SU1275583A1 - Коллекторна система растрового электронного микроскопа - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к электронно-оптическому приборостроению. Цель - повышение точности электронномикроскопического аналиэа. Коллекторна  система растрового электронного микроскопа содержит пару сцинтшш торов (с) 1 и 2, пару электродов (э) 5 и 6, блок И преобразовани  сигналов , включающий электронный коммута- 1 тор 12, логическое устройство (У) 13, запоминающее У 14. Цель достигаетс  тем, что она снабжена второй парой С 3 и 4 и второй парой Э 7 и 8, при . этом пара С 3 и 4 установлена симметричИо относительно линии расположени  пары С 1 и 2, а пары Э 5 и 6 и 7 и 8 установлены соответственно между парами С 1 h 2 и 3 и 4. Коллекторна  система позвол ет регистрировать вторичные электроны, вылетаю- щие с площадок микронеровностей исследуемого участка объекта, опредег ленным образом ориентированных по азимуту в плоскости объекта, и получить более точную информацию о топологии объекта. 2 ил. ьэ сд СП ОО оэ

Description

Изобретение относитс  к электронно-оптическому приборостроению, в частности к коллекторным системам электронно-зондовых приборов, например электронных микроскопов.

Целью изобретени   вл етс  повышение точности электронно-микроскопического анализа за счет регистрации вторичных электронов по азимутальным направлени м.

На фиг. 1 показана коллекторна  система в электронном микроскопе; на фиг. 2 - то же, вид по злектронноптической оси. Коллекторна  система содержит пер- (5 щадки

вую пару сцинтилл торов 1 и 2, установленных симметрично относительно электронно-оптической оси в перпендикул рной ей плоскости по направлению сканировани  электронного зонда. Втора  пара сцинтилл торов 3 и 4 установлена симметрично относительно линии расположени  первой пары. Пе рва  5 и 6 и втора  7 и 8 пары попарно симметричных электродов установлены соответственно между первой 1 и 2 и второй 3 и 4 парой сцинтилл торов . Сцинтилл торы наход тс  под положительным потенциалом, а пары, электродов - под отрицательным потенциалом и расположены вокруг объекта 10.

Блок 11 преобразовани  сигналов включает электронный коммутатор 12, соединенный с логическим устройством 13, предварительно откапиброванным с помощью эталонных меток с известной ориентацией и наклоном относительно осей сцинтилл торов и соединенным с запоминающим устройством 14

Коллекторна  система работает следующим образом.

Под действием сканирующего электронного зонда с площадками микронероности исследуемого участка объекта, наклоненной, например, в сторону сцинтилл тора 1, вторичные электроны попадают на этот же сцинтшш тор, в результате чего на вход блока 11 преобразовани  поступает сигнал, который используетс  дл  получени  информации о топологии данного исследуемого участка объекта 10. Вторичные электроны с площадки той же микронеровности , наклоненной в сторону сцин тилл тора 2, попадают на этот сцинтилл тор и далее в виде сигнала в блок преобразовани . При зтом сигнал

с этих на сцинтилл торы 3 и 4 отсутствует, так как тормоз щее поле наход щихс  под отрицательным потенциалом пар электродов 5 и 6, 7 и 8 не позвол ет вторичным электронам попасть на эти сцинтилл торы. С микронеровностей, имеющих площадки, наклоненные в сторону сцинтилл торов 3 и 4, по вл етс  сигнал вторичных электронов соответственно на этих сцинтилл торах. При этом тормоз щее поле электродов преп тствует попаданию вторичных электронов с этих площадок на сцинтилл торы 1 и 2. С шюной ориентацией наклона, например, под 45° по отношению к оси пары сцинтилл торов 1 и 2 вторичные электроны попадут на смежные сцинтилл торы 2 и 3, но сигнал на них будет иным, чем . дл  случа  нулевого угла по отношению к оси.

Claims (1)

1. Таким образом, предложенна  коллекторна  система позвол ет регистрировать вторичные электроны, вылетающие с площадок микронеровностей исследуемого участка объекта, определенным образом ориентированных по азимуту в плоскости объекта, и повысить точность регистрации. При зтом поскольку блок 11 преобразовани  предварительно может быть откалиброван на величины сигналов на соответг ствующих сцинтилл торах по углам наклона площадок микронеровностей, то различие в величинах сигналов с различных сцинтилл торов или их нулевые значени  позвол ют получить более точную информацию о топологии объекта. Формула изобретени 

   Коллекторна  система растрового электронного микроскопа, содержаща  пару сцинтилл торов, установленных симметрично относительно электроннооптической оси в перпендикул рной к ней плоскости, отличающа с   тем, что, с целью повьшени  точности электронно-микроскопического анализа за счет регистрации вторичных электронов по азимутальным направлени м , она снабжена второй парой сцинтилл торов, установленных симметрично относительно линии расположени  первой пары сцинтилл торов, и двум  парами симметрично размещенных электродов, чередующихс  с сцинтилл торами первой и второй пар. микронеровиости с промежуточ