SU1281310A1

SU1281310A1 - Распылитель с индуцирующим электродом

Info

Publication number: SU1281310A1
Application number: SU853927839A
Authority: SU
Inventors: Михаил Николаевич Белов; Лембит Юханович Виснапуу
Original assignee: Тартуский государственный университет
Priority date: 1985-07-11
Filing date: 1985-07-11
Publication date: 1987-01-07

Abstract

Изобретение относитс к электронно-ионной технологии, касаетс пневматических устройств дл получени электрически зар женных частиц в газовой среде и может примен тьс дл осаждени распьшиваемых веществ на различные поверхности. Цепью изобретени вл етс повьшение стабильности зар дов распыл емых частиц. Цель достигаетс тем, что в распьши- теле с индуцирующим электродом, содержащем корпус с газовым каналом. выполненным из диэлектрического материала , газовый и жидкостньй патрубки, жидкостное сопло с фланцем, индуцирующий электрод, выполненный в виде металлической втулки, цилиндрический канал которой образует с выходной кромкой жидкостного сопла кольцевое газовое сопло, корпус снабжен дополнительным газовым каналом и фильтром, вход которого соединен с газовым патрубком , а выход - с дополнительным газовым каналом. Жидкостное сопло с фланцем выполнено из диэлектрического материала. Фланец имеет сквозные отверсти , сообщающие газовый канал с газовым соплом, а также кольцевые полости, выполненные по обеим его сторонам и сообщающиес каналами между собой. Полость со стороны,, примыкающей к индуцирующему электроду, образует с последним сужающийс кольцевой канал, сообщающийс с газовьй 1 соплом, а полость с другой стороны соединена с дополнительным газовым каналом. 1 ил СП ьэ 00 Од

Description

Изобретение относитс к электронно-ионной технологии, касаетс пневматических устройств дл получени электрически зар женных частиц в газовой среде и может примен тьс дл осаждени распыливаемых веществ на различные поверхности.

Цель изобретени - повьшение стабильности зар дов распыл емых частиц

На чертеже изображен распылитель, общий вид в разрезе.

Распылитель с индуцирующим электродом содержит составной корпус 1 с газовым каналом 2, газовый 3 и жидкостный 4 патрубки, жидкостное сопло 5 с фланцем 6, индуцирующий электрод 7, выполненный в виде металлической втулки, цилиндрический канал 8 которой образует с выходной кромкой жидкостного сопла 5 кольцевое газовое сопло 9, Составной корпус 1 и жидкосное сопло 5 с фланцем 6 выполнены из диэлектрического материала. Корпус 1 распылител снабжен дополнительным газовым каналом 10 и фильтром 11, вход которого соединен с газовым патрубком 3, а выход - с дополнительным газовым каналом 10. Фланец 6 имеет сквозные отверсти 12, сообщающие газовый канал 2 с газовым соплом 9, и кольцевые полости 13 и 14, выполненные по обеим сторонам и сообщающиес каналами 15 между собой. Полость 13 со стороны, примык.ающей к индуцирующему электроду 7, образует с .последним сужающийс кольцевой канал 16, сообщающийс с газовым соплом 9, а полость 14 с другой стороны соединена с дополнительным газовым каналом 10. Распылитель с индуцирующим электродом снабжен также источником 17 высокого напр жени , один вывод которого соединен с индуцирующим электродом 7, а другой - с жидкостным патрубком 4.

Расп ьшитель работает следующим образом.

Сжатый влажный воздух, поступающий в газовый патрубок 3, раздел етс на два потока. Основна часть воздуха поступает в газовый канал 2 и через сквозные отверсти 12 направл етс к газовому соплу 9. Кольцевой струей этот поток воздуха обтекает выходную кромку жидкостного сопла 5 При этом через отверстие сопла 5 эжектируетс жидкость, котора увлекаетс потоком воздуха и дробитс на

o

0

капли . Электрическое поле между индуцирующим электродом 7 и струей распадающейс жидкости поддерживаетс источником 17 высокого напр жени . Вследствие электропроводности жидкости потенциал от патрубка 4 передаетс к месту начала распада жидкости . Зар ды, наведенные электрическим полем индуцирующего электрода 7 на распадающейс жидкости, остаютс на образующихс капл х, обусловлива их электризованность.

Далее поток зар женных капель направл ют на обрабатываемую поверхность. 5 Остальна , значительно меньша часть воздуха из патрубка 3 поступает в фильтр 1 1 , очищаетс от взвешенных мелких частиц пьти, капелек жидкости и через газовый канал 2, кольцевую полость 14 и каналы. 15 поступает в кольцевую полость 13, затем проходит сужающийс кольцевой канал 16, обдува при этом поверхность фланца 6, соедин етс с основным потоком воздуха и поступает в газовое сопло 9, где также участвует в процессе распьтени жидкости. Поток воздуха, обдувающий поверхность фланца 6, защищает ее от загр знени и намокани при длительной работе распылител .

30

Высока стабильность достигаетс за счет хорошего качества изол ции индуцирующего электрода и обеспечиваетс при малых энергетических затратах .

Claims

Формула изобретени

Распылитель с индуцирующим электродом , содержащий корпус с газовым каналом, выполненньй из диэлектрического материала, газовьш ижидкост- ньй патрубки, жидкостное сопло с

фланцем, индуцирующий электрод, выполненньй в виде металлической втулки цилиндрический канал которой образует с выходной кромкой жидкостного сопла кольцевое газовое сопло, о тличающийс тем, что, с целью повышени стабильности зар дов распьш емьк частиц, корпус снабжен дополнительньм газовым каналом и фильтром, вход Которого соединен с

газовым патрубком, а выход - с дополнительным газовым каналом, жидкостное сопло с фланцем выполнено из диэлектрического материала, фла3Г28 3

нец имеет сквозные отверсти , сообщающие газовый канал с газовь&1 соплом , а также кольцевые полости, выполненные по обеим его сторонам и сообщающиес каналами между собой, -5 причем полость со стороны, примыкаю104

щей к индуцирующему электроду, образует с последним сужающийс кольцевой канал, сообщающийс с газовым соплом, а с другой стороны она сообщена с дополнительным газовым каналом .

/