SU1356521A1 - Apparatus for jet etching of elongated cylindrical articles - Google Patents

Apparatus for jet etching of elongated cylindrical articles Download PDF

Info

Publication number
SU1356521A1
SU1356521A1 SU853968267A SU3968267A SU1356521A1 SU 1356521 A1 SU1356521 A1 SU 1356521A1 SU 853968267 A SU853968267 A SU 853968267A SU 3968267 A SU3968267 A SU 3968267A SU 1356521 A1 SU1356521 A1 SU 1356521A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
chambers
product
working chambers
etching
solution
Prior art date
Application number
SU853968267A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Н.А. Мацнев
В.М. Павловский
Б.В. Алферов
С.А. Трофимов
Е.В. Фролов
Original Assignee
Предприятие П/Я А-7340
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-7340 filed Critical Предприятие П/Я А-7340
Priority to SU853968267A priority Critical patent/SU1356521A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1356521A1 publication Critical patent/SU1356521A1/en

Links

Abstract

Изобретение относитс  к оборудованию дл  химической обработки металлов и может быть использовано дл  химической обработки наружной поверхности тепловыдел ющих элементов дл  атомных реакторов. Цель изобретени  - повышение качества обрабатываемой пове{1хности издели  и интенсификаци  вроцесса травлени . Тра- вильнь й раствор подают через входной патрубок 13 в раздаточный коллектор 11 бруса 5, Далее раствор через тан- генциальные проходтие отверсти  12 поступает в соседние нижние нагнета - тельные камеры 9. Происходит формирование спловных спиралеобразных потоков травильного раствора, перемещающихс  из нижних нагнетательных камер 9 в верхние рабочие камеры 8. Это обеспечивает плавную посто нную подачу свежего раствора непосредст- о ве но к поверхности издели  4, -нахо- д щегос  в зоне рабочих камер 8 /Л бруска 5, и мгновенное удаление как продуктов реакции,образующихс  в ре- С зультате процесса травлени ,с поверх-... нести издели  4, так и газообразных продуктов. 3 кл. СО ел 05 СП ЮThe invention relates to equipment for the chemical treatment of metals and can be used for the chemical treatment of the outer surface of heat-generating elements for atomic reactors. The purpose of the invention is to improve the quality of the treated surface {1 of the product and the intensification of the etching process. The trap solution is fed through the inlet 13 into the dispensing manifold 11 of the beam 5. Next, the solution goes through the tangential passage of the hole 12 into the adjacent lower injection chambers 9. The spiraled spiral-shaped streams of the pickling solution are formed, moving from the lower injection chambers 9 to the upper working chambers 8. This ensures a smooth, constant supply of fresh mortar directly to the surface of the product 4, - located in the zone of the working chambers 8 / L of the bar 5, and instantaneous removal as reaction products formed as a result of the etching process, with surface-to-carry products 4 and gaseous products. 3 cl. SO ate 05 JV Yu

Description

10ten

Изобретение относитс  к оборудова- Hino дл  химической обработки метал- rfbB и может быть использовано дл  непрерывного травлени  наружной поверхности изделий, в частности, из циркониевых сплавов - оболочек дл  тепловыдел ющих элементов дл  атомных, реакторов.The invention relates to Hino equipment for chemical treatment of metal-rfbB and can be used for continuous etching of the outer surface of products, in particular, from zirconium alloy shells for heat-generating elements for atomic reactors.

Целью изобретени   вл етс  повышение качества обработки и интенсификаци  процесса .травлени .The aim of the invention is to improve the quality of processing and intensify the etching process.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство в разрезе на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1 j на фиг. 3 - матично показано течение рабочей жид- Кости..FIG. 1 shows the proposed device in section in FIG. 2 shows section A-A in FIG. 1 j in FIG. 3 - Mathematically shows the flow of the working fluid. Bones.

