1 присоединены к входам фазосдви- гающего устройства 2 и формировател 9 j сигнала, выходы фазосдвигающего устройст- ; ва 2 присоединены через усилители 3. и 4 к статорной обмотке индуктосина 5, сигнал с выхода роторной обмотки индуктоси- I на 5 через трансформатор 6 подаетс на вход I усилител 7, выход которого через форми- I рователь 8 присоединен к триггеру 10, пр - 1 мой выход которого присоединен к входно- I му порту микропроцессора 11, к выходным I шинам микропроцессора присоединены дисплей 14, устройство 12 пам ти, блок 3 сигнализации , усилитель 15 и тиристорный выпр митель 16.The installation contains a generator 1, a phase shifter 2, amplifiers 3 and 4 of the I signals of the stator winding of the inductosin, I of inductosin 5, a transformer 6, the amplifier of the 7 I signals of the rotor winding of the inductoseen, formers 8 and 9 of the I control signals with a trigger, trigger 10, a computer that includes an I microprocessor 11 with input and output ports 1, a device 12 us, an alarm unit 13, a display 14, an amplifier 15, a thyristor terminal 16, and the outputs of the generator 1 1 are connected to the inputs phase shifter 2 and a 9 j signal generator, phase shifter outputs a flashing device; va 2 are connected via amplifiers 3. and 4 to the induction 5 stator winding, the signal from the output of the rotor winding inductos i to 5 through transformer 6 is fed to the input I of amplifier 7, the output of which is connected to trigger 10 via the driver 8 1 my output is connected to the input port I of the microprocessor 11, the display 14, the memory device 12, the alarm unit 3, the amplifier 15 and the thyristor rectifier 16 are connected to the output I buses of the microprocessor.
Датчик толщины покрытий выполнен в виде взвешивающего устройства, содержащего спиральные пружины 17, рычаг 18 дл I передачи нагрузки на чувствительный эле- мент, магнитный успокоитель 19, стрелку 20, стрелку 21 уравновешивани , шкалу 22, опорные катки 23, ручку 24 смещени стрелки и спиральной пружины (корректор положени ), контргайку 25, нагрузку 26 (взвешиваемый предмет, например «свидетель ) и стальную ось 27 с коническими цапфами.The coating thickness sensor is made in the form of a weighing device containing spiral springs 17, lever 18 for I transferring the load to the sensitive element, magnetic damper 19, arrow 20, arrow 21 for balancing, scale 22, support rollers 23, handle 24 for offset of the arrow and spiral springs (position corrector), lock nut 25, load 26 (object to be weighed, for example, "witness") and steel axle 27 with conical axles.
Индуктосин 5 установлен на оси 27 взвешивающего устройства. Индуктосин содержит левую и правую обмотки 28 статора, ротор с двум обмотками 29, кольцевые трансформаторы 30 дл бесконтактного съема информации, подщипники 31, выводы 32 кольцевого трансформатора, корпус 33 и уголок 34 дл креплени индуктосина. Погрешность индуктосина пор дка единицы углового перемещени . Частота питающего напр жени около 10 кГц. Обмотки индуктосина имеют сопротивление око;;о 5 Ом при собственной индуктивности в несколько микрогенри. Поэтому при кГц они практически действуют как акгивныеInductosin 5 is installed on the axis 27 of the weighing device. Inductosin contains left and right windings 28 of the stator, a rotor with two windings 29, ring transformers 30 for contactless information retrieval, sub-tabs 31, terminals 32 of the ring transformer, housing 33, and a corner 34 for attaching the induktosin. The inductosin error is in the order of a unit of angular displacement. The frequency of the supply voltage is about 10 kHz. The windings of inductosin have an eye resistance ;; about 5 ohms with their own inductance of several microgens. Therefore, at kHz, they practically act as active ones.
5five
00
5five
00
5five
00
5five
00
сопротивлени , и выходное напр жение смещено на 90° по отношению к питающему напр жению. Воздушный зазор 0,12 мм.resistance, and the output voltage is offset by 90 ° with respect to the supply voltage. The air gap is 0.12 mm.
Устройство работает следующим образом.The device works as follows.
Напр жение частотой кГц, вырабатываемое генераторов 1 через фазосдвигаю- щее устройство 2 и усилители 3 и 4 сигналов статора обмотки, подаетс со сдвигом 90° на статорные обмотки индуктосина 5, тем самым создава вращающеес поле. При повороте ротора из начального положени происходит изменение фазы напр жени на его зажимах, которое через усилитель 7 сигнала ротора обмотки .ч формирователь 8 подаетс на вход триггера 10, формиру передний фронт интервала.The voltage frequency kHz generated by the generators 1 through the phase shifter 2 and the amplifiers 3 and 4 of the stator winding signals is fed with a 90 ° offset to the stator windings of the inductose 5, thereby creating a rotating field. When the rotor is rotated from the initial position, the voltage phase changes at its terminals, which through amplifier 7 of the winding rotor signal. Shaper 8 is fed to the input of trigger 10 to form the leading edge of the interval.
