SU1392538A1 - Laser resolution meter - Google Patents

Laser resolution meter Download PDF

Info

Publication number
SU1392538A1
SU1392538A1 SU864099432A SU4099432A SU1392538A1 SU 1392538 A1 SU1392538 A1 SU 1392538A1 SU 864099432 A SU864099432 A SU 864099432A SU 4099432 A SU4099432 A SU 4099432A SU 1392538 A1 SU1392538 A1 SU 1392538A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
diffraction
plane
diaphragm
distribution
cylindrical component
Prior art date
Application number
SU864099432A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Александр Владимирович Костюк
Игорь Юрьевич Агурьянов
Иван Степанович Солдатенков
Юрий Андреевич Черкасов
Original Assignee
Предприятие П/Я А-1029
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-1029 filed Critical Предприятие П/Я А-1029
Priority to SU864099432A priority Critical patent/SU1392538A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1392538A1 publication Critical patent/SU1392538A1/en

Links

Abstract

Изобретение относитс  к средствам испытани  светочувствительны.х материалов и позвол ет повысить точность и производительность испытаний. Коллимированный источник I излучени  формирует плоскую когерентную волну, освещаюпдую днфрак- пионный элемент 2, выполненный в виде набора расположенных одна под другой дифракционных решеток с измен ющейс  не более, чем па октав. н|)()странсгнепн()11 частото). Цилиндрический компонс пг 3 и размен1енный за ним сферический KOMIIOHOIII 4 формируют и плоскости диафрагмы л перевернутое изображеиие .leMeirra 2. Про |нед1ние через )сти  диафрагмы 5 световые нучки образуют в плоскости исп1) мого материала 7 изображение v. ieMenTa 2. Второй цилиндрически компонент 6 осу- Н1ествл ет оптическое сопр жение п. юскос- ти диафра1мы 5 с n. iocKocTiiK) испытуемого .материала 7, в кото|К)й наблюдаютс  резко очерченные изображени  областей дифрак- пионных решеток :1,1емента 2, зано.1ненн1)1е синусоидальным рас11реде.1ением осшчнсн- ности неременной пространственной част()1ы. Управ. 1ение контрастом раснределе1П1Я осне- нгеппости в плоскости испытуемого материала 7 осушеств.тетс  посредством набо|1а сменных фильтров 8. Дл  новышени  с нето- вого КПД элемента 2 выпо.чнен из набора фазовых дифракционных peHicTOK с (Ч1мме1- ричн1 |М нрО({)и.1ем. I з.п. ф-.чы. 3 и. 1. (О (/ сThe invention relates to photosensitive materials testing means and allows for improved accuracy and performance testing. The collimated source of I radiation forms a flat coherent wave, illuminating the diffraction element 2, made in the form of a set of diffraction grids arranged one under another with varying no more than pa octaves. n |) () Strang () 11 frequency). The cylindrical component lg 3 and the spherical KOMIIOHOIII 4 exchanged behind it form the diaphragm planes and the inverted image of the le Meerara 2. Next through the styling of the diaphragm 5, the light points form the image v in the plane of the material used 7. ieMenTa 2. The second cylindrical component 6 implements the optical conjugation of the aperture of a diaphragm 5 with n. iocKocTiiK) of the test material 7, in which | K) th there are sharply outlined images of the areas of diffraction gratings: 1, 1, 2, zano. 1n1) 1e sinusoidal distribution of non-temporal spatial fraction () 1y. Manage 1 contrasting the distribution of lightness in the plane of the test material 7 is measured by means of a set of replacement filters 8. For new developments from the non-effective efficiency of element 2, it is derived from a set of phase diffraction peHicTOK with (H1mme1- Rich11 M nrO) (> and 1. I Cp f-.ch. 3 and. 1. (O (/ s

Description

иг.ig.

77

о: х o елabout: x o ate

со ооwith oo

Изобретение относитс  к средствам испытани  светочувствительных материалов, а именно к устройствам дл  регистрации ренольвограмм при измерении пространственно-частотных характеристик и раз- ре1наю1цей способности материалов.The invention relates to means for testing photosensitive materials, namely, devices for recording renolograms in measuring spatial-frequency characteristics and dispersion of materials.

