SU1379656A1 - Pressure pickup - Google Patents
Pressure pickup Download PDFInfo
- Publication number
- SU1379656A1 SU1379656A1 SU843845231A SU3845231A SU1379656A1 SU 1379656 A1 SU1379656 A1 SU 1379656A1 SU 843845231 A SU843845231 A SU 843845231A SU 3845231 A SU3845231 A SU 3845231A SU 1379656 A1 SU1379656 A1 SU 1379656A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- membrane
- resonators
- transducers
- sensor
- acoustic waves
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Изобретение относитсн к контрольно-измерительной технике и позвол ет повысить чувствительность датчика . На основании 5 в корпусе размещена пр моугольна мембрана 1, на поверхности которой в центре нее размещен активный 2, а на утолщенном краю - компенсационный 3 резонаторы. Эти резонаторы выполнены в виде решетки встречно-штыревых преобразователей поверхностных акустических волн с полосовыми отражател ми. Воздействующее на датчик давление характеризуетс разностью частот резонаторов 2 и 3. Изменение т-ры окружающей среды приводит к смещению начальных частот резонаторов 2 и 3 на и.иинакоБую в. личину и не вли ет на выходную характеристику датчика. Толщина мембраны 1 выбираетс не менее шести периодов решетки встречно- штыревых преобразователей, а ее ширина превышает апертуру зтих преобразователей не менее чем в два раза. 1 3.п. ф-лы, 3 ил. S (ЛThe invention relates to measuring technique and allows to increase the sensitivity of the sensor. On the base 5 in the housing there is a rectangular membrane 1, on the surface of which an active 2 is placed in the center of it, and a compensatory 3 resonators on the thickened edge. These resonators are made in the form of an array of interdigital transducers of surface acoustic waves with strip reflectors. The pressure affecting the sensor is characterized by the difference in the frequencies of the resonators 2 and 3. A change in the ambient temperature leads to a shift of the initial frequencies of the resonators 2 and 3 by the same time. The mask does not affect the output characteristic of the sensor. The thickness of the membrane 1 is selected for at least six lattice periods of counter-whip transducers, and its width exceeds the aperture of these transducers by at least two times. 1 3.p. f-ly, 3 ill. S (l
Description
ООOO
vjvj
соwith
О5O5
елate
otot
ОЛ/гЕOL / GE
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и может быть использовано дл измерени давлени газообразных или жидких сред.The invention relates to instrumentation engineering and can be used to measure the pressure of gaseous or liquid media.
Цель изобретени - повышение чувствительности,The purpose of the invention is to increase the sensitivity,
На фиг. 1 представлен датчик, продольный разрезJ на фиг. 2 - то же поперечный разрез; на фиг. 3 - топологическа структура поверхностно- акустических резонаторов, вид сверхуFIG. 1 shows a sensor, a longitudinal section J in FIG. 2 - the same cross section; in fig. 3 - topological structure of surface-acoustic resonators, top view
Датчик давлени содержит пр моугольную мембрану 1 с утолщенными кра ми, выполненную из кварца, например Y-среза. На поверхности мембраны в ее центре размещен активный резонатор 2, который ориентирован вдоль оси, параллельной большей стороне мембраны. На утолп1енном крае мембраны 1 размещен компенсационный резонатор 3. Резонаторы 2 и 3 выполнены в виде решетки встречно-штыревых преобразователей поверхностных акустических волн с полосовыми отражател ми . При помощи эластичного компаунда 4 мембрана закреплена на металлическом основании 5, в центре которого выполнено отверстие с патрубком 6 лп п.- ллчи давлени . Дл защи- тт- от вoздeйcтni нешней среды используетс кожух 7. С помощью гер- мо впдов 8 и 9 ре.згнлторы 2 и 3 подключаете U э.пе: трлнную схему.The pressure sensor comprises a rectangular membrane 1 with thickened edges made of quartz, for example a Y-cut. On the membrane surface in its center is placed an active resonator 2, which is oriented along the axis parallel to the larger side of the membrane. A compensating resonator 3 is placed on the flat edge of the membrane 1. Resonators 2 and 3 are made in the form of an array of interdigital transducers of surface acoustic waves with strip reflectors. With the help of an elastic compound 4, the membrane is fixed on a metal base 5, in the center of which a hole is made with a branch pipe of 6 lp p. –lchchi pressure. To protect the environment from the outside environment, the housing 7 is used. Using germs 8 and 9 of the controllers 2 and 3, you connect Ue.pe: trillion scheme.