За нулевое положение ротора принимаетс такой, при котором фазы напр жений генератора 1 и усилител 7 совпадают. Напр жени от генератора 1 и усилител 7 подаютс на формирователи 8 и 9, при помощи которых формируютс импульсы в момент прохождени напр жений через нуль от минусового к положительному значению. Когда ротор индуктосина сдвинут относительно нулевого потенциала на некоторый угол, между импульс-ами, подаваемыми на R- и 5-входы / 5-триггера, по вл етс временной интервал, вл ющийс мерой угла поворота ротора индуктосина, в свою очередь пропорционального весу «свидетел . Информаци с выхода триггера поступает на входной порт микропроцессора.The zero position of the rotor is taken to be such that the phases of the voltages of the generator 1 and the amplifier 7 coincide. The voltages from the generator 1 and the amplifier 7 are applied to the formers 8 and 9, with the help of which the pulses are generated at the time the voltages pass through zero from the negative to a positive value. When the induction rotor is rotated relative to the zero potential by a certain angle, a time interval appears between the pulses applied to the R and 5 inputs / 5 flip-flops, which is a measure of the rotation angle of the induktoshina rotor, in turn proportional to the weight of the witness . Information from the trigger output goes to the input port of the microprocessor.
С клавиатуры диспле 14 можно вводить различного рода информацию: толщину сло покрыти , подпрограммы, изменение величины экспозиции и т. п.From the keyboard of the display 14, various types of information can be entered: the thickness of the coating layer, subroutines, the change in the exposure value, etc.
Предположим, что надо покрыть изделие (вал) слоем хрома толщиной 200 мкм. Зна плотность хрома, определ ем массу этого сло на площади «свидетел в 1 cм. Она равна 1,42 г. Наибольщий предел взвешивани (НПВ) весов ВТ-500 равен 500 мГ, поэто.му «свидетель надо подобрать с такой площадью, чтобы масса сло не презыща- ла НПВ весов, например 0,25 см . Тогда масса сло на «свидетеле будет равна 0,35 г, что вполне приемлемо.Suppose you need to cover the product (shaft) with a chromium layer with a thickness of 200 microns. If we know the density of chromium, we will determine the mass of this layer in the area “witness is 1 cm. It is equal to 1.42 g. The maximum weighing limit (LEL) of the VT-500 scale is 500 mg. Therefore, “the witness must be chosen with such an area that the bed weight does not overshadow the LEL scale, for example, 0.25 cm. Then the mass of the word “witness will be equal to 0.35 g, which is quite acceptable.
Торсионные весы ВТ-500 имеют следующую техническую характеристику: НПВ, The torsion balance VT-500 has the following technical characteristics: LEL,
Цена одного делени , .МГ 0,5The price of one division, .5 0.5
.мар1 а погрешность при.mar1 and an error at
наибольшей нагрузке, мг ±0,5maximum load, mg ± 0.5
Масса весов, кг3,8Weight, kg3.8
Точное измерение сло можно гарантировать при условии, когда отношение масс издели и сло покрыти близко к единице. Поэтому к весам подвешиваетс не изделие, которое .может иметь массу во много раз большую, чем масса сло покрыти , а строго определенных размеров (0,25-5 см) медна фольга, толщиной 0,02 .мм.Accurate measurement of the layer can be guaranteed under the condition that the mass ratio of the product and the coating layer is close to unity. Therefore, not a product is suspended from the weights, which can have a mass many times greater than the mass of the coating layer, but strictly defined dimensions (0.25-5 cm) of copper foil 0.02 mm thick.
Масса погруженной в раствор ванны параллельно с изделием медной фольги подложки («свидетел ) балансируетс имеющимс в весах специальным приспособлением . Поэтому в процессе осаждени металла на изделие измер етс лишь масса осаждаемого сло и по ее величине определ етс толщина сло покрыти .The mass of the substrate (“witness) immersed in the bath solution in parallel with the product of copper foil is balanced by a special device in the balance. Therefore, in the process of metal deposition on a product, only the mass of the deposited layer is measured and its thickness determines the thickness of the coating layer.
Например, площадь «свидетел строго 1 см, масса его сбалансирована на весах . В конце процесса осаждени хрома весы показывают величину массы 14,2 мг (0,0142 г). Зна плотность хрома (7,1 г/см ), наход т толщину сло покрыти (2 мкм). Дл получени абсолютного значени массу 14,2 мг надо помножить на коэффициент - выталкивающую силу раствора. Алгоритм расчета заложен в качестве программы в устройство пам ти микропроцессора .For example, the area “witness is strictly 1 cm, its weight is balanced on the scales. At the end of the chromium precipitation process, the balance shows a mass of 14.2 mg (0.0124 g). Knowing the density of chromium (7.1 g / cm), the thickness of the coating layer (2 µm) is found. To obtain an absolute value, the mass of 14.2 mg must be multiplied by a coefficient — the buoyancy force of the solution. The calculation algorithm is incorporated as a program into the microprocessor's memory device.