Цель изобретени  - повы1иение точности и производительности резольвометричес- ки пспытаний за счет одновременного экспонировани  всех полей резольвограммы.The purpose of the invention is to improve the accuracy and performance of resolvative tests by simultaneously exposing all the fields of the resolvent.

}fa фиг. 1 приведена схема лазерного резол ьвометра; на фиг. L и 3 ход лучей в меридиональном и cai гита.чьном сечени х оптической veмы резольвометра соответственно .} fa of fig. 1 shows a diagram of a laser resolver; in fig. L and 3 ray paths in the meridional and cai lines of the optical sections of the optical vema of the resolvometer, respectively.

Лазерный резольвометр содержит кол- . шмированный источник 1 когерентного излучени  1, дифракционный элемент 2, представл ющий собой набор нескольких рас- нсхюжеппых одпа под другой дифракцион- иьг решеток с переменной частотой штрихов , первый положительный цилиндрический компонент 3, передн   фокальна  плоскость которого coBMenie)ia с п,:1оскоетью ди- ({)ракционно|() элемента 2, положительный с()ерический компоиент 4, раеноложенный нп, 1отнун) к цилиндрическому компоненту 3 диаф)а1му Г), содержащую неско.гько пар сим мет)ичпо )асположепньгх от верст и и, че)ез когорые проход г световые потоки, cooi ветствуюшие первому и .минус первому по 1 дкам дифракции на решетках, вход - inn.x в дифракционный э.лемент 2, второй по.южи гельный цилиндрический компонент С), который осуц1еств. 1 ет огггическое сопр - жешю плоскости диафраг мы 5 с п. юскостью испытуемого материала 7, набор сменных |1игП))в 8, }ведеиием которых можно измен ть соогп(ипепие ипгепсивностей дифра- 1-ировап1п,1х пучков первого и второго пор д- K(n и уп|)авл т) контрастом распределени  освещенности в плоскости испьггуемого ма- ге)иала.Laser resolvometer contains count. the coherent radiation source 1 1, the diffraction element 2, which is a set of several remote sensors under a different diffraction grating with a variable frequency of strokes, the first positive cylindrical component 3, whose front focal plane coBMenie) ia with n: 1 - ({) is functional | () of element 2, positive with () component 4, paired np, 1otnun) to the cylindrical component 3, diaphragm, D), containing several pairs of sym) (ico) asheld from versts and, Th) without the passage of light pass Otok, cooi corresponds to the first and .minus to the first by 1 diffraction chambers on the gratings, the input is inn.x in the diffraction element 2, the second along the curve is the gel cylindrical component C), which is osus. 1 is an angular contact of the plane of the diaphragm 5 with the correctness of the test material 7, a set of interchangeable | 1gP)) into 8,} by which you can change the cohp (ipippelsivnosti diffra-1-irovap1n, 1x beams of the first and second order - K (n and yn |) avt) by the contrast of the distribution of illumination in the plane of the ejected mageal.

При тако.м вьшолнении резольв(.)метра изображение элемента в плоскости ис 1ытуе- МОК) материа,1а форми)уетс  двум  сход - П1имис  ко1 ерентными пучками, соответствующими первому и минус перво.му пор дкам дифракции, что приводит к возникновению синусоидального распределени  осве- шеппоети переменной частоты в пределах об. 1астей изображени  каждой решетки за счет иптерс ренции. Изме 1ение частоты не более, чем на октаву, в каждой из решеток позвол ет по.шостьк) отфильтровать высшие пор дки дифракцип. что обеспечивает высокий контраст и точность синусоидального распределени  освещенности. Схема фс)рмирует несколько юлей с переменной частотой одновре.менно. что позвол ет экс- ионпровать резольвограмму в диапазоне п)осгранственных частот от VH-U до 2 N мии IVMKH минимальна  частога; N чис.к.With such an execution, the resolvent (.) Meter image of the element in the plane of isytu- IOC) matter, 1a forms) there is two similarity - P1imis coherent beams corresponding to the first and minus the first diffraction order, which leads to the appearance of a sinusoidal distribution light frequency variable in the range of vol. The image edges of each grid are due to ipters rentia. Measuring the frequency by no more than an octave, in each of the gratings, allows for a small amount to filter out the highest order diffraction. which provides high contrast and precision in sinusoidal light distribution. The fs circuit regulates several variable points at the same time. what allows ex-ioning the resolvogram in the range n) of the frequencies from VH-U to 2 N; IVMKH; minimum frequency; N counts