Устройство содержит камеру 1 пр моугольной формы, в противоположных боковых стенках 2 которой выполнены - соосно отверсти  3, служапцие дл  подачи и вывода обрабатываемого из- делил 4, распределительный узле,вы-- полненный в виде бруса 5 со сквозным каналом 6 дл  прохождени  издели  4 и установленный нл опорные подставки 7. При этом в брусе 5.выполнен р д рабочих камер 8 и нагнетательных камер 9, при этом рабочие камеры 8 выполнены в верхней части бруса 5, соединены между собой прорезью 10 и пересекают сквозной канал 6, а нагнетательные камеры 9 вьшол- нены в нижней части бруса соосно с рабочими камерами 8, причем кажда  пара нагнетательных камер соединена с ра.здаточным коллектором 11 тангенциальными проходньми отверсти ми 12, симметрично расположенными относинюю нагнетательиуто камеру 9, где происходит формирование сплоптого спиралеобразного потока травильного раствора , перемещающегос  из нижней нагнетательной камеры 9 в верхнюю рабочую камеру 8. Одновременно с подачей раствора осуществл ют транспортировку издели  4 т нущими роликами 15 вдоль бруса 5 через верхние рабочие камеры 8, где и происходит травление наружной поверхности издели  4, Отработанный травильный раствор из рабочих камер 8 поступает в камеру 1, откуда удал етс  через сливной патрубок 14.The device comprises a rectangular shaped chamber 1, in the opposite side walls 2 of which there are coaxially apertures 3, serving for supplying and discharging the processed section 4, a distribution node, made in the form of a bar 5 with a through channel 6 for passing the product 4 and mounted NL support stands 7. At the same time, in the beam 5. a number of working chambers 8 and pressure chambers 9 are made, while the working chambers 8 are made in the upper part of the beam 5, interconnected by a slot 10 and intersect the through channel 6, and the pressure chambers 9 They are located in the lower part of the beam coaxially with the working chambers 8, each pair of injection chambers connected to a distribution manifold 11 by tangential passage holes 12 symmetrically located relative to the pressure chamber 9, where a float spiral-like flow of pickling solution is formed, moving from the bottom the discharge chamber 9 into the upper working chamber 8. Simultaneously with the supply of the solution, the product 4 is transported by means of the use of rollers 15 along the beam 5 through the upper working wheels EASURES 8, where etching occurs outside surface 4 of the article, spent etching solution from the working chamber 8 enters the chamber 1, which is removed through the spout 14.

Конструктивные особенности устройства позвол ют осуществл ть обработ-- ку издели  Д.при поперечном набега- НИИ на него высокоскоростного вихревого потока травильного раствора, образующегос  в верхних рабочих ка . мерах 8. Высокоскоростные потоки  вл ютс  сильно турбулизованными, поэтому процессы переноса трав щего ком25 понента.происходит за счет турбулентной диффузии и конвективного переноса . При этом скорость химической реакции возрастает за счет интенсивного подвода трав щих компонентов к по30 верхности издели  4. Повышению скорости способствует также и мгновен- . ное удаление продуктов реакции -. травильных шлаков, которые благодар  высокой скорости набегающего потокаThe design features of the device allow the processing of the product D. at the transverse ramp on it of a high-speed vortex flow of the pickling solution, which is formed in the upper working surfaces. measures 8. High-speed flows are highly turbulent, therefore the transfer of the herbal component is due to turbulent diffusion and convective transfer. At the same time, the rate of chemical reaction increases due to the intensive supply of etching components to the surface of the product 4. The speed increase also contributes instantaneously. removal of reaction products. pickling slags, which are due to the high flow velocity

og раствора быстро размьшаютс  и удал ютс  из зоны реакции.The og of the solution is rapidly diluted and removed from the reaction zone.

2020

Это позвол ет интенсифицировать процесс обработки издели  в 1,4 раза тельно сквозного канала, соедин ющего д при улучшении качества о.бработки за смежные рабочие камеры В, На брусе 5 счет снижени  неравномерности оправустановлен входной патрубок 13 дл  пСдачи травильного раствора, а в днище камеры 1 - сливной патрубок 14, , обеспечивающий удаление отработанного раствора. У входа и-выхода камеры 1 установлены т нущие ролики 15, служащие дл  вращени  и перемещени  издели  4 с определенной скоростью. Все элементы устройства вьтолнены из кислотостойкого материала.This allows you to intensify the processing of the product by 1.4 times the through channel that connects, while improving the quality of processing for the adjacent working chambers B, On the beam 5, the inlet 13 is set to reduce the irregularity, and the bottom of the chamber 1 - drain pipe 14, to ensure the removal of the spent solution. At the entrance and exit of the camera 1, there are mounted pulleys 15 that serve to rotate and move the product 4 at a certain speed. All elements of the device are made of acid-resistant material.

Устройство работает следующим образом .The device works as follows.

