SU1303972A1

SU1303972A1 - Projection lens with -1/5x magnification

Info

Publication number: SU1303972A1
Application number: SU853956786A
Authority: SU
Inventors: Светлана Станиславовна Черневич; Игорь Феликсович Гуревич; Николай Петрович Сачок
Original assignee: Предприятие П/Я Р-6495
Priority date: 1985-08-27
Filing date: 1985-08-27
Publication date: 1987-04-15

Abstract

Изобретение может быть использовано в микроэлектронике в проекционных системах экспонировани .Цель изобретени - увеличение апертуры и улучшение коррекции аберраций. В объективе положительный мениск 4 обращен выпуклостью к плоскости предмета. На рассто нии 0,08 фокусного рассто ни объектива от склеенных положительного 6 и отрицательного 7 менисков размещен отрицательный мениск 8, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, за которым на рассто нии 0,19 фокусного рассто ни объектива установлен отрицательный мениск 9. Диафрагма удалена от шестого компонента на 0,058 фокусного рассто ни объектива. Объектив ахроматизован и имеет апертуру 0,30, поле зрени 2у 20 мм. 2 ил. J 56189101112131 njjOCHQcmb азобра. WGHUM со о со со --J го fPaz.lThe invention can be used in microelectronics in projection systems of exposure. The purpose of the invention is to increase the aperture and improve the correction of aberrations. In the lens, the positive meniscus 4 is convex to the plane of the object. At a distance of 0.08 of the focal length of the lens from the glued positive 6 and negative 7 menisci a negative meniscus 8 is placed, facing the concavity to the plane of the object, followed by a negative meniscus 9 at a distance of 0.19 focal length of the lens. The aperture is removed from the sixth component at 0.058 lens focal length. The lens is achromatized and has an aperture of 0.30, a field of view of 2 20 mm. 2 Il. J 56189101112131 njjOCHQcmb azob. WGHUM with about with with with --J of fPaz.l

Description

Изобретение относитс к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике в проекцион- ных системах экспонировани дл изготовлени полупроводниковых приборов.The invention relates to optical systems and can be used in microelectronics in projection exposure systems for the manufacture of semiconductor devices.

Цель изобретени - увеличение апертуры и улучшение коррекции аберраций дл спектрального диапазона 404,6 ± 5 нм.The purpose of the invention is to increase the aperture and improve the correction of aberrations for the spectral range of 404.6 ± 5 nm.

На фиг.1 приведена оптическа схема объектива, а на фиг.2 - частотно-контрастные характеристики объектива .Figure 1 shows the optical layout of the lens, and Figure 2 illustrates the frequency-contrast characteristics of the lens.

Объектив состоит из четырнадцати линз, собранных в одиннадцать компонентов (фиг.1), первый из которых отрицательньш мениск 1, обращенный выпуклостью к плоскости предмета,второй - отрицательный мениск 2, обращенный выпуклостью к плоскости предмета , третий - дво ковыпукла линзаThe lens consists of fourteen lenses assembled into eleven components (Fig. 1), the first of which is a negative meniscus 1, convex toward the plane of the object, the second is a negative meniscus 2, convex toward the plane of the object, the third is a double convex lens

3,четвертый - положительный мениск3, the fourth is a positive meniscus

4,обращенный выпуклостью к плоскости предмета, п тый - положительный: мениск 5, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, шестой - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета и склеенный И.З положительного 6 и отрицательного 7 менисков. За шестым компонентом расположена диафрагма на рассто нии от него, равном 0,058 фокусного рассто ни объектива. Седьмо компонент - отрицательный мениск 8, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, восьмой - отрицательный мениск 9, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, дев тый - положительный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета и склеенный из дво ковогнутой 10 и дво ковыпуклой 11 линз, дес тый - дво ковыпукла линза 12, одиннадца- тьй - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета и склеенный из положительного 13 и отрицательного 14 менисков.4, convex to the plane of the object, fifth - positive: meniscus 5, convex to the plane of the object, sixth - negative meniscus, convex to the plane of the object and glued I. 3 positive and 7 negative meniscus. Behind the sixth component is a diaphragm at a distance of 0.058 from the focal length of the lens. The seventh component is a negative meniscus 8, convex to the object plane, the eighth is a negative meniscus 9, facing by the concavity to the object plane, the ninth is a positive meniscus facing by the concavity to the object plane and glued from two bent 10 and two convex 11 lenses, tenth - a double convex lens 12, one eleven - a positive meniscus convex to the plane of the object and glued together from a positive 13 and a negative 14 meniscus.

Объектив ахроматизован и имеет высокую .степень коррекции аберраций дл Л 404,615 нм. Данный объектив имеет увеличение - 1/5 , апертуру 0,30, поле зрени 2у 20 мм, фокусное рассто ние f 118,67 мм.The lens is achromatized and has a high degree of correction of aberrations for L 404.615 nm. This lens has an magnification of 1/5, an aperture of 0.30, a field of view of 2–20 mm, a focal length of f 118.67 mm.

Claims

Invention Formula

A projection lens with a magnification of 1/5, which includes nine components and a diaphragm, the first and second of which are negative menisci facing with the convexity of the object plane, the third with a double convex lens, the fourth with a positive meniscus convex to the plane of the object, the sixth is a negative meniscus convex to the plane of the object, glued from positive and negative menisci; the seventh is a meniscus facing concavity to the plane of the object, glued from two the second and two convex lenses, the eighth - a double convex lens, and the ninth - a positive meniscus convex to the plane of the object, characterized in that, in order to increase the aperture and improve the correction of the aberrations, beyond the sixth component at a distance equal to 0.080 of the focal length of the lens, a negative meniscus is introduced, convex toward the plane of the object, followed by a distance of 0.19 focal length of the lens, a negative meniscus that is facing the concavity of the plane of the object, and the fourth the component is made in the form of a meniscus convex to the object plane, the seventh component is positive, and the diaphragm is located behind the sixth component at a distance equal to 0.058 of the lens focal length.

"M

Editor M. Petrov

Compiled by, Arkhipov

Tehred I.Popovich Proofreader M. Demchik

Order 1307/47 Circulation 522 Subscription

VNIIPI USSR State Committee

for inventions and discoveries 113035, Moscow, Zh-35, Raushsk nab., 4/5

Production and printing company Uzhgorod, st. Project, 4