00

5five

00

5five

00

5five

00

5five

00

5five

отдельных дифракционных решеток в дифракционном эле.менте).individual diffraction gratings in the diffraction unit).

Так как синусоидальность распределени  освещенности в плоскости испытуемого материала обеспечиваетс  дл  любого профил  раснределени  комплексного амплитудного коэффициента пропускани  дифракци- о)1ной решетки, то с целью повышени  светового коэффициента полезного действи  резольвометра следует использовать фазовые дифракционные решетки с пр моугольным или симметричным треугольным профилем.Since the sinusoidal distribution of illumination in the plane of the test material is provided for any distribution profile of the complex amplitude transmittance of the diffraction grating of the first grating, phase diffraction gratings with a rectangular or symmetrical triangular profile should be used to increase the light coefficient of the resolvometer.

При использовании дифракционных решеток с симметричным профилем штрихов контраст распределени  освещенности в выходной плоскости резольвометра практически достигает 100%. С целью управлени  ве- .1ИЧИНОЙ контраста в конструкцию резольвометра дополнительно введены сменные светофильтры , перекрывающие половину диа- фра1М1 1 (соответствующую либо первому, либо минус первому пор дку дифракции на дифракционном элементе).When using diffraction gratings with a symmetrical groove profile, the contrast of the distribution of illumination in the output plane of the resolver almost reaches 100%. In order to control the magnitude of the contrast, interchangeable light filters were added to the design of the resolvometer, overlapping half of the diaframe1M1 1 (corresponding to either the first or the minus first diffraction on the diffractive element).

Лазерный резсхчьвометр работает следующим образом.Laser reschvomet works as follows.

Ко, 1лимированный источник 1 излучени  формирует плоскую когерентную волну, освещающую дифракционный элемент 2. Система, состо ща  из цилиндрического ко.мнонента 3 и сферического компонента 4, в меридиональном сечении формирует в плоскости диафраг.мы 5 перевернутое изображение дифракционного элемента 2. В сагиттальном сечении (фиг. 3) в плоскости фильтра 5 ф)Ормируетс  одномерный Фурье- снектр дифракционного элемента 2, состо щий из )1абора пор дков дифракции на ре- щетках, состав.ч ющих дифракционный элемент 2. Дифракционные пор дки не перекрываютс , так как изменение пространственной частоты штрихов вдоль каждой из решеток не превышает октавы. Через отверсти  в диафрагме 5 проход т только первый и минус первый пор дки дифракции. Прошедшие световые пучки формируют в сагитталь)1ом сечении изображение дифракционного эле.мента 2 в плоскости испытуемого материала 7, причем интерференци  пучков первого и минус первого пор дков приводит к возникновению синусоидального распределени  освещенности с медленно мен ющейс  пространственной частотой. Контраст синусоидального распределени  освещенности определ етс  соотношением интенсивности интерферирующих пучков, поэтому введением ослабл ющего фильтра 8 в один из пор дков дифракции можно унраап ть контрастом распределени  освещенности в плоскости 7.The co-luminated radiation source 1 forms a flat coherent wave illuminating the diffractive element 2. The system, consisting of a cylindrical coupling 3 and a spherical component 4, in the meridional section forms an inverted image of the diffraction element 2 in the plane of the diaphragm 5. In the sagittal section (Fig. 3) in the filter plane 5 f) A one-dimensional Fourier spectrometer of diffractive element 2 is formed, consisting of a set of diffraction orders on the slats that make up the diffractive element 2. The diffraction orders are not ryvayuts, since a change in the spatial frequency of grooves along each of the arrays is less than an octave. Only the first and minus first diffraction orders pass through the holes in the diaphragm 5. The transmitted light beams form in the sagittal 1 st section an image of the diffraction element 2 in the plane of the test material 7, and the interference of the first and minus first order beams results in a sinusoidal illumination distribution with a slowly varying spatial frequency. The contrast of the sinusoidal illumination distribution is determined by the ratio of the intensity of the interfering beams; therefore, by introducing a attenuating filter 8 in one of the diffraction orders, it is possible to contrast the illumination distribution in the plane 7.

