SU1326881A1 - Устройство дл контрол шероховатости поверхности - Google Patents

Устройство дл контрол шероховатости поверхности Download PDF

Info

Publication number
SU1326881A1
SU1326881A1 SU864036866A SU4036866A SU1326881A1 SU 1326881 A1 SU1326881 A1 SU 1326881A1 SU 864036866 A SU864036866 A SU 864036866A SU 4036866 A SU4036866 A SU 4036866A SU 1326881 A1 SU1326881 A1 SU 1326881A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
radiation
unit
leds
signal
incident
Prior art date
Application number
SU864036866A
Other languages
English (en)
Inventor
Михаил Иванович Калинин
Георгий Владимирович Польщиков
Галина Константиновна Потапова
Original Assignee
Ленинградский Институт Точной Механики И Оптики
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ленинградский Институт Точной Механики И Оптики filed Critical Ленинградский Институт Точной Механики И Оптики
Priority to SU864036866A priority Critical patent/SU1326881A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1326881A1 publication Critical patent/SU1326881A1/ru

Links

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  бесконтактного оптического контрол  шероховатости поверхности изделий. Целью изобретени   вл етс  повьшение производительности контрол  путем исключени  из конструкции подвижных частей. Устройство содержит блок 1 коммутации, блок 2 формировани  падающего монохроматического излучени , блок 3 приема отраженного излучени  и блок 4 обработки сигна8 (Л

