SU1379632A1 - Чувствительный элемент теплового преобразовател расхода газа - Google Patents

Чувствительный элемент теплового преобразовател расхода газа Download PDF

Info

Publication number
SU1379632A1
SU1379632A1 SU802920269A SU2920269A SU1379632A1 SU 1379632 A1 SU1379632 A1 SU 1379632A1 SU 802920269 A SU802920269 A SU 802920269A SU 2920269 A SU2920269 A SU 2920269A SU 1379632 A1 SU1379632 A1 SU 1379632A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
gas flow
teeth
thermal
ring
thermistors
Prior art date
Application number
SU802920269A
Other languages
English (en)
Inventor
Георгий Яковлевич Лозинский
Михаил Матвеевич Фалько
Валерий Борисович Малахов
Анатолий Михайлович Солодилов
Original Assignee
Предприятие П/Я В-2609
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я В-2609 filed Critical Предприятие П/Я В-2609
Priority to SU802920269A priority Critical patent/SU1379632A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1379632A1 publication Critical patent/SU1379632A1/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

Изобретение может быть использовано дл  измерени  расхода негорючих газов в системах автоматического контрол  и регулировани . Цель изобретени  состоит в повьшении быстродействи  преобразовател . Чувствительный элемент содержит диэлектрическое кольцо 1 с зубцами 2 на его внешней цилиндрической поверхности. Нити проволочных термосопротивлений 3 и 4 огибают зубцы 2 и образуют в торцевых плоскост х кольца 1, перпендикул рных его оси, сетки. На участках огибани  зубцов 2 нити проволочных термосопротивлений 3 и 4 наложены друг на друга. 1 з.п. ф-лы, 3 ил. Q (/)

Description

/
I
LH
7
-
фцгЗ
Изобретение относитс  к измерительной технике, а именно к чунстви- тельным элементам тепловых преобразователей расхода газа, которые могут бь1ть использованы дл  измерени  расхода негорючих газов в системах автоматического контрол  и регулировани . Цель изобретени  - повышение быст- родейст ВИЯ преобразовател .
На фиг. 1 изображен чувствительный элемент теплового преобразовател  расхода газа; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - расположение двух нитей проволочных термосопротивлений на зубцах.
Чувствительны элемент теплового преобразовател  расхода газа содержит диэлектрическое кольцо 1, на внешней цилиндрической поверхности которого выполнены зубцы 2 и закреплены два проволочных термосопротивлени  3 и 4. Нити проволочных термосопротивлений 3 и А огибают зубцы 2 и образуют в торцевых плоскост х кольца 1, перпенди- кул 1)ных его о си, сетки, причем в одной из плоскостей - из нити терме- сопротивлени  3, а в другой - из нити термосопротивлени  4. На участках огибани  зубцов 2 нити двух проволочных термосопротивлений 3 и 4 наложены друг на друга. Каждый участок сетки рдного из термосопротивлений в зоне его закреплени  на диэлектрическом кольце имеет тепловой контакт с соответствующим участком сетки другого термосопротивлени .
Чувствительный элемент устанавливают перпендикул рно движению газового потока.
При отсутствии газово о потока, пронизывающего диэлектрическое кольцо 1, температура сетчатых термосопротивлений 3 и 4 одинакова. При этом дестабилизирующее вли ние температурной неоднородности среды, в которой находитс  чувствительный элемент, в значительной степени ослабл етс  благодар  взаимному тепловому контакту проволочных сетчаты ; термосопротивлений 3 и 4 в зоне их закреплени  на диэлектрическом кольце 1. Сигнал разбаланса термосопротивлений отсутствует .
Подача газового потока, пронизывающего диэлектрическое кольцо 1,
приводит к различному изменению сопротивлени  сетчатых проволочных термосопротивлений 3 и 4 за счет возникающих различий температур сеток этих проволочных термосопротивлений в просвете кольца 1. При этом теплова  инерционность самого кольца 1 оказываетс  практически исключенной, так как o}ia воздействует на оба проволочные сетчатые термосопротивлени , наход щиес  в тепловом контакте между собой в зонах их креплени  на кольце, практически одинаково, Поэтому быстродействие чувствительного элемента определ етс  инерционностью самих проволочных термосопротивлений 3 и 4. По сигналу разбаланса термосопротивлений суд т о величине газового потока через диэлектрическое кольцо чувствительного элемента.
Наличие теплового контакта между участками сетки термосопротивлений в зоне их закреплени  по периметру диэлектрического кольца обеспечивает снижение посто нной времени преобразовател  за счет исключени  из условий теплообмена передачи тепла через корпус кольца.