Таким образом, масса «свидетел преобразовываетс в угол закручивани вала весов, на котором насажен подвижный ротор индуктосина 5.Thus, the witness mass is converted into a twist angle of a weighing shaft on which a movable inductosyn rotor 5 is mounted.
В предлагаемом устройстве в качестве первичного звена датчика используетс латунна фольга в виде калиброванного по размерам «свидетел , который примен етс только дл одного измерени , а затем замен етс . Наличие взвешивающего устройства , используемого в комплекте с индуктоси- ном, позвол ет путем установки нул компенсировать нежелательные факторы (неоднородность раствора, изменение массы «свидетел и т. д.).In the proposed device, brass foil is used as the primary element of the sensor in the form of a calibrated "witness", which is used only for one measurement and then replaced. The presence of a weighing device used in conjunction with inductosin allows one to compensate for undesirable factors by setting zero (solution heterogeneity, weight of the witness, etc.).
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU864128208A SU1411356A1 (en) | 1986-07-09 | 1986-07-09 | Installation for checking thickness of electroplating in depositing process |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU864128208A SU1411356A1 (en) | 1986-07-09 | 1986-07-09 | Installation for checking thickness of electroplating in depositing process |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1411356A1 true SU1411356A1 (en) | 1988-07-23 |
Family
ID=21260574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU864128208A SU1411356A1 (en) | 1986-07-09 | 1986-07-09 | Installation for checking thickness of electroplating in depositing process |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1411356A1 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2467097C2 (en) * | 2010-11-17 | 2012-11-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Самарский государственный технический университет | Method of defining thickness of part electrolytic coating during deposition |
| CN107727057A (en) * | 2017-08-30 | 2018-02-23 | 中国科学院上海技术物理研究所 | A kind of Method of Adjustment of round induction synchrometer |
| CN110146009A (en) * | 2019-05-17 | 2019-08-20 | 中国科学院上海技术物理研究所 | A kind of sandwich inductosyn structure |
| CN110849258A (en) * | 2019-11-28 | 2020-02-28 | 武汉华之洋科技有限公司 | Angle encoder based on induction synchronizer |
-
1986
- 1986-07-09 SU SU864128208A patent/SU1411356A1/en active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР . № 158465, кл. С 25 D 21/12, 1962. Авторское свидетельство СССР № 1260419, кл. С 25 D 21/12, 1985. * |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2467097C2 (en) * | 2010-11-17 | 2012-11-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Самарский государственный технический университет | Method of defining thickness of part electrolytic coating during deposition |
| CN107727057A (en) * | 2017-08-30 | 2018-02-23 | 中国科学院上海技术物理研究所 | A kind of Method of Adjustment of round induction synchrometer |
| CN110146009A (en) * | 2019-05-17 | 2019-08-20 | 中国科学院上海技术物理研究所 | A kind of sandwich inductosyn structure |
| CN110849258A (en) * | 2019-11-28 | 2020-02-28 | 武汉华之洋科技有限公司 | Angle encoder based on induction synchronizer |
| CN110849258B (en) * | 2019-11-28 | 2021-04-06 | 武汉华之洋科技有限公司 | Angle encoder based on induction synchronizer |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4695797A (en) | Method of and apparatus for layer thickness measurement | |
| US5559431A (en) | Method of calibrating a sensor | |
| EP0242492B1 (en) | An improved non-contact type pattern sensor | |
| EP2304447B1 (en) | Magnetoresistive sensor arrangement for current measurement | |
| US20050263395A1 (en) | Method and apparatus for measuring accumulated and instant rate of material loss or material gain | |
| US4255709A (en) | Device for providing an electrical signal proportional to the thickness of a measured coating with an automatic range switch and sensitivity control | |
| JPH11514739A (en) | Flowmeter | |
| SU1411356A1 (en) | Installation for checking thickness of electroplating in depositing process | |
| JPH0542630B2 (en) | ||
| GB1559340A (en) | Method of and apparatus for measuring the position of a magnetic rod | |
| JPH0236313A (en) | Gap adjusting method for magnetic encoder | |
| JPH0523361B2 (en) | ||
| CN108519626A (en) | A kind of high-accuracy portable marine gravitometer | |
| US2880407A (en) | Electronic swivel control | |
| US3221829A (en) | Voltage balancing circuit | |
| US5489842A (en) | Method and apparatus for determining the rotational position of a magnetic rotor relative to current carrying coils utilizing magnetic coupling between coils | |
| US2978901A (en) | Direct reading dynamometer | |
| US2590946A (en) | Combining measuring circuit | |
| JPH0313705Y2 (en) | ||
| SU847002A1 (en) | Electromagnetic device for measuring distance to electroconductive surface | |
| SU1201743A1 (en) | Electromagnetic coating thickness gauge | |
| SU1281871A1 (en) | Device for checking eddy current thickness gauges for non-metallic coatings | |
| CN2258271Y (en) | Axiality detector for stainless steel and copper welding rod | |
| SU993153A1 (en) | Device for measuring non-magnetic material specific resistance | |
| JPH0719970A (en) | Force sensor and force measuring device |