Description

лов. Блок 2 формировани  подающего монохроматического излучени  содержит линейку 5 светодиодоВо подключенную к блоку 1 коммутации, и объектив 6 дл  фокусировки падающего излучени . Блок 3 приема отраженного излучени  содержит объектив 7 дл  фокусировки отраженного излучени , точечную полевую диафрагму 8 и фотоприемник 9. Узел коммутации обеспечивает последовательное включение светодиодов, в результате чего постепенно увеличиваетс  угол падени  излучени  на контролируемую поверх1
Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  бесконтактного оптического контрол  качества поверхности изделий в различных ; отрасл х промышленности как при отладке техпроцессо так и при экспресс-контроле конечной продукции.
Цель изобретени  - повьппение производительности контрол  путем исключени  из конструкции устройства подвижных частей.
На чертеже изображена схема предлагаемого устройства.
Устройство содержит блок i коммутации , блок 2 формировани  падающего монохроматического излучени , блок 3 приема отраженного излучени  и блок 4 обработки сигналов.
Блок 2 формировани  падающего монохроматического излучени  состоит и линейки 5 светодиодов, входы которой соединены с выходами блока 1 коммутации , и объектива 6 дл  фокусировки падающего излучени  при этом излучающие площадки светодиодов в линейке 5 светодиодов располагаютс  в вынесенной главной плоскости объектива 6 дл  фокусировки падающего излучени .
Блок 3 приема отраженного излучени  состоит из объектива 7 дл  фокусировки отраженного излучени , диафрагмы 8 и фотоприемкика 9, установ- ленного непосредственно за диафрагмой 8. Диафрагма 8 представл ет собо
ность 10, В блоке 4 обработки сигналов регистрируетс  определ ющий величину критического угла номер све- тодиода в линейке 5, при включении которого происходит резкий скачок амплитуды сигнала с фотоприемника 9 из-за по влени  зеркальной составл ющей в отраженном световом пото ке, По критическому углу, т.е. минимальному углу падени , начина  с которого шероховата  поверхность отражает свет зеркально, оцениваетс  средн   квадратична  высота шероховатости. I ил.
2
5
0
5
0
5
полевую диафрагму с точечным отверстием в центре.
Блок 2 формировани  падающего мо- нохромати хеского излучени  и блок 3 приема отраженного излучени  расположены таким образом, что оптические оси объектива 6 дл  фокусировки падающего излучени  и объектива 7 дл  фокусировки отраженного излучени  пересекаютс  в точке О,  вл ющейс  точкой фокуса объектива 6 дл  фокусировки падающего излучени  и оптически сопр женной с центром отверсти  диафрагмы 8. Точка О в процессе контрол  лежит на контролируемой поверхности 10,
Блок 1 коммутации состоит из тактового генератора 11, двоичного счетчика 1-2, вход которого соединен с выходом тактового генератора 11, а выходы - с соответствующими входами развертывающего дешифратора 13, схемы 14 задержки, вход которого подключен к блоку 4 обработки сигналов, а выход - к R-входу двоичного счетчика 12. Выходы развертывающего дешифратора 13 соединены с соответствующими входами линейки 5 светодиодов блока 2 формировани  падающего монохроматического излучени .
Блок 4 обработки сигналов состоит из входного усилител  15,- компаратора 16 уро°вн , вход которого соединен с выходом входного усилител  15 а выход - с запоминающим устройством 17 и схемой 14 задержки блока 1 коммутации , индикатора 18, входы которого
fO
подключены к соответствующим выходам запоминающего устройства 17. Соответствующие входы запоминающего устройства 17 соединены с выходами двоичного счетчика 12 блока 1 коммута- ции. При этом количество входов и выходов двоичного счетчика 12, развер- тьшающего дешифратора 13, запоминающего устройства 17 и индикатора 18 определ ютс  количеством светодио- дов в линейке 5 светодиодов блока 2 формировани  падающего монохроматического излучени .
разом.
Блок 1 коммутации осуществл ет последовательное включение светодиодов в линейке 5 светодиодов блока 2 формировани  падающего монохроматического излучени . При последовательном включении светодиодов в линейке 5 светодиодов последовательно увеличиваетс  угол падени  монохроматичесрассе ннре контролируемой поверхностью 10 только в точке 0. На выходе фотоприемника 9 по вл етс  сигнал , пропорциональный по амплитуде величине светового потока, прин того чувствительной площадкой фотоприемника 9. При постепенном увеличении угла падени  излучени  на контролируемую поверхность 10 в точке О медленно возрастают световой поток, поступающий на чувствительную пло- : щадку фотоприемника 9, и амплитуда сигнала на выходе фотоприемника 9. Когда же угол падени  достигнет веУстройство работает следующим об- }5 личины критического угла б , т.е. минимального угла падени , начина  с которого шероховата  поверхность отражает свет зеркально,- резко возрастают световой поток, поступающий на 2Q чувствительную площадку фотоприемника 9, и амплитуда сигнала на выходе фотоприемника 9. Скачок амплитуды сигнала регистритуетс  блоком 4 обработки сигналов. В блоке 4 обработ- кого излучени  в точке О контролируе-25 ки сигналов регистрируетс  также номой поверхности 10. Падающее излуче- мер светодиодов, которому соотвётст- ние рассеиваетс  шероховатой контролируемой поверхностью 10. Объективом 7 дл  фокусировки отраженного излучени  блока 3 приема отраженного ЗО высоты шероховатости h определ етс  излучени  в центре диафрагмы 8 соби- по критическому углу б. из соотно- раетс  излучение, отраженное или рас- шени  се нное контролируемой поверхностью 10 в точке О телесного угла, определ емой апертурой объектива 7 дл  фоку- 5 средн   критическа  высота сировки отраженного излучени . Излучение , попавшее в отверстие диафрагмы 8, поступает на чувствительную площадку фотоприемника 9. Таким образом , линейка 5 светодиодов использу- 40 етс  дл  сканировани  по направлению . освещени  стационарной точки с коррекцией диаграммы излучени  светодиодов , поскольку излучение каждого све- тодиода в направлении, параллельном 45 регистраци  скачка амплитуды сиг- оптической оси объектива 6 дл  фоку- нала на выходе фотоприемника 9 при сировки падающего излучени , собираетс  этим объективом в точке заднего фокуса, совмещенном с точкой О контролируемой поверхности 10, котора  освещаетс  каждым светодиодом под определенным углом к нормали к контролируемой поверхности 10, при в
вуют скачок амплитуды сигнала и критический угол
Величина, средней квадратической
2h cos 0с /)/К,
шероховатости; ®с критический угол; Я - длина волны излучени ; К - коэффициент.
