SU1404331A1

SU1404331A1 - Vacuum manipulator

Info

Publication number: SU1404331A1
Application number: SU864162595A
Authority: SU
Inventors: Алексей Алексеевич Исаев; Николай Михайлович Рулев
Original assignee: Предприятие П/Я А-1067
Priority date: 1986-12-18
Filing date: 1986-12-18
Publication date: 1988-06-23

Abstract

Изобретение относитс к устройствам вакуумной техники и предназначено дл передачи изделий в вакуумных установках. Целью изобретени вл етс расширение технологических возможностей за счет обеспечени точной установки схвата в пространстве. Манипул тор снабжен стыковочным узлом , который выполнен в виде сильфона 16с двум фланцами 17 и 18. Фланец 17необходим дл креплени стыковочного узла к герметичному корпусу 1, а фланец 18 - дл креплени вакуумного манипул тора на вакуумной камере. Фланцы 17 и 18 установлены с возможностью регулировочного перемещени друг относительно друга и св заны посредством шпилек 19. На фланцах 17 и 18 выполнены выступы, расположенные на разных уровн х параллельно оси ползуна 2, и соединены попарно винтами 20, осуществл ющими также регулировку относительного положени фланцев . 2 ил. (ЛThe invention relates to vacuum technology devices and is intended to transfer products in vacuum installations. The aim of the invention is the expansion of technological capabilities by ensuring accurate installation of the gripper in space. The manipulator is equipped with a docking assembly, which is made in the form of a bellows 16c with two flanges 17 and 18. Flange 17 is necessary for fastening the docking assembly to the hermetic case 1, and flange 18 for securing the vacuum manipulator on the vacuum chamber. The flanges 17 and 18 are installed with the possibility of adjusting movement relative to each other and are connected by means of studs 19. On flanges 17 and 18, projections are made, which are located at different levels parallel to the axis of the slide 2, and are connected in pairs by screws 20, which also adjust the relative position of the flanges . 2 Il. (L

Description

ц 20 7 ;/q 20 7; /

5 85 8

571571

СО СдЭWITH Sde

Изобретение относитс к устройствам вакуумной техники и предназначено дл передачи изделий в вакуумных установках спектрального анализа, моле- кул рно-лучевой эпитаксии и других технологических установок крупносе-, рийного и массового производства полупроводниковых изделий и материаловThe invention relates to vacuum technology devices and is intended for transferring products in vacuum installations of spectral analysis, molecular beam epitaxy and other technological installations for large-scale, emergency and mass production of semiconductor products and materials.

Целью изобретени вл етс расшире ние технологических возможностей за счет обеспечени точной установки схвата в пространстве.The aim of the invention is the expansion of technological capabilities by providing an accurate installation of gripper in space.

На фиг.1 изображен вакуумньй манипул тор , общий ввд, разрез; на фиг.2 сечение А-А на фиг.1.Figure 1 shows a vacuum manipulator, general airfield, section; Fig.2 section aa in Fig.1.

Манипул тор состоит из герметичного корпуса 1, ползуна 2, расположенного в герметичном корпусе на направл ющих 3 качени , схвата 4 с двум губками 5-и 6,пружины 7, т ги 8 механизма 9 продольного перемещени ,- привода 10 схвата с барабаном 11,тросика 12 с нат жными роликами 13 и пружиной 14. На фланце 15 герметичного корпуса 1 коаксиально ползуну 2 со схватом 4 закреплен стыковочный узел. Стыковочный узел выполнен в виде сильфона 16 с двум фланцами 17 и 18, Фланец 17 необходим дл креплени стыковочного узла к герметичному корпусу 1, а фланец 18 - дл креплени манипул тора вакуумного манипул тора на вакуумной камере. Фланцы 17 и 18 установлены с возможностью регулировочного перемещени друг относительно друга и св заны посредством шпилек 19. На фланцах 17 и 18 выполнены выступы, расположенные на разных уровн х параллельно оси ползуна 2 и соединенные попарно винтами 20.The manipulator consists of a hermetic case 1, a slider 2 located in a hermetic case on rails 3, gripper 4 with two jaws 5 and 6, spring 7, cable 8 of mechanism 9 for longitudinal movement, - drive 10 gripper with drum 11, cable 12 with tensioning rollers 13 and a spring 14. On the flange 15 of the hermetic housing 1, a docking assembly is coaxially mounted to the slider 2 with the tong 4. The docking station is made in the form of a bellows 16 with two flanges 17 and 18, flange 17 is necessary for fastening the docking station to the hermetic case 1, and flange 18 for securing the vacuum manipulator handpiece on the vacuum chamber. The flanges 17 and 18 are installed with the possibility of adjusting movement relative to each other and are connected by means of studs 19. On flanges 17 and 18, protrusions are made, which are located at different levels parallel to the axis of the slide 2 and connected in pairs with screws 20.

