SU1393626A1

SU1393626A1 - Electrostatic grip of manipulator

Info

Publication number: SU1393626A1
Application number: SU843815142A
Authority: SU
Inventors: Зиновий Пинхусович Шульман; Рафаил Геннадьевич Городкин; Марат Максимович Раготнер; Галина Тимофеевна Завидонова; Татьяна Адамовна Демиденко
Original assignee: Институт тепло- и массообмена им.А.В.Лыкова
Priority date: 1984-11-20
Filing date: 1984-11-20
Publication date: 1988-05-07

Description

H:uiOprTctiHc 11 CHcu.HT ГЯ к чпек1ро- г; 1- тнческим зажимным устройствам и м(1жет Г)ыть npHMefreno в технологических процессах микроэлектроники и ару гих .област х техники,H: uiOprTctiHc 11 CHcu.HT rh to cpeckrog; 1-pin clamping devices and m (1 r d) ypHMefreno in technological processes of microelectronics and arugih areas of technology,

Целью изобретени вл етс обеспечение надежности работы схвата за счет упрощени конструкции привода мембраны.The aim of the invention is to ensure reliable operation of the gripper by simplifying the construction of the drive of the membrane.

На чертеже изображен предлагаемый схват, обагий вид.The drawing shows the proposed gripper, oben view.

Схват содержит корпус 1, на котором установлена рабоча головка 2 с электродом. 3j выполненным в виде кольца, установленного на торце рабочей головки 2, электродом 4, выпол - ненным в виде мембраны из полупровод щего материала, и двум дополнительными электродами 5 и 6, один из которых (электрод 5) выполнен из эластичного материа:па и через электроизол ционную эластичную прокладку 7 установлен на поверхности электрода 4, Между дополнительными элек- тродами 5 и 6 в рабочей головке 2 образована полость 8, заполненна электрореологической жидкостью. Все электроды установле1нВ1 в головке 2 соосио и св заны с источником 9 высо кого напр жени ,The grip includes a housing 1 on which a working head 2 with an electrode is mounted. 3j made in the form of a ring mounted on the end of the working head 2, electrode 4, made in the form of a membrane made of semiconducting material, and two additional electrodes 5 and 6, one of which (electrode 5) is made of elastic material: An electrically insulating elastic gasket 7 is mounted on the surface of the electrode 4. Between the additional electrodes 5 and 6 in the working head 2 there is a cavity 8 filled with electrorheological fluid. All electrodes are mounted in coaxio head 2 and are connected to a high voltage source 9,

рR

Схват работа€ Т следующим образомGrip work € T as follows

Дл захвата и закреплени детали на электроды 3 и 4 подаетс посто ное высокое напр жение от источникаTo capture and secure the part, electrodes 3 and 4 are supplied with a constant high voltage from the source.

9. Электрод 3 головки 2 наклалывает- с на захватываемую деталь 10 с одновременной подачей напр жени на дополнительные электроды 5 и 6.9. Electrode 3 of head 2 is knocked off onto gripped part 10 with simultaneous supply of voltage to additional electrodes 5 and 6.

При этом полость 8, заполненна электрореологической жидкостью, под воздействием электрического пол увеличиваетс , в результате чего электрод 4, выполненный в виде мембраны прогибаетс в сторону захватываемой детали 0,At the same time, the cavity 8, filled with electrorheological fluid, under the influence of the electric field increases, as a result of which the electrode 4, made in the form of a membrane, bends towards the gripped part 0,

Степень прогиба мембраны в сторону захватываемой детали зависит от состава суспензии, а также величины воздействующего на нее электрического пол , что дает возможность плавного и точного регулировани прижати эластичной мембраны к детали.The degree of deflection of the membrane in the direction of the captured part depends on the composition of the suspension, as well as the size of the electric field acting on it, which allows smooth and precise adjustment of the pressure of the elastic membrane to the part.

При прикосновении электрода 4 к захватываемой детали: 10 возникает взаимодействие закрепл емого объекта с неоднородным электростатическим полем, создаваемым электродами 3 и 4, и деталь закрепл етс .When the electrode 4 is touched to the piece to be captured: 10, an object to be fixed interacts with a non-uniform electrostatic field created by electrodes 3 and 4, and the part is fixed.

После закреплени детали производ т необходимые перемещени и операции . После сн ти напр жени с электродов мембрана вьшр мл етс , отдел сь от детали, тем самым освобожда последнюю от схвата.After fixing the part, the necessary movements and operations are performed. After removing the voltage from the electrodes, the membrane will exit, separating from the part, thereby releasing the latter from the gripper.

Путем коммутации, осуществл емой известными методами, можно при необходимости варьировать одновременную пс «еременную .подачу напр жени на электрода и его отключение.By switching, carried out by known methods, it is possible, if necessary, to vary the simultaneous PS "alternating" voltage supply to the electrode and its disconnection.

Claims

ELECTROSTATIC LIFT OF THE MANIPULATOR, containing a high voltage source and a housing on which a working head with two electrodes is installed, one of which is made in the form of a ring, is installed 3 5 8

at the end of the working head, and the other in the form of a membrane of semiconducting material installed in the working head coaxially with the ring, characterized in that, in order to increase reliability, it is equipped with an elastic gasket made of electrically insulating material made of elastic material and installed through a gasket on the surface of the membrane facing the body, and the other is located in the working head parallel to the membrane and forms a sealed cavity between the body. itel- and nym electrode ⁵⁶ filled with electro rheological fluid.

511 „1393626

I> 39 <