Claims (2)

1.Чувствительный элемент теплового преобразовател  расхода газа, выполненный в виде двух проволочных сетчатых термосопротивлений, закрепленных на диэлектрическом кольце в плоскост х, перпендикул рных оси кольца, отличающийс  тем, что, с целью повышени  быстродействи  преобразовател , каждый участок сетки одного из термосопротивлений в зоне его закреплени  на диэлектрическом кольце имеет тепловой контакт
с соответствующим участком сетки другого термосопротивлени .
2.Чувствительный элемент по п.1, отличающийс  тем, что
на внешней цилиндрической поверхности диэлектрического кольца выполнены зубцы дл  закреплени  участков сетки , причем каждый из зубцов сгибаетс  проволокой обоих термосопротивлений .
/
X
SU802920269A 1980-05-05 1980-05-05 Чувствительный элемент теплового преобразовател расхода газа SU1379632A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802920269A SU1379632A1 (ru) 1980-05-05 1980-05-05 Чувствительный элемент теплового преобразовател расхода газа

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802920269A SU1379632A1 (ru) 1980-05-05 1980-05-05 Чувствительный элемент теплового преобразовател расхода газа

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1379632A1 true SU1379632A1 (ru) 1988-03-07

Family

ID=20893979

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU802920269A SU1379632A1 (ru) 1980-05-05 1980-05-05 Чувствительный элемент теплового преобразовател расхода газа

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1379632A1 (ru)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5058426A (en) * 1988-05-16 1991-10-22 Nissan Motor Company, Limited Flow rate sensor
US7228724B2 (en) 2002-10-17 2007-06-12 Advanced Technology Materials, Inc. Apparatus and process for sensing target gas species in semiconductor processing systems
US7296458B2 (en) 2002-10-17 2007-11-20 Advanced Technology Materials, Inc Nickel-coated free-standing silicon carbide structure for sensing fluoro or halogen species in semiconductor processing systems, and processes of making and using same
US7475588B2 (en) * 2002-10-17 2009-01-13 Advanced Technology Materials, Inc. Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Короткое А.П. и др. Тепловые расходомеры. - Л.: Машиностроение, 1969, с. 71. Патент US 3975951, кл. 73-116, опублик. 1976. *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5058426A (en) * 1988-05-16 1991-10-22 Nissan Motor Company, Limited Flow rate sensor
US7228724B2 (en) 2002-10-17 2007-06-12 Advanced Technology Materials, Inc. Apparatus and process for sensing target gas species in semiconductor processing systems
US7296458B2 (en) 2002-10-17 2007-11-20 Advanced Technology Materials, Inc Nickel-coated free-standing silicon carbide structure for sensing fluoro or halogen species in semiconductor processing systems, and processes of making and using same
US7475588B2 (en) * 2002-10-17 2009-01-13 Advanced Technology Materials, Inc. Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2408121B1 (fr) Sonde de mesure comportant au moins une resistance fonction de la temperature pour mesurer la masse d'un fluide en ecoulement
FR2347603A1 (fr) Element terminal de tuyau souple resistant aux temperatures elevees
RU93004648A (ru) Электрический резистивно-емкостной датчик для измерения физических величин, в частности температуры, и способ его изготовления
US4299124A (en) Device for measuring the mass of a flowing medium
SU1379632A1 (ru) Чувствительный элемент теплового преобразовател расхода газа
US4338814A (en) Device for measuring the mass of a flowing medium
US3834237A (en) Thermocouple for surface temperature measurements
KR930701686A (ko) 촉매화할 수 있는 유체가 흐르는 촉매 변환기의 촉매 활성도를 모니터링하는 방법
JPS61260133A (ja) 温度センサ及び秤量物乾燥用付属設備
US3470744A (en) Temperature detection sensor
EP0212170A3 (de) Thermoelement zur Messung von Temperaturen in Vakuumöfen
SU1346991A1 (ru) Устройство дл определени коэффициентов теплоотдачи и теплопроводности в регенераторах
SU901845A2 (ru) Устройство дл индикации температурных интервалов
SU1420407A1 (ru) Теплоэлектрический преобразователь давлени
EP0402977B1 (en) Device for determining the speed and direction of a flowing medium
SU1545084A1 (ru) Тепловой микрорасходомер
JPS52129592A (en) Temperature sensor contacting type gas detecting element and preparation method of the element
SU1534335A1 (ru) Термопреобразователь сопротивлени
US3041387A (en) Thermocouple wire connection
SU737793A1 (ru) Устройство дл ввода термометра сопротивлени в криогенный трубопровод
SU1696874A1 (ru) Тепловой расходомер
SU504925A1 (ru) Устройство дл сигнализации о наличии потока водо-воздушной смеси
SU1114955A1 (ru) Термоанемометр (его варианты)
SU861906A1 (ru) Уплотнительный узел дл подвески конвейера в сушильной камере
SU610023A1 (ru) Приемное устройство термоанемометра