В меридиональном сечении (фиг. 2) цилиндрический компонент б также формирует изображение дифракционного элемента 2 в нлоскости 7. Поэтому в плоскости испытуемого материала наблюдаютс  резко очерченные изображени  областей дифракционных решеток дифракционного элемента 2, заполненные синусоидальным распределением освещенности переменной пространственной частоты.In the meridional section (Fig. 2), the cylindrical component b also forms an image of diffractive element 2 in plane 7. Therefore, sharply outlined images of diffraction gratings of diffractive element 2, filled with a sinusoidal illumination of variable spatial frequency, are observed in the plane of the test material.

Коэффициенты линейного увеличени  оптической схемы резольвометра в меридиональном и саггитальном сечени х в общем случае неодинаковы, что не преп тствует его нормальному функционированию.The linear magnification coefficients of the optical scheme of the resolvometer in the meridional and sagittal sections are generally not the same, which does not prevent its normal functioning.

Таким образом, при предлагаемой компоновке элементов оптической схемы резольвометра и использовании фазовых дифракционных решеток специального вида все пол  резольвограммы, соответствующие различным пространственным частотам, экспонируютс  одновременно, что приводит к повышению точности и производительности резольвометрических испытаний.Thus, with the proposed arrangement of the optical elements of a resolvometer and using phase diffraction gratings of a special type, all the resolvogram fields corresponding to different spatial frequencies are exposed simultaneously, which leads to an increase in the accuracy and performance of resolvometric tests.

Изобретение обеспечивает также упрощение конструкции резольвометра за счет исключени  перемещаемых (в процессе экспонировани  одной резольвограммы) элементов: зеркал, мультипликаторов и т.д.The invention also provides a simplification of the resolvometer design by eliminating the elements (mirrors, multipliers, etc.) that are moved (in the process of exposing one resolvogram).

Синусоидальное распределение освещенности в выходной плоскости упрощает процедуру определени  пространственно-частотных характеристик светочувствительных материалов, котора  предполагает наличие сложных пересчетов измеренных значений при несинусоидальных распределени х наложенной экспозиции.The sinusoidal illumination distribution in the output plane simplifies the procedure for determining the spatial-frequency characteristics of photosensitive materials, which implies the presence of complex recalculations of measured values with non-sinusoidal distributions of the superimposed exposure.

Оптическа  схема резольвометра при замене элемента 2 на многоканальный пространственный модул тор света может быть также использована дл  пространственной фильтрации многоканальных сигналов.The optical scheme of the resolver when replacing element 2 with a multichannel spatial light modulator can also be used for spatial filtering of multichannel signals.

00

5five

00

5five

00

5five

Claims (2)