Вакуумный манипул тор работает следующим образом.Vacuum manipulator works as follows.

При установке образца в схват привод 10 сильфонного типа вращает ба- рабан 11. В результате намотки на барабан тросика 12 происходит его укорачивание в промежутке между барабаном 11 и схватом 4. Это приводит к перемещению т г 8 и повороту св занных с ними губок 5 и 6. После установки образца в схват за счет вращени барабана в противоположную сторону происходит удлинение тррсика, т ги 8 станов тс свободными и губки 5 и 6 под действием пружины 7 поворачиваютс и зажимают образец. Пружина 14 обеспечивает нат жение тросика, а ролики 13 - его направление. ПереWhen the specimen is installed in the gripper, the bellows-type actuator 10 rotates the drum 11. As a result of the cable 12 being wound on the drum, it is shortened between the drum 11 and the gripper 4. This causes the displacement of t 8 and the rotation of the associated lips 5 6. After the specimen has been placed in the gripper, due to the rotation of the drum in the opposite direction, the elongation of the throne occurs, the pulls 8 become free and the jaws 5 and 6 under the action of the spring 7 rotate and clamp the specimen. The spring 14 provides the tension of the cable, and the rollers 13 - its direction. Re

д d

15 15

0 5 о Q 0 5 o Q

с with

5five

00

мещение ползуна вперед и назад осуществл етс с помощью механизма 9 прЬ- дрльного перемещени посредством реечной передачи.The slider is moved forward and backward by means of the mechanism 9 for direct movement by means of a pinion gear.

Управление схватом 4 может быть осуществлено в любом положении ползуна 2 и при его перемещении.The gripper 4 can be controlled in any position of the slider 2 and during its movement.

Регулировка положени схвата с образцом относительно приемного столика в рабочей вакуумной камере при его перемещении производитс за счет деформации сильфона 16 в горизонтальном и вертикальном направлени х и под углом к оси вакуумного манипул тора посредством шпилек 19 и винтов 20. Шпильки 19 одним концом ввернуты на резьбе во фланце 18, а другим свободно упираютс в проточки фланца 17. Путем вьшертывани или завертывани шпилек передаетс усилие на фланец и таким образом осуществл етс деформаци св занного с фланцем сильфона 16 и вместе с ним перемещение герметичного корпуса 1 с расположенным в нем схватом в нужном направлении. Винты 20 фиксируют установленное положение и, кроме того, позвол ют дополнительно деформировать сильфон 16 в горизонтальной и вертикальной плоскост х, облегча тем самым выверку издели относительно приемного столика.Adjusting the position of the gripper with the sample relative to the receiving table in the working vacuum chamber when it is moved is due to the deformation of the bellows 16 in the horizontal and vertical directions and at an angle to the axis of the vacuum manipulator by means of studs 19 and screws 20. Studs 19 are screwed into the flange 18 and the other freely abut against the grooves of the flange 17. By shrinking or screwing the studs, force is transferred to the flange and thus the deformation of the bellows 16 associated with the flange is carried out and together with it, the movement of the hermetic case 1 with a tongue located in it in the desired direction. The screws 20 fix the installed position and, in addition, allow the bellows 16 to be additionally deformed in the horizontal and vertical planes, thereby facilitating the alignment of the product relative to the receiving table.

Claims

Invention Formula

A vacuum manipulator comprising a hermetic housing, a slider mounted therein, kinematically associated with a mechanism for its longitudinal movement, and an actuator tong mounted on this slider, characterized in that in order to expand technological capabilities by providing an accurate gripper installation It is equipped with a docking assembly made in the form of two flanges connected by a sylphon, in the cavity of which a slider with a gripper is placed coaxially, and the flanges are installed with the possibility of adjusting relative to each other by means of studs mounted in the holes of these flanges, while the flanges are made protrusions located at different levels. n x parallel to the axis of the slide and connecting screws, with one of the flanges

sealed enclosure.

Phys .2