SU1310659A1

SU1310659A1 - Device for checking leak-proofness of articles

Info

Publication number: SU1310659A1
Application number: SU853983723A
Authority: SU
Inventors: Борис Викторович Иванов
Original assignee: Предприятие П/Я В-2739
Priority date: 1985-12-04
Filing date: 1985-12-04
Publication date: 1987-05-15

Abstract

Изобретение относитс к области контрол герметичности изделий масс- спектрометрическим методом и позвол ет расширить эксплуатационные возможности путем обеспечени контрол герметичности изделий разной формы. Масс-спектрометрическа камера образована поверхност ми полюсных наконечников 4 и 5. На торцовой крьшке 6 закреплены источник 7 и приемник 9 ионов пробного газа. В соосных отверсти х наконечников 4 и 5 установлены втулки 10, на которых закреплены пружина 11 из материала с эффектом пам ти и фиксаторы. В процессе контрол источник 7 нагревает пружину 1 1 и после расфиксации наконечника 4 он под действием пружины 11 перемещаетс в новое положение, в котором фиксируетс . Расфиксируют наконечник 5, пружина 11, остыва , сжимаетс , и наконечник 5 также фиксируетс в новом положении,.после чего контролируют новьм участок. 3 ил. (С (ЛThe invention relates to the field of monitoring the leaktightness of products by a mass spectrometric method and allows for expanding the operational capabilities by providing for monitoring the tightness of products of various shapes. The mass spectrometry chamber is formed by the surfaces of pole pieces 4 and 5. On the end cover 6, a source 7 and a receiver 9 of the sample gas ions are fixed. In coaxial holes of tips 4 and 5, bushings 10 are mounted, on which a spring 11 of a material with a memory effect and clamps are fixed. In the process of control, the source 7 heats the spring 1 1 and after the unlocking of the tip 4, it is moved by the action of the spring 11 to a new position in which it is fixed. The tip 5 is unfixed, the spring 11 is cooled down, compressed, and the tip 5 is also fixed in the new position, after which the new section is monitored. 3 il. (C (L

Description

Изобретение относитс к контролю герметичности изделий масс-спектро- метрическим методом.This invention relates to the monitoring of the leaktightness of products by a mass spectrometric method.

Целью изобретени вл етс расширение эксплуатационных возможностей путем обеспечени контрол герметичности изделий разной формы.The aim of the invention is to expand the operational capabilities by ensuring the tightness of products of various shapes.

На фиг, 1 схематично представлено устройство при проверке герметичности фрагмента трубы, размещенной в вакуумной камере, продольный разрезJ на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1j на фиг. 3 - разрез Б-Б на фиг. 1.FIG. 1 shows a schematic representation of the device when checking the tightness of a pipe fragment placed in a vacuum chamber; a longitudinal section in FIG. 2 shows section A-A in FIG. 1j in FIG. 3 shows a section BB in FIG. one.

Устройство дл контрол герметичности изделий содержит вакуумную ка- меру 1 с гермостенкой 2, в которой размещена провер ема труба 3, на которой с возможностью перемещени установлены полюсные наконечники 4 и 5 магнита,образующие масс-спектро- метрическую камеру. На наконечнике 5 укреплена торцова крьшка 6 с источником 7 ионов, содержащим пр мона- кальный катод 8, и приемником 9 ионов В соосных отверсти х наконечников 4 и 5 установлены втулки 10, жестко .прикрепленные к концам пружины 11, выполненной из трансформирующего материала с эффектом пам ти, например никелида. На полюсных наконечниках 4 и 5 укреплены дистанционно управл емый вентиль 12 контрольной течи 13 и выносной каскад 14 усилител . На концах втулок 10 закреплены фиксаторы в виде пневмоцилиндров 15, штоки 16J которых св заны с подвижными . вставками 17.The device for monitoring the leaktightness of products contains a vacuum chamber 1 with a wall hammer 2, in which a test tube 3 is placed, on which the pole pieces 4 and 5 of the magnet are mounted, which form a mass spectrometric chamber. The tip 5 is fixed on the end cap 6 with a source of 7 ions containing a right-handed cathode 8 and a receiver of 9 ions. In coaxial holes of tips 4 and 5 there are mounted bushes 10 rigidly attached to the ends of a spring 11 made of a transforming material with an effect memory, for example nickelide. At the pole ends 4 and 5, the remote controlled valve 12 of the control leak 13 and the remote stage 14 of the amplifier are strengthened. At the ends of the sleeves 10, clamps are fixed in the form of pneumatic cylinders 15, the rods 16J of which are connected with movable ones. inlays 17.

