SU1379618A1 - Device for checking surface roughness - Google Patents
Device for checking surface roughness Download PDFInfo
- Publication number
- SU1379618A1 SU1379618A1 SU864147736A SU4147736A SU1379618A1 SU 1379618 A1 SU1379618 A1 SU 1379618A1 SU 864147736 A SU864147736 A SU 864147736A SU 4147736 A SU4147736 A SU 4147736A SU 1379618 A1 SU1379618 A1 SU 1379618A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- collimating lens
- axis
- light source
- photodetector
- optical axis
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано , в частности, дл контрол качества поверхности. Цель изобретени - упрощение конструкции и повышение точности контрол . Устройство содержит источник 1 света, коллими- линзу 2, первый и второй коа- ксиально расположеннме цилиндрические отражатели 3 и 4, ось которых совпадает с оптической осью коллими- рующей лиизы 2, а в последнем из них установлен источник 1 света. toThe invention relates to a measurement technique and can be used, in particular, to control the quality of a surface. The purpose of the invention is to simplify the design and improve the accuracy of control. The device contains a source of light 1, a colli- ming lens 2, the first and second coaxially arranged cylindrical reflectors 3 and 4, the axis of which coincides with the optical axis of the collimating liiza 2, and in the last of them the source 1 of light is installed. to
Description
ЧЧЧЧЧУCHCHCHCHU
«"
СОWITH
СО WITH
О5 00O5 00
137137
полупрозрачную пластину 5, расположенную между источником 1 света и коллимирующей линзой 2 под углом к оси последней и закрепленную на втором цилиндрическом отражателе 4, фотоприемник 6 сравнени , расположенный на оси, точка пересечени которой с оптической осью коллимирующей линзы 2 лежит на поверхности полупрозрачной пластины 5 со стороны источника 1 света, фотоприемник 7 дл регистрации зеркально отраженного излучени , расположенный на оси, точка пересечени которой с оптической осью коллимирующей линзы 2 лежи т наa semitransparent plate 5 located between the source of light 1 and the collimating lens 2 at an angle to the axis of the latter and fixed on the second cylindrical reflector 4, the reference photodetector 6 located on the axis, the point of intersection of which with the optical axis of the collimating lens 2 lies on the surface of the translucent plate 5 the source of the light source 1, a photodetector 7 for detecting specularly reflected radiation, located on an axis, the point of intersection of which with the optical axis of the collimating lens 2 lies on
поверхности полупрозрачной пластины 5 со стороны коллимирующей линзы 2, фотоприемник 8 дл регистрации диф- фузно отраженного излучени , расположенный на оптической оси коллимирующей линзы 2 за источником 1 света рассеиватель 9 дл обеспечени равномерного распределени на фотоприемнике 8, блок (на чертеже не показан ) обработки сигналов с фотоприемников 6, 7 и 8. Фотоприемник 6 сравнени и фотоприемник 7 дл регистрации отраженного излучени установлены во втором цилиндрическом отражателе Д. 1 ил.the surface of the semitransparent plate 5 from the side of the collimating lens 2, the photodetector 8 for detecting diffusely reflected radiation, located on the optical axis of the collimating lens 2 behind the light source 1, the diffuser 9 to ensure uniform distribution on the photoreceiver 8, the signal processing unit (not shown) from photo detectors 6, 7, and 8. Photograph comparison detector 6 and photo detector 7 for detecting the reflected radiation are installed in the second cylindrical reflector D. 1 Il.
1one
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано , в частности, дл контрол качества поверхности.The invention relates to a measurement technique and can be used, in particular, to control the quality of a surface.
Цель изобретени - упрощение кон- струкции и повышение точности контрол за счет установки фотоприемника сравнени и фотоприемника дл регистрации зеркально отраженного излучени во втором цилиндрическом отражателе (поскольку не предъ вл ютс жесткие требовани к точности расположени и изготовлению элементов устройства, настройка заключаетс лишь в установке источника света в фокальную область коллимирующей линзы), а также за счет исключени вли ни на результат контрол отверстий цилиндрических отражателей.The purpose of the invention is to simplify the design and increase the accuracy of control by installing a comparison photoreceiver and a photodetector for detecting specularly reflected radiation in the second cylindrical reflector (since there are no strict requirements on the accuracy of positioning and fabrication of elements of the device, the setting is only to install a light source into the focal region of the collimating lens), as well as by eliminating the effect on the control of the holes of the cylindrical reflectors.
На чертеже изображена принципи- альна схема устройства дл контрол шероховатости поверхности.The drawing shows a schematic diagram of a device for monitoring surface roughness.
