SU1272378A1 - Способ сборки многозондовой головки - Google Patents
Способ сборки многозондовой головки Download PDFInfo
- Publication number
- SU1272378A1 SU1272378A1 SU853875191A SU3875191A SU1272378A1 SU 1272378 A1 SU1272378 A1 SU 1272378A1 SU 853875191 A SU853875191 A SU 853875191A SU 3875191 A SU3875191 A SU 3875191A SU 1272378 A1 SU1272378 A1 SU 1272378A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- probe
- rod
- contact
- probes
- point
- Prior art date
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к области контрольно-измерительной техники. Цель изобретени - упрощение технологии сборки и повышение ее точности. Она достигаетс тем, что при сборке многозондовой головки зондов каждый из зондов укладывают в сборочное приспособление, размеща отогнутый контактирующий конец 4 в отверстие имитатора топологии провер емой структуры, а тело зонда - на опорном элементе кольцевой формы. Под действием силы т жести зонд устойчиво самоустанавливаетс в пространстве так, что его контактирующие концы лежат в вертикальной плоскости. После этого стержни 3 и опорный элемент скрепл ют в единое целое заливкой диэлектрическим закрепл ющим составом. Способ может быть использован при изготовлении устройств дл контрол полупроводниковых структур на пластине при их производстве. 1 з.п. ф-лы, 3 ил. Ю N3 00 00
Description
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и может быть использовано при изготовлении устройств дл контрол полупроводниковых структур на пластине при их производстве.
Цель изобретени - упрош,ение технологии сборки многозондовой головки и повышение ее точности.
На фиг.1 представлена сборка многозондовой головки (фрагмент) концами зондов, общий вид; на фиг.2 - конструкци зонда (а) и схемы установки зондов в сборочное приспособление (б, в); на фиг.З а-к - варианты исполнени зондов.
При сборке многозондовой головки концами зондов 1 (фиг.1) последние размещены в отверсти х имитатора 2 топологии провер емой структуры. Тела зондов лежат на опорном элементе кольцевой формы.
На фиг.2а представлена конструкци зонда , выполненного в форме стержн 3 с отогнутым контактирующим концом 4 и дополнительным изгибом 5, лежащим в плоскости , образованной стержнем 3 и отогнутым концом 4.
На фиг.26 и 2е представлены схемы установки зондов в сборочное приспособление. А - точки соприкосновени тела зонда с опорным элементом, В - точки соприкосновени контактного конца с имитатором топологии , С - центр т жести зонда, G - вектор силы веса зонда. Центр т жести зонда С расположен между точками А и В и ниже линии, их соедин ющей.
На фиг.За-и представлены конструктивные варианты исполнени зондов с изгибом; на фиг.Зк - вариант исполнени зонда с дополнительным грузом 6.
Сборка многозондовой головки осуществл етс следующим образом.
Зонды укладывают в сборочное приспособление так, как показано на фиг.1. При этом они под действием силы т жести устойчиво самоустанавливаютс в пространстве так, что их контактирующие концы лежат в вертикальных плоскост х.
После этого стержни зондов и опорный элемент скрепл ют в единое целое заливкой диэлектрическим закрепл ющим составом . Эффект упрощени технологии сборки и повышени ее точности достигаетс за счет самоустановки контактирующих концов зондов в вертикальных плоскост х.
Claims (2)
1. Способ сборки многозондовой головки из зондов, выполненных в форме стержневого тела с отогнутым контактирующим концом, включающий установку контактирующих концов зондов до упора в дно глу , хих отверстий, выполненных в шаблоне в соответствии с контактными площадками, провер емой структуры, и установку стержней зондов на опорном элементе кольцевой формы с последующей заливкой стержней зондов и опорного элемента диэлектри0 ческим закрепл ющим составом, отличающийс тем, что, с целью упрощени технологии сборки и повышени ее точности, перед установкой зондов на опорном элементе осуществлено не менее одного изгиба стержн каждого зонда в плоскости, образованной стержнем и отогнутым контактным концом в сторону пр мой, проведенной между точкой соприкосно:5ени стержн с опорным элементом и точкой соприкосновени контактного конца с 1паблоном, до размещени центра т жести зонда между указанными точками и ниже указанной пр мой .
2. Способ по п. 1, отличающийс тем, что на стержне зонда устанавливают дополнительный груз, центр т жести которого расC положен в плоскости, образованной стержнем и отогнутым контактным концом, гюичем массу груза подбирают такой, чтобы приведенпый центр т жести систе 11 1 зоп -груз был расположен между точкой соприкосновени стержн с опорным элементом и
точкой соприкосновени контактного конца с шаблоном и ниже пр мой, проведенной между этими точками.
Фиг. 2
Ч
е ж
} 1Г
г
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853875191A SU1272378A1 (ru) | 1985-04-01 | 1985-04-01 | Способ сборки многозондовой головки |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853875191A SU1272378A1 (ru) | 1985-04-01 | 1985-04-01 | Способ сборки многозондовой головки |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1272378A1 true SU1272378A1 (ru) | 1986-11-23 |
Family
ID=21169830
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU853875191A SU1272378A1 (ru) | 1985-04-01 | 1985-04-01 | Способ сборки многозондовой головки |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1272378A1 (ru) |
-
1985
- 1985-04-01 SU SU853875191A patent/SU1272378A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Установка сборки контактных устройств ЭМ-947 2.245.002 ТО. Патент US № 3835381, кл. 324-158р, 1974. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US2721919A (en) | Electric transducer | |
SU1272378A1 (ru) | Способ сборки многозондовой головки | |
US3893342A (en) | Accelerometer | |
US7270008B1 (en) | Inertial testing method and apparatus for wafer-scale micromachined devices | |
KR101864869B1 (ko) | 진동 에너지 수확 장치의 배관 고정을 위한 구조물 및 그 고정 방법 | |
SU1328708A1 (ru) | Стенд дл исследовани аэродинамической св зности колебаний лопаток плоской решетки | |
SU1430767A1 (ru) | Пьезоэлектрический преобразователь силы | |
SU1647221A1 (ru) | Устройство дл измерени контура поверхности детали | |
SU551565A1 (ru) | Пьезоэлектрический акселерометр | |
SU1103314A1 (ru) | Датчик дл измерени давлени щетки на коллектор электрической машины | |
JPH0723724Y2 (ja) | 定荷重試験機の荷重設定装置 | |
US6424167B1 (en) | Vibration resistant test module for use with semiconductor device test apparatus | |
SU1453475A1 (ru) | Сканирующий туннельный микроскоп | |
SU1343368A1 (ru) | Сейсмоприемник | |
SU1689787A1 (ru) | Устройство дл испытани тройников | |
SU1346981A1 (ru) | Устройство дл определени капилл рных свойств пористого материала | |
SU605127A1 (ru) | Устройство дл измерени и регистрации усилий, действующих на провод | |
SU1404853A1 (ru) | Датчик давлени | |
SU1511583A1 (ru) | Контактный сферометр | |
JPS6180028A (ja) | セラミツク変位試験装置 | |
SU1350246A1 (ru) | Установка дл сдвиговых испытаний грунта | |
SU1492333A1 (ru) | Пьезоэлектрический сейсмоприемник | |
SU1310929A1 (ru) | Щуп дл вольт-амперного измерительного прибора | |
SU1486829A1 (ru) | Стенд для испытания оболочечных конструкций на прочность | |
SU750301A1 (ru) | Гидроакустический пульсатор дл проверки датчиков давлени |