Последовательное включение светодиодов в линейке 5 светодиодов, а следовательно, и последовательное изменение угла падени  излучени  на контролируемую поверхность 10, а-так50
по влении зеркальной составл ющей в отраженном световом потоке и соответствующего этому скачку амплитуды сигнала номера светодиода в линейке 5 светодиодов обеспечиваютс  блоком I коммутации и блоком 4 обработки сигналов, которые работают следующим образом. Тактовый генератор 11
точку о поступает свет, излучаемый
каждым светодиодом в одном и том же 55 вьтрабатывает последовательность им- направлении, т.е. используетс  один пульсов, которые подаютс  на вход
двоичного счетчика 12. Б двоичном счетчике 12 каждый импульс преобразуи тот же участок индикатрисы излучени  светодиодов, а на фотоприемник 9 поступает излучение, отраженное или
етс  в соответствующий код, который
fO
личины критического угла б , т.е. минимального угла падени , начина  с которого шероховата  поверхность отражает свет зеркально,- резко возрастают световой поток, поступающий на чувствительную площадку фотоприемника 9, и амплитуда сигнала на выходе фотоприемника 9. Скачок амплитуды сигнала регистритуетс  блоком 4 обработки сигналов. В блоке 4 обработ- ки сигналов регистрируетс  также номер светодиодов, которому соотвётст- высоты шероховатости h определ етс  по критическому углу б. из соотно- шени  средн   критическа  высота регистраци  скачка амплитуды сиг- нала на выходе фотоприемника 9 при
вуют скачок амплитуды сигнала и критический угол
Величина, средней квадратической
ины критического ального угла пад орого шероховата ает свет зеркаль т световой поток ствительную площ 9, и амплитуда с оприемника 9. Ск нала регистритуе отки сигналов. В сигналов регистр светодиодов, ко оты шероховатост критическому угл и  средн   кри регистраци  скач а на выходе фото
2h cos 0с /)/К,
личины критического угла б , т.е. минимального угла падени , начина  с которого шероховата  поверхность отражает свет зеркально,- резко возрастают световой поток, поступающий на чувствительную площадку фотоприемника 9, и амплитуда сигнала на выходе фотоприемника 9. Скачок амплитуды сигнала регистритуетс  блоком 4 обработки сигналов. В блоке 4 обработ- ки сигналов регистрируетс  также номер светодиодов, которому соотвётст- высоты шероховатости h определ етс  по критическому углу б. из соотно- шени  средн   критическа  высота регистраци  скачка амплитуды сиг- нала на выходе фотоприемника 9 при
шероховатости; ®с критический угол; Я - длина волны излучени ; К - коэффициент.
Последовательное включение светодиодов в линейке 5 светодиодов, а следовательно, и последовательное изменение угла падени  излучени  на контролируемую поверхность 10, а-такличины критического угла б , т.е. минимального угла падени , начина  с которого шероховата  поверхность отражает свет зеркально,- резко возрастают световой поток, поступающий на чувствительную площадку фотоприемника 9, и амплитуда сигнала на выходе фотоприемника 9. Скачок амплитуды сигнала регистритуетс  блоком 4 обработки сигналов. В блоке 4 обработ- ки сигналов регистрируетс  также номер светодиодов, которому соотвётст- высоты шероховатости h определ етс  по критическому углу б. из соотно- шени  средн   критическа  высота регистраци  скачка амплитуды сиг- нала на выходе фотоприемника 9 при
по влении зеркальной составл ющей в отраженном световом потоке и соответствующего этому скачку амплитуды сигнала номера светодиода в линейке 5 светодиодов обеспечиваютс  блоком I коммутации и блоком 4 обработки сигналов, которые работают следующим образом. Тактовый генератор 11
етс  в соответствующий код, который
подаетс  на входы развертывающего дешифратора 13, Развертывающий дешифратор 13 включает тот светодиод в линейке 5 светодиодов блока 2 формировани  падающего монохроматического излуг ени , номер которого соответствует коду, поступающему в данный Момент времени в развертывающий дешифратор 13 с выхода двоичного счетчика.12, в результате чего раз вертывающий дешифратор 13 последовательно включает светодиоды в линейке 5 светодиодов, при этом последовательно измен ютс  С(увеличиваетс  угол падени  излучени  на контролируемую поверхность 10 в точке О.и амплитуда сигнала на выходе фотоприемника 9, пропорциональна  величине светового потока, отраженного контролируемой поверхностью 10 в точке О и поступившего на чувствительную площадку фотоприемника 9. Сигнал с выхода фотоприемника 9 после необходимого усилени  во входном усилителе 15, блока 4 обработки сигналов поступает на компаратор 16 уровн , где происходит его сравнение с заранее установленным уровнем. При включении свето- диода, которому соответствует критический угол Sg , происходит резкий скачок амплитуды сигнала на выходе фотоприемника 9 ( за счет по влени  зеркальной составл ющей отраженного светового потока). Усиленньй сигнал, поступающий в компаратор 16 уровн  из входного усилител  15, превьшгает заранее установленный уровень, в результате чего на выходе компаратора 16 уровн  по вл етс  единичный уровень. Этот сигнал подаетс  через схему 14 задержки на R-вход двоичного счетчика 12, в результате чего, счетчик 12 обнул етс , а счет импульсов от тактового генератора 11 начинаетс  сначала. Этот же сигнал пода- етс  с выхода компаратора 16 на вход запоминанидего устройства 17, в которое поступают коды с выходов двоичного счетчика 12, при этом в нем запоминаетс  соответствующий код, т.е, код, который соответствует номеру того светодиода в линейке 5 светодио
ВНИИПИ Заказ 3269/34 Тираж 676 Подписное
.----«..«..- ------.----- -.------------------ --------------- -- -----------------
Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектна , 4
дов, при включении которого в отраженном контролируемой поверхностью 10 световом потоке по вилась зеркальна  составл юща , произошел резкий скачок амплитуды сигнала на выходе фотопрй- емника 9, амплитуда усиленного во входном усилителе 15 сигйала превысиа заранее установленный уровень и на выходе компаратора 16 в результате этого по вилс  единичный уровень или логическа  единица. Далее этот код с выхода запоминающего устройства 17 подаетс  на вход индикатора 18, в котором высвечиваетс , записьгоает- с  или другим образом (в зависимости от типа индикатора) фиксируетс  либо номер светодиода в линейке 5 светодиодов , соответствующий поступающему на вход индикатора 18 коду, либо непосредственно величина критического угла 0р или величина средней квадратичной высоты шероховатости h.

