SU1290215A1

SU1290215A1 - Способ изготовлени датчика Холла

Info

Publication number: SU1290215A1
Application number: SU853914179A
Authority: SU
Inventors: Григорий Яковлевич Портной; Олег Александрович Болотин
Original assignee: Отделение Всесоюзного научно-исследовательского института электромеханики
Priority date: 1985-06-24
Filing date: 1985-06-24
Publication date: 1987-02-15

Abstract

Изобретение относитс к технике измерени магнитных полей. Цель - повышение точности измерени и повышение его стабильности. Способ изготовлени датчика Холла реализован в устройстве, имеющем пластину Холла 2, на которой размещены токовые (Т) 4 электроды 1, холловские (X) злектро ды 3 и X контакты 4, внешний источник питани , датчик, измеритель напр жени (И). Цель достигаетс тем, что, определ X контакт 4 с большим потенциалом, провод т лазерный рез (ЛР) 5 в сторону Т электрода I с большим потенциалом при одновременном измерении остаточного II Холла, начина ЛР 5 от середины X злектро- да 3 перпендикул рно лини м тока и заканчива его вдоль линий тока при достижении остаточного Н Холла заданной минимальной величины. Если при этом оно не достигнуто, то дополнительно провод т ЛР 5 от середины X электрода 3 с меньшим потенциалом в сторону Т электрода 1 с меньшим потенциалом, начина его перпендикул рно лини м тока и заканчива , как в первом случае. Тем самым добиваютс сбалансированности моста внутренних сопротивлений датчика Холла . Изобретение позвол ет снизить остаточное Н Холла до 0,01 мВ и в два раза увеличить его стабильность. I ил. i (Л

Description

Изобретение относитс к технике измерени магнитных полей и может быть использовано дл изготовлени высокоточных и стабильных датчиков Холла.

Целью изобретени вл етс повышение точности путем снижени остаточного напр жени Холла и повьпие- ние его стабильности.

На чертеже представлена схема датчика Холла.

К токовым контактам 1, расположенным на пластине Холла 2, подключен внешний источник питани , создающий ток через датчик, а к холлов- ским электродам 3, расположенным в области холловских контактов 4, поключен измеритель напр жени ; лазерный рез показан цифрой 5,

В отсутствие внешнего магнитного пол датчик Холла без лазерного реза 5, включенный в измерительную схему , имеет остаточное напр жени Холла , св занное с неэквипотенциаль- ностью Холловских контактов 4, что также эквивалентно несбалансированности моста внутренних сопротивлений датчика.

Определ холловский контакт 4 с большим потенциалом, провод т лазерный рез 5 в сторону токового электрода 1 с большим потенциалом при одновременном измерении остаточного напр жени Холла, начина лазерный рез 5 от середины холловского электрода 3 перпендикул рно лини м тока и заканчива его вдоль линий тока при достижении остаточного напр жени Холла заданной минимальной величины Если при этом не достигнуто.минимальное значение остаточного напр жени Холла, то дополнительно провод т лазерный рез 5 от середины холловского электрода 3 с меньшим потенциалом в сторону токового электрода 1 с меньшим потенциалом, начина его перпендикул рно лини м тока и заканчива вдоль линий тока при достижении остаточного напр жени Холла заданной минимальной величины. Тем самым добиваютс сбалансированности моста внутренних сопротивлений датчика Холла. Лазерные резы провод т вне активной области пластины Холла, не наруша входного сопротивлени датВНИИПИ Заказ 7896/42

Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектна , 4

д

соответственно его режим

to

290215

чика и работы.

Начало лазерного реза перпендикул рно лини м тока позвол ет более 5 эффективно уменьшать остаточное на- пр же ие Холла. Кроме того, окончание лазерного реза вдоль линий тока позвол ет повысить временную и температурную стабильность датчика Холла , св занную с возникновением и ; развитием микротреш 1н при проведении лазерного реза. Микротрещины, имеющие преимущественное направление вдоль направлени лазерного реза, особенно в области его окончани , оказывают меньшее вли ние на входное сопротивление датчика Холла, если лазерный рез заканчивают вдоль линий тока.

Таким образом, проведение лазерного реза в соответствии с изобретением позвол ет снизить остаточное напр жение Холла до 0,01 мВ, что в 5 раз меньше, чем у прототипа , а также не менее чем в 2 раза позвол ет увеличить стабильность датчика Холла.

Изобретение допускает автоматизацию изготовлени датчика Холла.

f5

20

25

30

35

Claims

Формула изобретени

Способ изготовлени датчика Холла , включающий изготовление пластины Холла, проведение лазерного реза

40

на пластине Холла при одновременном измерении остаточного напр жени Холла, отличающийс тем, что, с целью повьш1ени точности путем снижени остаточного напр жени Холла и повьштени его стабильности, лазерный рез ведут центра холловского электрода с большим потенциалом остаточного напр жени Холла, начина его перпендикул рно лини м тока и направл в сторону т окового электрода с большим потенциалом, или лазерный рез ведут от центра колловского электрода с меньшим потенциалом остаточного напр жени

50 Холла, начина его перпендикул рно лини м тока и направл в сторону токового электрода с меньшим потенциалом , причем лазерный рез провод т вне активного участка пластины Хол55 ла.

45

752

Подписное