Травильный pacTgop подают через входной патрубок 13 в раздаточный коллектор 11 бруса 5, откуда раствор через тангенциальные проходные отверсти  12 с определенной скоростью и с заданным направлением подают в нижEtching pacTgop is fed through the inlet 13 to the dispensing manifold 11 of the beam 5, from where the solution is fed through the tangential through holes 12 at a certain speed and with a given direction to the bottom

нюю нагнетательиуто камеру 9, где происходит формирование сплоптого спиралеобразного потока травильного раствора , перемещающегос  из нижней нагнетательной камеры 9 в верхнюю рабочую камеру 8. Одновременно с подачей раствора осуществл ют транспортировку издели  4 т нущими роликами 15 вдоль бруса 5 через верхние рабочие камеры 8, где и происходит травление наружной поверхности издели  4, Отработанный травильный раствор из рабочих камер 8 поступает в камеру 1, откуда удал етс  через сливной патрубок 14.null blower chamber 9, where the formation of a float spiral flow of pickling solution takes place, moving from the lower discharge chamber 9 to the upper working chamber 8. Simultaneously with the supply of solution, the product 4 is transported by pulling pulleys 15 along the beam 5 through the upper working chambers 8, where the etching of the outer surface of the product 4 occurs. The spent pickling solution from the working chambers 8 enters the chamber 1, from where it is removed through the drain nipple 14.

Конструктивные особенности устройства позвол ют осуществл ть обработ-- ку издели  Д.при поперечном набега- НИИ на него высокоскоростного вихревого потока травильного раствора, образующегос  в верхних рабочих ка мерах 8. Высокоскоростные потоки  вл ютс  сильно турбулизованными, поэтому процессы переноса трав щего компонента .происходит за счет турбулентной диффузии и конвективного переноса . При этом скорость химической реакции возрастает за счет интенсивного подвода трав щих компонентов к поверхности издели  4. Повышению скорости способствует также и мгновен- . ное удаление продуктов реакции -. травильных шлаков, которые благодар  высокой скорости набегающего потокаThe design features of the device allow the processing of the product D. at a transverse ramp on it of a high-speed vortex flow of pickling solution formed in the upper working chambers 8. High-speed flows are highly turbulent, therefore the transfer process of the grass component occurs. due to turbulent diffusion and convective transfer. At the same time, the rate of chemical reaction increases due to the intensive supply of etching components to the surface of the product 4. The speed increase also contributes instantaneously. removal of reaction products. pickling slags, which are due to the high flow velocity

раствора быстро размьшаютс  и удал ютс  из зоны реакции.the solution rapidly dissolves and is removed from the reaction zone.

4545

5050

5555

лени  по сечению издели  в ,t. 3,2 раза и по длине - в 1,5.2,25 раза.sloth in the cross section of the product in, t. 3.2 times and in length - 1.5.2.25 times.

ормул.а изорр-етени Formula

Устройство дл  струйного травлени длинномерных цилиндрических изделий, содержащее камеру травлени  с отверсти ми дл  ввода и вывода изделий, распределительный узел, выполненный в виде бруса со сквозным каналом дл  прохождени  издели  и раздаточньш коллектором, и механизм вращени  и транспортировки издели , о т л и г ч ающее с   тем, что, с целью повьшени  качества обработки и интенсификации процесса травлени , оноA device for jet etching of long cylindrical articles, comprising an etching chamber with openings for input and output of products, a distribution assembly made in the form of a bar with a through channel for passing the product and a distributing collector, and a mechanism for rotating and transporting the product about l and h h with the aim of increasing the quality of processing and intensifying the etching process, it

снабжено р дом рабочих и нагнетательных камер, выполненных в брусе, при этом рабочие камеры выполнены в верхней части бруса, соединены между собой и пересекают сквозной канал дл  прохождени  издели , а нагнетательные камеры выполнены в нижней части брусаequipped with a number of working and injection chambers made in the beam, while the working chambers are made in the upper part of the beam, interconnected and cross the through channel for the passage of the product, and the discharge chambers are made in the lower part of the beam

соосно с pa6o4f{MH камерами, пр1гчем кажда  пара нагнетательггых камер сое- динена с раздаточным коллектором тангенциальными проходными отверсти ми, симметрично расположенны ги относительно сквознрго канала, соедин ющего смежные рабочие камеры.coaxially with pa6o4f {MH chambers, each of which a pair of supercharged chambers are connected to a dispensing manifold by tangential bore holes, symmetrically located gi relative to the through channel connecting the adjacent working chambers.

