SU1272105A1 - Лазерный интерферометр дл измерени динамических деформаций образцов - Google Patents

Лазерный интерферометр дл измерени динамических деформаций образцов Download PDF

Info

Publication number
SU1272105A1
SU1272105A1 SU833672215A SU3672215A SU1272105A1 SU 1272105 A1 SU1272105 A1 SU 1272105A1 SU 833672215 A SU833672215 A SU 833672215A SU 3672215 A SU3672215 A SU 3672215A SU 1272105 A1 SU1272105 A1 SU 1272105A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
interferometer
measuring
photodetector
fixed
light beam
Prior art date
Application number
SU833672215A
Other languages
English (en)
Inventor
Анатолий Наумович Кравец
Original Assignee
Ковровский филиал Владимирского политехнического института
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ковровский филиал Владимирского политехнического института filed Critical Ковровский филиал Владимирского политехнического института
Priority to SU833672215A priority Critical patent/SU1272105A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1272105A1 publication Critical patent/SU1272105A1/ru

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к исследованию деформа1у1й оптическими методами . Его цель - повышение точности измерени  за счет увеличени  оптической разности хода эталонного и рабочего лучей интерферометра. Интерферометр содержит два уголковых отражател  8 и 9, закрепленных на торцах измерительных штоков 5 и 6. Два зеркала 10 и 13 закреплены напротив соответствующих уголковых отражателей а и 9. Устройство работает следующим образом-. Часть светового излучени  от источника 1 идет в рабочее , а друга  - в эталонные плечи интерферометра. В рабочем плече интерферометра излучение.падает на уголковый отражатель 8 и после отражени  от него с помощью зеркал 10, 11, 12 и 13 направл етс  на другой уголковый отражатель 9. При деформаци х образца 7 измен етс  расСЛ сто ние между уголковыми отражател ми 8 и 9, что вызывает изменение интерференционной картины, регистрируемой фотоприемником 17. 1 ил.

Description

ОсШЬх

Claims (1)

  1. п И Изобретение относитс  к измкре-нию деформаций оптическими методами Цель изобретени  повышение точ нос-ти измерени  за счет увеличе ни  оптической разности хода эталонного и рабочего лучей интерферометра. На чертеже показана схема лазерного интерферометра дл  измерени  динамических деформаций образцов. Лазерный интерферометр дл  измер ни  динамических деформаций содержит основание 1, установленный на нем источник 2 монохроматического излучени  и расположенный по ходу светового пучка светоделитель 3,зер кало А, образующее эталонное плечо интерферометраJ два измерительных штока 5 и 6, подпружиненнь1е в осево направлении, одни торцы которых предназначены дл  установки на образец , 7, два,уголковых отражател  8 и 9) закрепленные на торцах измерительных штоков 5 и 6, п ть зеркал 0-i 4j , закрепленные на основании по ходу светового пучка, два из которых 10 и 13 закреплены напротив соответствующих уголковых отражателей 8 и 9, образуюшик рабочее плечо интерферометраJ коллиматор 15 диафрагму 16, фотоприемник М и соеди ненную с ним электронную схему 18 обработки. Устройство работает следующим образом. Световой пучок монохроматичееско го излучени  от источника 2 направл етс  на светоделитель 3,, где раздел етс  на две части. Часть излуче ни  направл етс  на неподвижное зер кало 4;, закрепленное на си;новании 1 которое образует эталонное ин терферометрад отражаетс  от него и через коллиматор 15, диафрагму 16 падает на фотоприемник 17, где взаимодействует с другой частью излуче ни , котора  проходит через све то-двлитель 3, падает на уголковый отр жатель 8j закрепленный на одном измерительном штоке 55 отражаетс  от HerOj с помощью зеркал направл етс  на уголковый отражатель 9, закрепленный на торце другого из мерительного штока 6 и, отража сь о зеркала 14, неподвижно закрепленного на основании 1. проходит по тому же оптическому пути обратно от светоделител  3, отражаетс  от него и через коллиматор 15 и диафрагму 16 попадает на фотоприемник 7, вз 5 имодействует с пучком эталонного изучени  и образует интерференционную картину. При динамических деформаци х образца 7 измен етс  рассто ние между уголковыми отражател ми 8 и 9,закрепленными на торцах измерительных штоков 5 и 6, что зызьшает движение интерференционной картины на фотоприемнике 17, который регистрирует эти изменени  с помощью электронной измерительной схемы i8. Движение недеформированного объекта не вызывает изменени  интерференционной картины , так как уголковые отражатели 8 и 9 смещаютс  и компенсируют смещение друг друга. Предлагаемое устройство испытывали с применением Не-Ке лазера (А 0,63 мкм). Объектом измере ш  служила труба, в которой резко мен ли напор жидкости. Сигналы фотоприемника регистрировали запоминающим осциллографом ,, Оптические путиэталонного и рабочего лучей до начала измерений устанавлив.ши одинаковыми с точностью до 1 мм. Из услови  максимума интерференции дл  предлагаемого устройства , где i - пор док интерференции, следует, что ./4, а смена максимума на минимум происходит при . Учитыва  изменение интенсивности в интерференционной полосе, можно измер ть деформацию д нм. При временном разрещении регистрирующей аппаратуры Т 10® с мсэжно измер ть скорость деформации до V --г: 8 м/с. Частота вибраций объекта, при которой может работать интерферометр, должна быть меньще резонансной частоты колебаний измерительных штоков, определ емой их массой и упругими свойствами пружины (до 10 кГц), Допустимые амплитуды вибрации объекта ограничены длиной свободного хода измерительш: 1х штоков, а максимальна  величина измер емой деформации ограничена длиной когерентности излучени  лазера. Дл  достижени  наибольшей видности. интерференционной картины эталонный и рабочий лучи должны иметь одинаковую пол ризацию и интенсивность. Формула изобретени  Лазерный интерферометр дл  измерени  динамических деформаций образ3127
    цов, содержащий основание, установленные на нем источник монохроматического излучени  и расположенный по ходу светового пучка светоделитель , зеркало, образующее эталонное плечо интерферометра, три зеркала, образующие рабочее плечоинтерферометра и неподвижно закрепленные на основании по ходу светового пучка, два подпружиненных в осевом направлении измерительных штока, одни торцы которых предназначены дл  установки на образец, два отражательных зле5 ,4
    мента, закрепленных на других торцах каждого измерительного штока, коллиматор , диафрагму, фотоприемник и соединенную с ним электронную схему обработки, отличающийс  тем, что, с целью повьщтени  точности, каждый отражательньга элемент выполнен в виде уголкового отражател ,а интерферометр снабжен двум  зеркалами , каждое из которых закреплено на основании по ходу светового пучка перед соответствующим уголковым отражателем .
SU833672215A 1983-11-30 1983-11-30 Лазерный интерферометр дл измерени динамических деформаций образцов SU1272105A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833672215A SU1272105A1 (ru) 1983-11-30 1983-11-30 Лазерный интерферометр дл измерени динамических деформаций образцов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833672215A SU1272105A1 (ru) 1983-11-30 1983-11-30 Лазерный интерферометр дл измерени динамических деформаций образцов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1272105A1 true SU1272105A1 (ru) 1986-11-23

