SU1272378A1

SU1272378A1 - Способ сборки многозондовой головки

Info

Publication number: SU1272378A1
Application number: SU853875191A
Authority: SU
Inventors: Юрий Алексеевич Львов
Original assignee: Предприятие П/Я М-5046
Priority date: 1985-04-01
Filing date: 1985-04-01
Publication date: 1986-11-23

Abstract

Изобретение относитс к области контрольно-измерительной техники. Цель изобретени - упрощение технологии сборки и повышение ее точности. Она достигаетс тем, что при сборке многозондовой головки зондов каждый из зондов укладывают в сборочное приспособление, размеща отогнутый контактирующий конец 4 в отверстие имитатора топологии провер емой структуры, а тело зонда - на опорном элементе кольцевой формы. Под действием силы т жести зонд устойчиво самоустанавливаетс в пространстве так, что его контактирующие концы лежат в вертикальной плоскости. После этого стержни 3 и опорный элемент скрепл ют в единое целое заливкой диэлектрическим закрепл ющим составом. Способ может быть использован при изготовлении устройств дл контрол полупроводниковых структур на пластине при их производстве. 1 з.п. ф-лы, 3 ил. Ю N3 00 00

Description

Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и может быть использовано при изготовлении устройств дл контрол полупроводниковых структур на пластине при их производстве.

Цель изобретени - упрош,ение технологии сборки многозондовой головки и повышение ее точности.

На фиг.1 представлена сборка многозондовой головки (фрагмент) концами зондов, общий вид; на фиг.2 - конструкци зонда (а) и схемы установки зондов в сборочное приспособление (б, в); на фиг.З а-к - варианты исполнени зондов.

При сборке многозондовой головки концами зондов 1 (фиг.1) последние размещены в отверсти х имитатора 2 топологии провер емой структуры. Тела зондов лежат на опорном элементе кольцевой формы.

На фиг.2а представлена конструкци зонда , выполненного в форме стержн 3 с отогнутым контактирующим концом 4 и дополнительным изгибом 5, лежащим в плоскости , образованной стержнем 3 и отогнутым концом 4.

На фиг.26 и 2е представлены схемы установки зондов в сборочное приспособление. А - точки соприкосновени тела зонда с опорным элементом, В - точки соприкосновени контактного конца с имитатором топологии , С - центр т жести зонда, G - вектор силы веса зонда. Центр т жести зонда С расположен между точками А и В и ниже линии, их соедин ющей.

На фиг.За-и представлены конструктивные варианты исполнени зондов с изгибом; на фиг.Зк - вариант исполнени зонда с дополнительным грузом 6.

Сборка многозондовой головки осуществл етс следующим образом.

Зонды укладывают в сборочное приспособление так, как показано на фиг.1. При этом они под действием силы т жести устойчиво самоустанавливаютс в пространстве так, что их контактирующие концы лежат в вертикальных плоскост х.

После этого стержни зондов и опорный элемент скрепл ют в единое целое заливкой диэлектрическим закрепл ющим составом . Эффект упрощени технологии сборки и повышени ее точности достигаетс за счет самоустановки контактирующих концов зондов в вертикальных плоскост х.

Claims

1. Способ сборки многозондовой головки из зондов, выполненных в форме стержневого тела с отогнутым контактирующим концом, включающий установку контактирующих концов зондов до упора в дно глу , хих отверстий, выполненных в шаблоне в соответствии с контактными площадками, провер емой структуры, и установку стержней зондов на опорном элементе кольцевой формы с последующей заливкой стержней зондов и опорного элемента диэлектри0 ческим закрепл ющим составом, отличающийс тем, что, с целью упрощени технологии сборки и повышени ее точности, перед установкой зондов на опорном элементе осуществлено не менее одного изгиба стержн каждого зонда в плоскости, образованной стержнем и отогнутым контактным концом в сторону пр мой, проведенной между точкой соприкосно:5ени стержн с опорным элементом и точкой соприкосновени контактного конца с 1паблоном, до размещени центра т жести зонда между указанными точками и ниже указанной пр мой .

2. Способ по п. 1, отличающийс тем, что на стержне зонда устанавливают дополнительный груз, центр т жести которого расC положен в плоскости, образованной стержнем и отогнутым контактным концом, гюичем массу груза подбирают такой, чтобы приведенпый центр т жести систе 11 1 зоп -груз был расположен между точкой соприкосновени стержн с опорным элементом и

точкой соприкосновени контактного конца с шаблоном и ниже пр мой, проведенной между этими точками.

Фиг. 2

Ч

е ж

} 1Г

г