SU1374067A1 - Способ изготовлени мембранного узла датчика давлени - Google Patents

Способ изготовлени мембранного узла датчика давлени Download PDF

Info

Publication number
SU1374067A1
SU1374067A1 SU864129598A SU4129598A SU1374067A1 SU 1374067 A1 SU1374067 A1 SU 1374067A1 SU 864129598 A SU864129598 A SU 864129598A SU 4129598 A SU4129598 A SU 4129598A SU 1374067 A1 SU1374067 A1 SU 1374067A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
membrane
walled
housing
pressure transducer
thin
Prior art date
Application number
SU864129598A
Other languages
English (en)
Inventor
Анатолий Георгиевич Пашкевич
Александр Васильевич Орехов
Original Assignee
Московский авиационный технологический институт им.К.Э.Циолковского
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Московский авиационный технологический институт им.К.Э.Циолковского filed Critical Московский авиационный технологический институт им.К.Э.Циолковского
Priority to SU864129598A priority Critical patent/SU1374067A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1374067A1 publication Critical patent/SU1374067A1/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0042—Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
    • G01L9/0044—Constructional details of non-semiconductive diaphragms

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и позвол ет обеспечить возможность использовани  тонкостенных мембран. При изготовлении узла тонкостенна  мембрана 2 укладываетс  на корпус 1, в котором установлен технологический вкладьш 4 с гофрированной поверхностью. В вакуумной печи сборный пакет нагреваетс  до т-ры диффузионной сварки и сжимаетс  в осевом направлении с созданием усили  сварки. Подаваемьш при этом через каналы 5 сжатый инертньй газ обеспечивает формовку гофр мембраны 2 по вкладышу 4 с уменьшением ее тол- . щины. 2 ил. (Л

Description

(.i
Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано в авиационной и других отрасл х промьшшенности.
Целью изобретени   вл етс  обеспечение возможности использовани  тонкостенных мембран.
На фиг. 1 и 2 показан мембранный узел в процессе изготовлени .
Мембранный узел содержит корпус 1 мембрану 2, собранную с корпусом 1 и крьшкой 3, технологический вкла- дьш 4.
Способ осуществл етс  следующим
образом.
На корпус 1 датчика укладываетс  тонкостенна  мембрана 2 и накрывает- с  крышкой 3 (фиг. 1). В корпус 1 устанавливаетс  технологический вкла- дьш 4 с гофрированной поверхностью. Собранный пакет помещаетс  в вакуумную печь, прогреваетс  до температуры диффузионной сварки с созданием необходимого вакуума, сжимаетс  в осевом направлении с созданием усили  сварки и выдерживаетс  в этом режиме. В процессе сварки через каналы 5 в крышке 3 подаетс  сжатый газ, обеспечивающий пневмотермическую формовку в режиме сверхпластичности мембраны 2 по технологическому вкладышу; 4- (фиг. 2) с уменьшением lee толщины.
По окончании сварки-формовки пакет охлаждаетс  и извлекаетс  из печи.
Использование в датчиках давлени  особо тонкостенной мембраны повьшхает их чувствительность и стабильность.

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    0
    Способ изготовлени  мембранного узла датчика давлени  путем соединени  мембраны с корпусом и крьппкой, отличающийс  тем, что, с целью обеспечени  возможности использовани  тонкостенных мембран, под мембрану со стороны корпуса устанавливают вкладьш с гофрированной - поверхностью, обращенной к мембране, и одновременно производ т диффузионную сварку мембраны с крьш1кой и корпусом и формовку гофр мембраны путем подачи на мембрану инертного газа под давлением.
SU864129598A 1986-06-17 1986-06-17 Способ изготовлени мембранного узла датчика давлени SU1374067A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864129598A SU1374067A1 (ru) 1986-06-17 1986-06-17 Способ изготовлени мембранного узла датчика давлени

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864129598A SU1374067A1 (ru) 1986-06-17 1986-06-17 Способ изготовлени мембранного узла датчика давлени

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1374067A1 true SU1374067A1 (ru) 1988-02-15

Family

ID=21261113

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU864129598A SU1374067A1 (ru) 1986-06-17 1986-06-17 Способ изготовлени мембранного узла датчика давлени

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1374067A1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0655615A1 (de) * 1993-11-25 1995-05-31 WIKA ALEXANDER WIEGAND GmbH & CO. Verfahren zur Herstellung einer Baueinheit eines Membran-Druckmittlers und Membran-Druckmittler
WO2011113643A1 (de) * 2010-03-15 2011-09-22 Endress+Hauser Gmbh+Co.Kg Hydraulischer druckmittler, druckmessaufnehmer mit einem solchen druckmittler und herstellungsverfahren dafür

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
За вка JP № 59-38533, кл. G 01 L 7/00, 1984. Авторское свидетельство СССР № 365604, кл. G 01 L 7/08, 1968. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0655615A1 (de) * 1993-11-25 1995-05-31 WIKA ALEXANDER WIEGAND GmbH & CO. Verfahren zur Herstellung einer Baueinheit eines Membran-Druckmittlers und Membran-Druckmittler
WO2011113643A1 (de) * 2010-03-15 2011-09-22 Endress+Hauser Gmbh+Co.Kg Hydraulischer druckmittler, druckmessaufnehmer mit einem solchen druckmittler und herstellungsverfahren dafür

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1038161B1 (en) Pressure transducer having a tensioned diaphragm
DE3868047D1 (de) Vorrichtung zum formen von kunststoff-zuschnitten zu autoklavenfesten behaeltern.
EP0149568A3 (en) Corrugated diaphragm for a pressure transducer
SU1374067A1 (ru) Способ изготовлени мембранного узла датчика давлени
EP0203789A1 (en) Method for molding of powders
CA2145696A1 (en) Pressure sensor assembly and method of producing the pressure sensor assembly
SE8504089L (sv) Generator for ren luft
JPS5621035A (en) Measuring method for load of high temperature and high pressure fatigue tester
JPH05177266A (ja) 超塑性合金板の成形装置及び成形方法
EP0903568A3 (en) Method for manufacturing a pressure measure device equipped with a resonating element
JPS56118812A (en) Manufacture of hollow container with thin material
CN116674054B (zh) 二氧化碳激光器用陶瓷板槽的加工方法及精加工工装
US2425450A (en) Fluid-pressure apparatus for fabricating laminated assemblies
SE7804990L (sv) Sett att framstella ett foremal av kiselnitrid
AU1734088A (en) Contacting device for gas and solid particles
MX9501621A (es) Procedimiento para la fabricacion de una instalacion de soplado de gases y/o solidos, para recipien tes metalurgicos, como tambien la instalacion de soplado fabricada segun el procedimiento.
JPS6410613A (en) Device of manufacturing electrode terminal for capacitor
JPS55100890A (en) Production of thick-walled clad steel plate
EP0322767A3 (en) Device for feeding of spark ignition engines with a fuel medium
SU1724472A1 (ru) Пориста форма дл изготовлени керамических изделий
JPS6458802A (en) Automatic gas filling up device for accumulator
JP2997040B2 (ja) ブレード又はベーンのリムを有するリング又はディスクの製作方法
JPS5522818A (en) Method of semiconductor pressure sensor chip
SU1050772A1 (ru) Устройство дл контрол и корректировки положени заготовки на рабочей позиции штампа
SE7901483L (sv) Anordning for att under tryck nitrera metallmaterial och ferrolegeringar