SU1395946A1 - Device for checking surface roughness - Google Patents
Device for checking surface roughness Download PDFInfo
- Publication number
- SU1395946A1 SU1395946A1 SU864118615A SU4118615A SU1395946A1 SU 1395946 A1 SU1395946 A1 SU 1395946A1 SU 864118615 A SU864118615 A SU 864118615A SU 4118615 A SU4118615 A SU 4118615A SU 1395946 A1 SU1395946 A1 SU 1395946A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- radiation
- lens
- recorder
- positive lens
- radiation source
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл контрол шероховатости поверхности по методу темного пол . Цель изобретени - уменьшение продольных: габаритов прибора за. счет применени в оптической системе прибора простых положительных линз. Прибор содержит установленные на одной оптической оси источник I излучени , положительные линзы 2 и 3 и регистратор 4. Линза 2 совместно с центральной зоной линзы 3 стро т на контролируемой поверхности 5 изображение из- Случающей площадки источника 1 излучени . При отражении излучени от поверхности 5 часть лучей, лопадающа на поверхность, свободную от микроде- Лектов, отражаетс зеркально, а часть рассеиваетс на микродеЛектах и попадает на периферийную зону линзы 3, котора формирует в плоскости регистратора 4 изображение светлых микроде- фектов на темном фоне. Зеркально отраженные лучи через центральную зону линзы 3 и линзу 2 возвращаютс обратно к источнику 1 излучени и на регистратор 4 не попадают. 1 ил. i (ЛThe invention relates to a measurement technique and can be used to control the surface roughness of the dark field method. The purpose of the invention is to reduce the longitudinal: dimensions of the device for. the expense of using simple positive lenses in the optical system of the device. The device contains a source of radiation I installed on the same optical axis, positive lenses 2 and 3, and a recorder 4. Lens 2 together with the central zone of the lens 3 are built on the test surface 5 an image from the incident site of the radiation source 1. Upon reflection of radiation from the surface 5, a part of the rays, which fall onto the surface free from microdelectures, is reflected mirrored, and a part scatters on the microdetectors and falls on the peripheral zone of the lens 3, which forms in the plane of the recorder 4 an image of bright microdefects against a dark background. The specularly reflected rays through the central zone of the lens 3 and the lens 2 return back to the radiation source 1 and do not reach the recorder 4. 1 il. i (L
Description
соwith
i;Oi; O
слcl
;о;about
4four
OiOi
Изобретение относитс к измеритель- - ной технике и может быть использовано, в частности, дл контрол шероховатости поверхности,сThe invention relates to a measuring technique and can be used, in particular, to control the surface roughness, with
Цель изобретени - уменьшение продольных габаритов прибора за счет применени простой положительной линзы вместо сложной отрицательной линзы с отверстием, а также за счет того, ю что эквивалентное фокусное рассто ние системы двух положительных линз меньше эвивалентного фокусного рассто ни системы из положительной и отрицательной линз.15The purpose of the invention is to reduce the longitudinal dimensions of the device by using a simple positive lens instead of a complex negative lens with a hole, and also due to the fact that the equivalent focal distance of the system of two positive lenses is less than the equivalent focal length of the system from the positive and negative lenses.
На чертеже изображена принципиальна схема прибора дл контрол шеро- ховатости поверхности.The drawing shows a schematic diagram of a device for monitoring surface roughness.
Прибор содержит установленньте на 20 одной, оптической оси источник 1 излучени , положительные линзы 2 и 3 и регистратор 4.The device contains a source of radiation 1, positive lenses 2 and 3 and a recorder 4 mounted on one optical axis 20.