LL

фиг. 1FIG. one

////

А АA a

Фиг. 2FIG. 2

Фие.ЗFi.Z

Claims (1)

Формул.а изобретенияClaim Устройство для струйного травления длинномерных цилиндрических изделий, содержащее камеру травления с отверстиями для ввода и вывода изделий, распределительный узел, выполненный в виде бруса со сквозным каналом для прохождения изделия и раздаточным коллектором, и механизм вращения и транспортировки изделия, о т л и у через тангенциальные проходные отверстия 12 с определенной скоростью и с заданным направлением подают в нижч ающее с я тем, что, с целью повышения качества обработки и интенсификации процесса травления, оно снабжено рядом рабочих и нагнетательных камер, выполненных в брусе, при этом рабочие камеры выполнены в верхней части бруса, соединены между собой и пересекают сквозной канал для прохождения изделия, а нагнетательные камеры выполнены в нижней части бруса соосно с рабочими камерами, пртем каждая пара нагнетательных камер соединена с раздаточным коллектором тангенциальными проходными отверстиями, симметрично расположенными относнтель но сквознрго канала, соединяющего смежные рабочие камеры.A device for jet etching of long cylindrical products, containing an etching chamber with openings for input and output of products, a distribution unit made in the form of a bar with a through channel for passing the product and a dispensing manifold, and a mechanism for rotating and transporting the product, from the tangential the through holes 12 with a certain speed and with a given direction are fed to the lower one in that, in order to improve the quality of processing and intensify the etching process, it is equipped with a number of p side and discharge chambers made in the beam, while the working chambers are made in the upper part of the beam, interconnected and intersect the through channel for the passage of the product, and the injection chambers are made in the lower part of the beam coaxially with the working chambers, each pair of pressure chambers is connected to by a distributing collector with tangential passage holes symmetrically located relative to the through channel connecting adjacent working chambers. I I Фиг. 1FIG. 1 Фие.ЗFie.Z
SU853968267A 1985-08-16 1985-08-16 Apparatus for jet etching of elongated cylindrical articles SU1356521A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853968267A SU1356521A1 (en) 1985-08-16 1985-08-16 Apparatus for jet etching of elongated cylindrical articles

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853968267A SU1356521A1 (en) 1985-08-16 1985-08-16 Apparatus for jet etching of elongated cylindrical articles

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1356521A1 true SU1356521A1 (en) 1990-03-30

Family

ID=21202317

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU853968267A SU1356521A1 (en) 1985-08-16 1985-08-16 Apparatus for jet etching of elongated cylindrical articles

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1356521A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6699356B2 (en) 2001-08-17 2004-03-02 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for chemical-mechanical jet etching of semiconductor structures

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Опубликованна за вка JP Н 53-15811, кл. 12 А 12, 1978. Авторское свидетельство СССР 982375, кл. С 23 G 3/00, 1981 (непубликуемое). Авторское свидетепьство СССР 1295782, кл. С 23 G 3/04, 1985 (непубликуемое). *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6699356B2 (en) 2001-08-17 2004-03-02 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for chemical-mechanical jet etching of semiconductor structures
US7037854B2 (en) 2001-08-17 2006-05-02 Applied Materials, Inc. Method for chemical-mechanical jet etching of semiconductor structures

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6896401B2 (en) Method and device for reducing byproducts in the mixture of educt streams
US3833719A (en) Method and apparatus for mixing gas and liquid
JPS58127003A (en) Method and apparatus for removing sludge deposited onto pipe support plate of steam generator
CN108854624A (en) A kind of swirl jet formula jet mixer
JP4959092B2 (en) Process for the continuous production of organic monoisocyanates or polyisocyanates and apparatus therefor
SU1356521A1 (en) Apparatus for jet etching of elongated cylindrical articles
US4370151A (en) Process and apparatus for gassing liquids
US6341765B1 (en) Method for the infeed of a fluid into an apparatus
US3954565A (en) Apparatus for cultivating microorganisms
EP0088733A1 (en) High-efficiency device to cool rolled bars
SU1055318A3 (en) Multiple-section column for treating substances in straightflow systems
JPS6068097A (en) Removing apparatus of n and p in sewage
SU376109A1 (en) MIND. Cl. At 01J 1 / 00UDK 66.023 (088.8)
RU2060764C1 (en) Film evaporator
SU1113415A1 (en) Method and apparatus for bottom blowing of metal
SU967523A1 (en) Apparatus for wet centrifugal cleaning of gases
SU965446A1 (en) Apparatus for contacting vapour/gas/ to liquid
RU2111255C1 (en) Method of liming of juice of beet-sugar production
SU1449817A1 (en) Apparatus for thermostatting liquid
SU1643057A1 (en) Foam apparatuses
SU1152633A1 (en) Jet-type mixer
SU1281282A1 (en) Apparatus for degassing liquid
RU2048125C1 (en) Apparatus for steam-heat processing of liquid and puree- like products
SU1082464A1 (en) Heat mass exchange apparatus
SU1699593A1 (en) Multitubular film reactor