SU1326915A1 - Преобразователь давлени - Google Patents

Abstract

Изобретение может быть использовано при измерении давлени  жидких и газообразных сред в услови х измен ющейс  температуры окружающей и рабочей среды. Цель изобретени  - повышение точности за счет уменьшени  температурной погрешности. Выдел ема  на нагревательных резисторах 3 мощность идет на разогрев и поддержание температуры мембраны 2 и ее основани  на уровне тарировочной температуры . Уменьшение перепадов температуры на пластине 1 снижает термические напр жени ,-И за счет этого повышаетс  точность измерени . 1 ил. (Л со 05 СО Si

Description

1

Изобретение относитс  к приборостроению , в частности к первичным измерительным преобразовател м давлени , которые используютс  при измерении давлени  жидких и газообразных сред в услови х измен51ющейс  температуры окружающей и рабочей сред.

Цель изобретени  - повышение точности измерений за счет уменьшени  ig температурной погрешности.

На чертеже изображена конструкци  предлагаемого преобразовател  давлени .

Преобразователь давлени  содержит 5 полупроводниковую пластину 1 с мем- браной 2 и четырьм  резистивными нагревател ми (резисторами) 3, соединенными паралельно и имеющими общую точку 4, и контактные площадки 5, 2о На мембране расположены терморезис- торы 6, а на основании мембраны расположен датчик 7 температуры,

Схема стабилизации температуры .пластины представл ет собой пропор- 25 циональный р е гул  т ор,

Преобразователь давлени  работает

следующим образом, I

В исходном состо нии при тариро- вочной температзфе, равной или боль- 30 шей максимально возможной температуры окружающей или контролируемой среды , ток через нагревательные резисторы не протекает. Выходной сигнал преобразовател  в результате тарировки 35 будет пропорционален измер емому дав- .лению. При выключенном устройстве стабилизации температуры и уменьшении температуры окружающей или контролируемой среды выходной сигнал 40

. 13269152

преобразовател  будет отличатьс  от выходного сигнала при тарировочной температуре, вследствие температурной зависимости сопротивлени  и коеф- фициента тензочувствительности терморезисторов 6. При включенном устройстве стабилизации и датчике 7 тем- пературы поступает сигнал на пропорциональный регул тор 5 который регулирует величину тока, протекающего через нагревательные резисторы 3. Выдел ема  на нагревательных резисторах 3 мощность, идет на разогрев и поддержание температуры мембраны и ее основани  на уровне тарировочной температуры. Существенное уменьшение перепадов температуры на пластине снижает термические напр жени , за счет чего повышаетс  точность измерений .

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Преобразователь давлени , содержащий полупроводниковую пластину с основанием и квадратной мембраной, на которой расположены тензорезистив- ный мост и нагревательный элемент, и датчик температуры, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности и:змерений за счет y 5eньшeни  температурной погрешности , в нем нагревательный элемент выполнен в виде четырех резисторов, расположенных по диагонал м квадратной мембраны, причем один конец каждого резистора расположен на основании , а другой соединен с другими резисторами в центре мембраны в общей точке,

   Редактор А.Ренин

   Составитель А,Сверчков

   Техред А. Кравчук Корректор Е. Рошко

   Заказ 3272/36 Тираж 776 Подписное

   ВНИИПИ Государственного комитета СССР

   по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35р Раушска  наб,, Д,4/5

   Производственно-полиграфическое предпри тие г, Ужгород, ул. Проектна , 4