Источник 1 излучени совместно с 25 линзой 2 меньшего диаметра и с центральной зоной линзы 3 большего диаметра образуют короткофокусный осве тительный канал, а регистратор 4 совместно с периферийной зоной линзы 3 30 большего диаметра образуют длиннофокусный приемный канал, апертура которого в пространстве предметов превышает апертуру осветительного канала,The radiation source 1 together with the 25 lens 2 of a smaller diameter and the central zone of the lens 3 of a larger diameter form a short-focus illumination channel, and the recorder 4 together with the peripheral zone of the lens 3 30 of a larger diameter form a long-focus reception channel whose aperture in the space of objects exceeds the aperture of the light channel ,
3535
Линзы 2, 3 могут быть плосковьшук- лыми, дво ковыпуклыми либо положительными менисками, В качестве источника 1 излучени может использоватьс миниатюрна лампа накаливани , но лучшие i 40 результаты дает применение светодио- дов с узкой индикатрисой излучени . Регистратором А может быть фотоприемник , позвол ющий регулировать и оценивать величину отраженной от контро- 45 лируемой поверхности 5 рассе нной составл ющей лучистого потока, либо обычный микроскоп, если целесообразно определение величины шероховатости по геометрическим характеристикам 50 визуально наблюдаемых микродефектов контролируемой поверхности 5.Lenses 2, 3 can be flat-tinted, double-convex or positive meniscuses. A miniature incandescent lamp can be used as the radiation source 1, but the best i 40 results are obtained by using LEDs with a narrow radiation indicatrix. The recorder A can be a photodetector that allows you to adjust and evaluate the value of the diffuse component of the radiant flux reflected from the monitored surface 5, or a conventional microscope if it is reasonable to determine the magnitude of the roughness by the geometrical characteristics 50 of the visually observed microdefects of the monitored surface 5.
Прибор работает следующим образомThe device works as follows
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864118615A SU1395946A1 (en) | 1986-06-13 | 1986-06-13 | Device for checking surface roughness |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864118615A SU1395946A1 (en) | 1986-06-13 | 1986-06-13 | Device for checking surface roughness |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1395946A1 true SU1395946A1 (en) | 1988-05-15 |
Family
ID=21256971
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU864118615A SU1395946A1 (en) | 1986-06-13 | 1986-06-13 | Device for checking surface roughness |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1395946A1 (en) |
-
1986
- 1986-06-13 SU SU864118615A patent/SU1395946A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР 951070, кл. G 02 В П/ЗО, 1982. Авторское свидетельство СССР № 1249325, кл. G 01 В 11/30, 1985. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4583854A (en) | High resolution electronic automatic imaging and inspecting system | |
GB2126712A (en) | Surface flaw inspection apparatus for a convex body | |
KR920012892A (en) | Inspection method and device for optical parts, especially for eyes, and lighting devices for clean and transparent inspection objects | |
JPS5965708A (en) | Sonde for automatic surface inspection | |
WO1998052025A1 (en) | Surface inspection instrument and surface inspection method | |
US3834822A (en) | Method and apparatus for surface defect detection using detection of non-symmetrical patterns of non-specularly reflected light | |
JPS6036013B2 (en) | Metal surface defect inspection method | |
FI78355B (en) | METHOD FOER MAETNING AV GLANS OCH APPARATUR FOER TILLAEMPNING AV METODEN. | |
US4160914A (en) | Apparatus for measuring of particulate scattering in fluids | |
US3361025A (en) | Method and apparatus of detecting flaws in transparent bodies | |
US3610756A (en) | Apparatus for determining the color of cut diamonds | |
SU1395946A1 (en) | Device for checking surface roughness | |
JPS6457154A (en) | Defect inspecting apparatus | |
CN113588564B (en) | Diaphragm and optical detection device | |
US6404489B1 (en) | Inclusion detection | |
JPS5960344A (en) | Method and device for automatically inspecting surface by coherent laser luminous flux | |
SU1249325A1 (en) | Device for checking roughness of surface | |
SU1511593A1 (en) | Device for checking surface roughness | |
JP2821460B2 (en) | Inspection device for transparent substrate | |
JPH03115844A (en) | Detection of surface defect | |
JPS6488237A (en) | Surface inspecting apparatus | |
CA2413343A1 (en) | Method and apparatus for testing optical components | |
CA1214260A (en) | High resolution electronic automatic imaging and inspection system | |
JPH0815090A (en) | Method for inspecting distributed index lens array | |
SU1155848A1 (en) | Device for measuring roughness of polished surface of object |