SU1285217A1 - High-vacuum trap of diffusion pump - Google Patents

High-vacuum trap of diffusion pump Download PDF

Info

Publication number
SU1285217A1
SU1285217A1 SU853950576A SU3950576A SU1285217A1 SU 1285217 A1 SU1285217 A1 SU 1285217A1 SU 853950576 A SU853950576 A SU 853950576A SU 3950576 A SU3950576 A SU 3950576A SU 1285217 A1 SU1285217 A1 SU 1285217A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
titanium
diffusion pump
trap
vacuum
heating element
Prior art date
Application number
SU853950576A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Анатолий Александрович Котельников
Анатолий Васильевич Башурин
Анатолий Васильевич Резников
Original Assignee
Курский Политехнический Институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Курский Политехнический Институт filed Critical Курский Политехнический Институт
Priority to SU853950576A priority Critical patent/SU1285217A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1285217A1 publication Critical patent/SU1285217A1/en

Links

Landscapes

  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Description

3. 5.3. 5.

/У/// ////// U /// /////

Вьтод 8odiAl 8odi

ы s

N3N3

Об СПAbout SP

toto

././

Высоковакуумна  ловушка относитс  к вакуумной технике, а именно к устройствам улавливающим масло на входных патрубках вакуумных диффузионных насосов.A high vacuum trap relates to vacuum technology, namely, devices that catch oil at the inlet of vacuum diffusion pumps.

Целью изобретени   вл етс  повышение защитных свойств ловущки.The aim of the invention is to increase the protective properties of the trap.

На чертеже представлена схема высоковакуумной ловушки диффузионного насоса.The drawing shows a diagram of a high vacuum trap diffusion pump.

Ловушка диффузионного насоса 1 содержит охлаждаемый корпус 2, расположенный в нем испаритель титана и нагревательный 10 элемент 3, причем испаритель титана выполнен в виде двух оптически непрозрачных решеток 4 и 5 пластин 6 титана, наклонных к оси корпуса 2 в противоположных направлени х под одинаковыми углами, а нагревательный элемент 3 размещен между решет- ками 4 и 5.The diffusion pump trap 1 contains a cooled case 2, a titanium evaporator located therein and a heating element 10 3, the titanium evaporator being made in the form of two optically opaque grids 4 and 5 of titanium plates 6 inclined to the axis of the case 2 in opposite directions at equal angles and the heating element 3 is located between the gratings 4 and 5.

Высоковакуумна  ловушка работает следующим образом.High vacuum trap works as follows.

При включении нагревательного элеменКроме того, происходит разложение углеводородов на нагретых поверхност х на легко откачиваемые газы, которые частично откачиваютс  диффузионным насосом 1 и частично диффузируют в поток испар емого титана.When the heating element is turned on. In addition, hydrocarbons on the heated surfaces decompose into easily pumped gases, which are partially pumped out by the diffusion pump 1 and partially diffuse into the stream of evaporated titanium.

Образуема  титанова  пленка на охлаждаемой поверхности корпуса ловушки обладает откачивающей способностью, что увеличивает скорость откачки вакуумной системы и улучшает предельный вакуум.Formed titanium film on the cooled surface of the trap body has a pumping capacity, which increases the pumping speed of the vacuum system and improves the ultimate vacuum.

Claims (1)

Формула изобретени Invention Formula Высоковакуумна  ловушка диффузионного насоса, содержаща  охлаждаемый корпус, расположенный в нем испаритель титана и нагревательный элемент, отличающа с  тем, что, с целью повышени  зашит- та 3 кажда  из решеток 4 и 5 образует мо- JQ ных свойств, испаритель титана выполнен лекул рные потоки титана, направленныев виде двух оптически непрозрачных решетокA high vacuum diffusion pump trap, comprising a cooled case, a titanium evaporator located in it and a heating element, characterized in that, in order to increase the protection level 3, each of the grids 4 and 5 forms modular properties; titanium, directed in the form of two optically opaque gratings под углом друг к другу, что обеспечиваетпластин титана, наклоненных к оси корпусаat an angle to each other that provides a titanium plate inclined to the body axis надежную преграду дл  обратного потокав противоположных направлени х под одипаров рабочей жидкости из диффузионногонаковыми углами, а нагревательный элементa reliable barrier to reverse flow in opposite directions under the odipar of the working fluid from diffusion angles, and the heating element насоса 1.размещен между решетками.pump 1. placed between the grids. Кроме того, происходит разложение углеводородов на нагретых поверхност х на легко откачиваемые газы, которые частично откачиваютс  диффузионным насосом 1 и частично диффузируют в поток испар емого титана.In addition, hydrocarbons on heated surfaces are decomposed into easily pumped gases, which are partially pumped out by the diffusion pump 1 and partially diffused into the stream of evaporated titanium. Образуема  титанова  пленка на охлаждаемой поверхности корпуса ловушки обладает откачивающей способностью, что увеличивает скорость откачки вакуумной системы и улучшает предельный вакуум.Formed titanium film on the cooled surface of the trap body has a pumping capacity, which increases the pumping speed of the vacuum system and improves the ultimate vacuum. Формула изобретени Invention Formula
SU853950576A 1985-09-09 1985-09-09 High-vacuum trap of diffusion pump SU1285217A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853950576A SU1285217A1 (en) 1985-09-09 1985-09-09 High-vacuum trap of diffusion pump

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853950576A SU1285217A1 (en) 1985-09-09 1985-09-09 High-vacuum trap of diffusion pump

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1285217A1 true SU1285217A1 (en) 1987-01-23

Family

ID=21196351

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU853950576A SU1285217A1 (en) 1985-09-09 1985-09-09 High-vacuum trap of diffusion pump

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1285217A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 907316, кл. F 04 F 9/06, 1982. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR940020002A (en) Regeneration pump and his casing
ES2035556T3 (en) BOMB OF VOID.
SU1285217A1 (en) High-vacuum trap of diffusion pump
BR0103034A (en) bomb
KR970059505A (en) Oil pump rotor
DK163893C (en) HEAT PUMP
SE8604478L (en) Cryogenic pumps
FI916154A (en) VAETSKERINGPUMP.
SU1244398A1 (en) Diffusion vacuum pump antimigration device
SU706575A1 (en) Vacuum sorbtion trap
JPS5799298A (en) Regenerative pump
RU1820028C (en) Positive-displacement pump
SU1370311A1 (en) Vortex machine
SU1766464A1 (en) Steam trap
SU1232840A1 (en) Sorption trap
SU981704A1 (en) Displacement pump
SU1520268A1 (en) Diffusion pump
SU885616A1 (en) Soil pump
SU879054A1 (en) Method and apparatus for protecting high-vacuum systems
SU879055A1 (en) High-vacuum cryogenic trap
SU1408111A1 (en) Axial-flow pump
SU989168A1 (en) Vapour-stream vacuum pump
SU1317180A2 (en) Louver screen
SU590493A1 (en) Cooled trap
SU1420250A2 (en) Diffusion pump