Claims (1)

  1. Формула изобретени . Устройство дл  контрол  шероховатости поверхности, содержащее последовательно расположенные блок форми ровани  падающего монохроматического излучени , блок приема отраженного излучени  и блок обработки сигналов, отличающеес  тем, что, с целью повьш1ени  производительности контрол , блок формировани  падающего монохроматического излучени  выполнен в виде объектива дл  фокусировки падающего излучени  и линейки светодиодов, расположенных в главной плоскости объектива, блок приема отраженного излучени  выполнен в виде последовательно установленных объектива дл  фокусировки отраженного излучени , диафрагмы и фотоприемника, блок формировани  падающего монохроматического излучени  и блок приема отраженного излучени  установлены так, что оптические оси их объективов пересекаютс  в точке,  вл ющейс  фокусом объектива фокусировки падающего излучени  и оптически сопр женной с центром диафрагмы, а устройство снабжено блоком коммутации, под-, ключенным к линейке.
SU864036866A 1986-03-14 1986-03-14 Устройство дл контрол шероховатости поверхности SU1326881A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864036866A SU1326881A1 (ru) 1986-03-14 1986-03-14 Устройство дл контрол шероховатости поверхности

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864036866A SU1326881A1 (ru) 1986-03-14 1986-03-14 Устройство дл контрол шероховатости поверхности

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1326881A1 true SU1326881A1 (ru) 1987-07-30

Family

ID=21226333

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU864036866A SU1326881A1 (ru) 1986-03-14 1986-03-14 Устройство дл контрол шероховатости поверхности

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1326881A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997006407A1 (en) * 1995-08-03 1997-02-20 Mcneil John R Lens scatterometer system

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Hirori Hasumuma, Jiro Nara. On the Sheen Gloss. - Journal of the Physical Society of Japan, Vol 11, № 1, 1956, p. 69-75. Авторское свидетельство СССР № 1260674, кл. G 01 В 11/30,14.11.85. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997006407A1 (en) * 1995-08-03 1997-02-20 Mcneil John R Lens scatterometer system
US5703692A (en) * 1995-08-03 1997-12-30 Bio-Rad Laboratories, Inc. Lens scatterometer system employing source light beam scanning means

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4218144A (en) Measuring instruments
US5126872A (en) Apparatus for optically scanning the surface of an object whose surface is capable of reflecting or scattering light
US5818062A (en) Original edge detecting system and optical sensor using distance detecting light-receiving means
US4034230A (en) Electro-optical bar-code scanning unit
US8379930B2 (en) Distance measuring system
US4486095A (en) Movement measuring apparatus and landmarks for use therewith
KR890013458A (ko) 표면 거칠기 광탐지 방법 및 장치
US5432596A (en) Lens measurement apparatus providing measurements of multiple lens characteristics
GB1406018A (en) Optical measuring apparatus
US4577101A (en) Shaft encoder with an optical system comprising two straight-line-generatrix surfaces
SU1326881A1 (ru) Устройство дл контрол шероховатости поверхности
EP0062642B1 (en) Movement measuring apparatus and landmarks for use therewith
US4690565A (en) Optical apparatus for the detection of scattered light
JPS6111637A (ja) 液体センサ
SU833147A3 (ru) Оптико-электронное устройство дл распознавани светоотражающейбиРКи
JPH11201718A (ja) センサ装置及び距離測定装置
JPS5828615A (ja) 移動量測定装置
EP0051899A1 (en) Apparatus for automatically detecting and evaluating the characteristics of prints
CA1126976A (en) Apparatus for determining properties of matter
JPH0531584Y2 (ru)
US4200398A (en) Automatic visibility measuring system
JPS6050403A (ja) 距離センサ
SU1610269A1 (ru) Устройство дл измерени линейных размеров движущихс объектов
SU1465695A1 (ru) Фотоимпульсный измеритель диаметра
JPS57211008A (en) Distance measuring device