Блок 18 управлени камерой, блок 19 измерени ионного тока и блок 20 управлени контрольной течью 13 элек трически св заны через гермостенку 2 с соответствуюощми элементами устройства , а пневмоцилиндры 15 соединены пневмомагистрал ми с пультом управ- лени , размещенным за гермостенкой 2 (не показано).The camera control unit 18, the ion current measurement unit 19 and the control leakage control unit 20 are electrically connected via the wall 2 to the corresponding elements of the device, and the pneumatic cylinders 15 are connected to the control panel located behind the wall of the wall 2 (not shown).

Устройство работает следующим образом .The device works as follows.

После создани в вакуумной камере 1 вакуума достаточного дл работы источника 7 ионов, включаетс пнев- моцилиндр 15 фиксатора, св занного с полюсным наконечником 5, при этом полюсной наконечник 4 занимает поло- жение,определ емое равенством упругости холодной пружины 11 и силы магнитного прит жени наконечников 4 и 5. В этом положении наконечник 4 фиксируетс пневмоцилиндром 15, Затем включаетс пр монакальный катод 8 источника 7 ионов, и с помощью контролируемой течи 13 производ т оценку чувствительности системы испытаний. После этогов испытываемую трубу 3 по дают пробный газ, например, гелий и определ ют негерметичность участка трубы между наконечниками 4 и 5. В процессе проверки герметичности пр монакальный катод 8 радиационно нагревает пружину 11. По окончании проверки , выключении катода В и сн тии фиксатора с наконечника 4 последний под действием нагретой и приобретающей первоначальную форму пружины 11 из трансформирующего материала, например , никелида перемещаетс в направлении , указанном стрелкой, и фиксируетс в новом положении пневмоцилиндром 15. При остывании пружины 11 при сн тии фиксаторов с наконечника 5 последний прит гиваетс к наконечнику 4 и вновь занимает положение, определ емое равенством упругости холодной пружины 11 и силы магнитного прит жени наконечников 4 и 5. Затем цикл повтор етс .After creating a vacuum in the vacuum chamber 1 sufficient for the ion source 7 to work, the pneumatic cylinder 15 of the retainer connected to the pole tip 5 is turned on, while the pole tip 4 occupies a position determined by the equality of the elasticity of the cold spring 11 and the magnetic force tips 4 and 5. In this position, tip 4 is fixed by a pneumatic cylinder 15. Then, the rectal cathode 8 of the ion source 7 is turned on, and the sensitivity of the test system is evaluated using a controlled leak 13. After this, test tube 3 is supplied with test gas, for example, helium, and the leakage of the pipe section between tips 4 and 5 is determined. During the leak test, the frontal cathode 8 radiation heats the spring 11. After testing, turning off the cathode B and removing the fixture from the tip 4 of the latter under the action of the transforming material 11, which is heated and acquiring the original shape of the spring 11, for example, nickelide moves in the direction indicated by the arrow and is fixed in the new position by the pneumatic cylinder 15. When the spring 11 cools down while removing the retainers from the tip 5, the latter is attracted to the tip 4 and again takes the position determined by the equality of elasticity of the cold spring 11 and the magnetic force of the tips 4 and 5. Then the cycle repeats.

При изменении последовательности фиксации наконечников 4 и 5 направле , ние движени устройства мен етс на противоположное,When the fixing sequence of the handpieces 4 and 5 is changed, the direction of movement of the device is reversed,

При замене трубы 3 на технологическую направл ющую, размещенную вблзи гермостенки 2, и обдува последней пробным газом осуществл ют проверку герметичности гермостенки 2.When replacing the pipe 3 with the process guide placed near the damp walls 2, and blowing the last with a test gas, the tightness of the damp walls 2 is carried out.

Предлагаемое устройство позвол ет производить испытание на локальную герметичность изделий различной конфигурации , работающих в услови х вакуума .The proposed device allows testing for local leaktightness of products of various configurations operating under vacuum conditions.

Claims

Invention Formula

A device for monitoring leaktightness of products containing a magnet, a mass spectrometry chamber with a source and receiver of test gas ions placed between the pole tips of a magnet, having coaxial holes, camera control systems and ion current measurements, a controlled flow mounted on the chamber, and a camera movement mechanism , characterized in that, in order to expand operational capabilities by providing control of products of various shapes,

the mass spectrometry chamber is formed by pole pieces; the displacement mechanism is implemented in the form of a spring made of a material with a memory effect,

mounted on the pole tips of the magnet coaxially with its holes, and the device is equipped with retainers fixed at the poles.

6-6

A 7 /

fbg2

J5

sriez