Family

ID=21092727

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU833672215A SU1272105A1 (ru) 1983-11-30 1983-11-30 Лазерный интерферометр дл измерени динамических деформаций образцов

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1272105A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Автометри . АН СССР, Сиб.отд. 1970, № 2, с. 67-69. Авторское свидетельство СССР № 958851, кл. G 01 В 11/161, 1982. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4948253A (en) Interferometric surface profiler for spherical surfaces
EP0094835A1 (en) Apparatus for investigation of a surface
US5369488A (en) High precision location measuring device wherein a position detector and an interferometer are fixed to a movable holder
JP2004530898A (ja) 非球面表面および波面に対する干渉計スキャニング
US6894788B2 (en) Interferometric system for automated radius of curvature measurements
US4707137A (en) Device and method for testing the wave front quality of optical components
CN104296676A (zh) 基于低频差声光移频器移相的外差点衍射干涉仪
US4747688A (en) Fiber optic coherence meter
US4509858A (en) Compact, linear measurement interferometer with zero abbe error
US5952554A (en) Method for testing frequency response characteristics of laser displacement/vibration meters
SU1272105A1 (ru) Лазерный интерферометр дл измерени динамических деформаций образцов
Joyeux et al. Real time measurement of angström order transverse displacement or vibrations, by use of laser speckle
US4714346A (en) Frequency chirped interferometric displacement sensors and mechanical translation tips therefor
US3232165A (en) Interferometer having plural slit source
JPH095018A (ja) 移動量測長装置
SU1270555A1 (ru) Лазерный интерферометр дл измерени динамических деформаций
JP2592254B2 (ja) 変位量及び変位速度の測定装置
RU2815604C1 (ru) Оптическая система формирования изображения кодирующей структуры измерительной шкалы
SU1196686A1 (ru) Система компенсации угловых смещений объекта дл двухлучевых интерференционных измерителей перемещений
SU761847A1 (ru) Устройство для бесконтактного измерения линейных перемещений и резонансных частот изделий 1
SU1578456A1 (ru) Устройство дл многократных отражений в двухлучевом интерферометре
SU1236313A1 (ru) Интерференционный способ регистрации нулевого положени сканирующего зеркала и устройство дл его осуществлени
RU1770739C (ru) Устройство дл измерени угловых перемещений объекта
SU1464046A1 (ru) Устройство дл измерени амплитуды угловых колебаний
SU911168A1 (ru) Оптический виброметр