1.Лазерный резольвометр, включаюпип расположенные последовательно на оптической оси источник коллимированного когерентного излучени , дифракционный элемент , положительный сферический компонент , размещенную в задней фока.:1ьно11 плоскости положительного сферическою компонента диафрагму в виде набора отверстий , пропускающих первый и минус перньп пор дки дифракции на дифракционном :)ле менте, отличающийс  тем, что, с целью по вышени  точности и производительности резольвометрических испытаний, дополнительно введены два положительных цилиндрических компонента, первый из которых размещен перед положительным сферическим компонентом, при этом его передн   фокальна  плоскость совмещена с плоскостью дифракционного элемента, второй цилиндрический компонент расположен за диафрагмой, причем плоскость диафрагмьи и плоскость дл  размеп1ени  испытуемо1 о материала  вл ютс  сопр женными, а дифракционный э.1емент выполнен в виде набора диффракционных решеток с измен ющейс  не бапее, чем на октаву, пространственной частотой, размещенных одна под другой в плоскости, перпендикул рной оптической оси, причем образующие цилиндрических компонентов взаимно параллельны и перпендикул рны штрихам .1. Laser resolver, including a source of collimated coherent radiation arranged in series on the optical axis, a diffractive element, a positive spherical component placed in the back of a focal point: 11111 plane of the positive spherical component aperture in the form of a set of holes that allow the first and minus perforations of the diffraction to the diffraction :) a lecture, characterized in that, in order to improve the accuracy and performance of resolvometric tests, two positive are introduced x cylindrical components, the first of which is located in front of the positive spherical component, while its front focal plane is aligned with the plane of the diffractive element, the second cylindrical component is located behind the diaphragm, and the diaphragm plane and the plane for mixing the material under test are conjugated, and the diffraction plane The element is made in the form of a set of diffraction gratings with varying not more than an octave spatial frequency, placed one below the other in the plane, perpe Dikulja molecular optical axis, wherein the cylindrical components forming mutually parallel and perpendicular strokes. 2.Резольвометр по п. 1, отличающийс  тем, что, с целью повышени  светового КПД, дифракционный элемент выполнен в виде набора фазовь,1х дифракционных решеток с симметричным профилем.2. Resolvometer according to claim 1, characterized in that, in order to increase the light efficiency, the diffraction element is designed as a set of phases, 1x diffraction gratings with a symmetric profile. .2.2 ue.Jue.J
SU864099432A 1986-06-09 1986-06-09 Laser resolution meter SU1392538A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864099432A SU1392538A1 (en) 1986-06-09 1986-06-09 Laser resolution meter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864099432A SU1392538A1 (en) 1986-06-09 1986-06-09 Laser resolution meter

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1392538A1 true SU1392538A1 (en) 1988-04-30

Family

ID=21249699

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU864099432A SU1392538A1 (en) 1986-06-09 1986-06-09 Laser resolution meter

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1392538A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Х 16 И. Ю. Агурь нов, и Ю. А. Черкасов 771.534.5(088.8) Несеребр ные фотографические процессы/Под ред. А. О. Карту/капского. Л.: Хими , 1984, с. 32 -322. Лапшина Н. .А. и др. Голографи раст- рированных изображений. - Тез. докл. II Всесоюз. иауч.-те.х. коиф. «Применение лазеров в нриборостроении, ман1иностроении и медицинской те.хнике. М.: , 1979, с. 133. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW550377B (en) Apparatus for wave-front detection
US3829219A (en) Shearing interferometer
JPH0135282B2 (en)
US3045531A (en) Optical grating
US5410397A (en) Method and apparatus for holographic wavefront diagnostics
US4542989A (en) Apparatus for position encoding
JP4834211B2 (en) Method and apparatus for analyzing the wavefront of a light beam for an optical interferometer
SU1392538A1 (en) Laser resolution meter
JPH0351167B2 (en)
US3246557A (en) Dispersive spectrometric modulation simulating interferometry
SU903956A1 (en) Star simulator
RU2527316C1 (en) Interference microscope
US3122601A (en) Interferometer
DE2715052C2 (en) Length measuring device
SU1363938A1 (en) Method of determining parameters of field in beam of electromagnetic radiation
SU570003A1 (en) Modulator
SU1296959A1 (en) Acoustooptical spectrum analyzer
DE4028051A1 (en) Grating interferometer with diffraction screens in series - makes multiple use of resulting diffraction orders as multiple or non-polarised heterodyne interferometer or interference spectrometer
SU366760A1 (en) Refractometer
SU864942A1 (en) Dispersion Interferometer
Golden et al. Study of an instrument for sensing errors in a telescope wavefront
SU1673906A1 (en) Method of object quality control and device for its implementation
SU809025A1 (en) Modulated beam phase control assembly for multi-channel optical spectrum analyzer
SU1644067A1 (en) Method for calibration testing photometer scales
SU1065821A1 (en) Holographic device for matrix multiplication