Датчик давлени работает следующим образоь,The pressure sensor works as follows,
Измер еьп-е давление, воздейству на мембрану i, вызывает продольные и поперечные деформации поверхностного сло , Ч ;тота ак ывного резона- тора 2 умень цаетс пропорционально зеличи11е измер емого давлени , а частота резонатора 3 под воздействием давлени не мен етс , так как он размещен утолщенном крае мембра- Hbi 1. Изменение температуры окружающей среды рь зывает смещение начальных частот резонаторов 2 и 3 на одинаковую u личину. При этом разность частот резонаторов 2 и 3 зависит только от величины давлени . Толщина выбираетс большей шести периодов решетки встречно-штыревых пре бразователей вследствие того, что поверу-ностные -акустические волны локализуютс в слое глубиной не бо- lee трех длин волн (три периода ре- петки встр-;чно-штыревьг преобразователей ) , а мембрана ппи изгибе имеетThe pressure measured on the membrane i causes longitudinal and transverse deformations of the surface layer, H; the volume of the resonator 2 decreases in proportion to the measured pressure measured, and the frequency of the resonator 3 under the influence of pressure does not change, since the thickened edge of the Hbi 1 membrane is placed. The change in the ambient temperature hinders the displacement of the initial frequencies of the resonators 2 and 3 by the same u shape. In this case, the frequency difference between the resonators 2 and 3 depends only on the magnitude of the pressure. The thickness is chosen to be greater than the six lattice periods of the interdigital probes due to the fact that the faithful acoustical waves are localized in a layer of not more than three wavelengths in depth (three intermittent periods of transient; pin-pin converters) and the membrane bend has
00
нейтральную поверхность, котора не испытывает деформаций изгиба, т.е. толщина мембраны должна составл ть не менее шести периодов решетки встречно-штыревых преобразователей. Апертура встречно-штыревых преобразователей активного резонатора 2 не превышает половины ширины мембраны,a neutral surface that does not experience bending deformations, i.e. The membrane thickness must be at least six lattice spacing of the interdigital transducers. The aperture of the interdigital transducers of the active resonator 2 does not exceed half the width of the membrane,
Q поскольку при жестком защемлении мембраны центральна ее область испытывает деформации раст жени . Размеры области положительных деформаций пр моугольной мембраны 1 состав5 л ют не менее половины ее ширины,Q because, with a rigid clamping of the membrane, its central region experiences tensile deformations. The dimensions of the region of positive deformations of the rectangular membrane 1 are not less than half of its width,
следовательно, ширина мембраны должна превьшшть апертуру встречно-штыревых преобразователей не менее чем в два раза. Выбор температурногоtherefore, the width of the membrane should not less than twice the aperture of the interdigital transducers. The choice of temperature
0 коэффициент-, oi линейного расширени основани из услови 0 coefficient-, oi linear expansion of the base of the condition
Dt, « «.„ oi,,Dt, "". "Oi ,,
г где d, и 2 - температурный коэффициент линейного расширени мембраны в продольном и поперечном направлени х,where d and 2 are the temperature coefficient of linear expansion of the membrane in the longitudinal and transverse directions,
позвол ет у(-1еньшить температурную составл ющую погрешности датчика.allows y (-1) the temperature component of the sensor error.
По сравнению с И ИРСТНЫМИ датчиками гредпагаемый длтчик характеризуетс повышеннч- й (в 3-10 раз) чувствительностью . 5Compared to the IRG sensors, the dp sensor is characterized by an increased (by a factor of 3-10) sensitivity. five
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843845231A SU1379656A1 (en) | 1984-12-12 | 1984-12-12 | Pressure pickup |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843845231A SU1379656A1 (en) | 1984-12-12 | 1984-12-12 | Pressure pickup |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1379656A1 true SU1379656A1 (en) | 1988-03-07 |
Family
ID=21159114
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU843845231A SU1379656A1 (en) | 1984-12-12 | 1984-12-12 | Pressure pickup |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1379656A1 (en) |
-
1984
- 1984-12-12 SU SU843845231A patent/SU1379656A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 1201696, кл. G 01 L 11/00, 1984. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SU629496A1 (en) | Acousto-electric ultrasound transducer | |
CN112945430B (en) | Acoustic surface wave high-temperature pressure sensor | |
SU1379656A1 (en) | Pressure pickup | |
JP5527410B2 (en) | Temperature sensor | |
AU600232B2 (en) | Stress and temperature compensated surface acoustic wave devices | |
JP3095637B2 (en) | Ultrasonic humidity sensor | |
KR920019071A (en) | Surface acoustic wave device for bandpass filter with predetermined passband characteristics and low insertion loss over a wide band | |
CN2748889Y (en) | Quartz resonance pressure sensor | |
JP2008180668A (en) | Lamb wave type high-frequency sensor device | |
JPH0582536B2 (en) | ||
SU1201696A1 (en) | Pressure transducer | |
SU1131024A1 (en) | Pressure transducer based on surface acoustic waves | |
SU1578661A1 (en) | Electrokinetic angular accelerometer | |
JPS61259175A (en) | Piezoelectric type dynamic quantity sensor | |
SU947768A1 (en) | Piezoelectric converter (its versions) | |
SU1384983A1 (en) | Pressure transducer | |
JPH07198428A (en) | Surface acoustic wave sensor | |
Sinha et al. | Temperature derivative of stress coefficients of SAW resonator frequency from pressure sensor measurements | |
SU1093891A1 (en) | Turn angle pickup using surface acoustic waves | |
SU939968A1 (en) | Temperature pickup | |
SU922556A1 (en) | Pressure difference pickup | |
SU1646994A1 (en) | Device for measuring surface acoustic wave speed in st- cut quartz piezo crystal plates | |
RU2047173C1 (en) | Fast-action technological humidity sensor of surface acoustic waves | |
SU1525508A2 (en) | Pressure transducer | |
Rokhlin et al. | Surface acoustic wave pressure transducers and accelerometers |