Устройство содержит источник 1 света, коллимирующую линзу 2, первый и второй коаксиально расположенные цилиндрические отражатели 3 и 4, ось которых совпадает в оптической осью коллимирующей линзы 2, а в последнем из них установлен источник 1 света, полупрозрачную пластину 5, располо- женную между источником 1 света и коллимирующей линзой 2 под углом к оси последней и закрепленную на втором цилиндрическом отражателе 4, фотоприемник 6 сравнени , расположенThe device contains a source of light 1, a collimating lens 2, first and second coaxially arranged cylindrical reflectors 3 and 4, the axis of which coincides in the optical axis of the collimating lens 2, and in the last of them the source 1 of light is installed, a translucent plate 5 located between 1 of the light and the collimating lens 2 at an angle to the axis of the latter and mounted on the second cylindrical reflector 4, the comparison photodetector 6, is located
5five
з s
0 0
з5h5
5five
ный на оси, точка пересечени которой с оптической осью коллимирующей линзы 2 лежит на поверхности полупрозрачной пластины 5 со стороны источника 1 света, фотоприемник 7 дл регистрации зеркально отраженного излучени , расположенный на оси, точка пересечени которой с оптической осью коллимирующей линзы 2 лежит на поверхности полупрозрачной пластиныon the axis, the point of intersection of which with the optical axis of the collimating lens 2 lies on the surface of the semitransparent plate 5 from the side of the source 1 of the light plates
5со стороны коллимирующей линзы 2, фотоприемник 8 дл регистрации диф- фузно отраженного излучени , расположенный на оптической оси коллимирующей линзы 2 за источником 1 света, рассеиватель 9 дл обеспечени равномерного распределени потока на фотоприемнике 8 и блок (не показан) обработки сигналов с фотоприемников 6-8, причем фотоприемник 6 сравнени и фотоприемник 7 дл регистрации зеркально отраженного излучени установлены во втором цилиндрическом отражателе 4.5 with the side of the collimating lens 2, the photodetector 8 for detecting diffusely reflected radiation, located on the optical axis of the collimating lens 2 behind the light source 1, the diffuser 9 for ensuring uniform flow distribution on the photoreceiver 8 and the unit (not shown) of signal processing from the photoreceivers 6- 8, with the comparison photoreceiver 6 and the photoreceiver 7 for detecting the specularly reflected radiation installed in the second cylindrical reflector 4.
Устройство работает следующим образом.The device works as follows.
Излучение, посылаемое источником 1 света, попадает на полупрозрачную пластину 5 и раздваиваетс . Отраженный пучок попадает на фотоприемникThe radiation sent by the light source 1 hits the semitransparent plate 5 and is split in two. The reflected beam hits the photodetector
6сравнени . Прошедший пучок коллимирующей линзой 2 проецируетс на контролируемую поверхность 10. Источник 1 света расположен в фокальной области коллимирующей линзы 2, поэтому освещение контролируемой поверхности 10 происходит параллельным пучком по нормали к ней. Отраженное от поверхности 10 излучение делитс на две составл ющие: зеркальную и диффузную. Зеркальна составл юща проходит коллимирующую линзу 2 и 1после отражени от полупрозрачной пластины 5 собираетс на фотоприемнике 7 дл регистрации зеркально отраженного излучени . Диффузна составл юща , многократно отразившись от поверхности первого и второго цилиндрических отражателей 3 и А, проходит рассеиватель 9 и попадает на фотоприемник 8 дл регистрации диффузно отраженного излучени . Блок обработки сигналов с фотоприемников 6-8 обрабатывает полученные с них сигналы и выдает результат на отсчет ное устройство (не показано).6 comparison. The passed beam by the collimating lens 2 is projected onto the controlled surface 10. The light source 1 is located in the focal area of the collimating lens 2, therefore the illumination of the controlled surface 10 occurs by a parallel beam normal to it. The radiation reflected from the surface 10 is divided into two components: specular and diffuse. The specular component passes the collimating lens 2 and 1 after reflection from the translucent plate 5 is collected on the photodetector 7 to register the specularly reflected radiation. The diffuse component, having repeatedly reflected from the surface of the first and second cylindrical reflectors 3 and A, passes the scatterer 9 and hits the photodetector 8 for detecting diffusely reflected radiation. The signal processing unit from photodetectors 6-8 processes the signals received from them and outputs the result to a reading device (not shown).
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864147736A SU1379618A1 (en) | 1986-11-17 | 1986-11-17 | Device for checking surface roughness |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864147736A SU1379618A1 (en) | 1986-11-17 | 1986-11-17 | Device for checking surface roughness |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1379618A1 true SU1379618A1 (en) | 1988-03-07 |
Family
ID=21267718
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU864147736A SU1379618A1 (en) | 1986-11-17 | 1986-11-17 | Device for checking surface roughness |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1379618A1 (en) |
-
1986
- 1986-11-17 SU SU864147736A patent/SU1379618A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 868348, кл. G 01 В 11/30, 1980. Авторское свидетельство СССР № 1312380, кл. G 01 В 11/30, 1986. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4079252A (en) | Photoelectric grating displacement measuring apparatus | |
CN108507909B (en) | Dull and stereotyped granularity detection device | |
US4577101A (en) | Shaft encoder with an optical system comprising two straight-line-generatrix surfaces | |
CN1155797C (en) | Ellipsometer measuring instrument | |
SU1379618A1 (en) | Device for checking surface roughness | |
SU1446465A2 (en) | Device for monitoring surface roughness | |
SU1165883A1 (en) | Device for checking surface roughness | |
SU868348A1 (en) | Device for checking surface roughness | |
SU1506271A1 (en) | Device for checking roughness of surface | |
SU1312380A1 (en) | Device for checking surface roughness | |
SU1290233A2 (en) | Device for checking optical catъs eye | |
SU1758445A1 (en) | Photometer | |
SU1249324A1 (en) | Device for checking roughness of surface | |
SU1084600A1 (en) | Device for measuring article profile | |
RU1816964C (en) | Device for measuring the surface roughness of products | |
SU1564490A1 (en) | Pickup of surface position | |
SU1052854A1 (en) | Method and apparatus for inspecting optical cat's eye | |
SU1721511A1 (en) | Device for inspection of textile and knitted fabrics | |
SU1504497A1 (en) | Apparatus for measuring linear dimensins and shape of elements on planar objects with diffraction test structures | |
SU1416865A1 (en) | Device for monitoring small angular displacements | |
SU1601564A1 (en) | Device for measuring reflection factor of concave spherical surfaces | |
SU1518669A1 (en) | Device for measuring angles of prism | |
SU1165880A1 (en) | Device for measuring displacements | |
JPH0569165B2 (en) | ||
SU803695A1 (en) | Photoelectric device for determining position of laser beam axis |