SU1272105A1 - Лазерный интерферометр дл измерени динамических деформаций образцов - Google Patents
Лазерный интерферометр дл измерени динамических деформаций образцов Download PDFInfo
- Publication number
- SU1272105A1 SU1272105A1 SU833672215A SU3672215A SU1272105A1 SU 1272105 A1 SU1272105 A1 SU 1272105A1 SU 833672215 A SU833672215 A SU 833672215A SU 3672215 A SU3672215 A SU 3672215A SU 1272105 A1 SU1272105 A1 SU 1272105A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- interferometer
- measuring
- photodetector
- fixed
- light beam
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к исследованию деформа1у1й оптическими методами . Его цель - повышение точности измерени за счет увеличени оптической разности хода эталонного и рабочего лучей интерферометра. Интерферометр содержит два уголковых отражател 8 и 9, закрепленных на торцах измерительных штоков 5 и 6. Два зеркала 10 и 13 закреплены напротив соответствующих уголковых отражателей а и 9. Устройство работает следующим образом-. Часть светового излучени от источника 1 идет в рабочее , а друга - в эталонные плечи интерферометра. В рабочем плече интерферометра излучение.падает на уголковый отражатель 8 и после отражени от него с помощью зеркал 10, 11, 12 и 13 направл етс на другой уголковый отражатель 9. При деформаци х образца 7 измен етс расСЛ сто ние между уголковыми отражател ми 8 и 9, что вызывает изменение интерференционной картины, регистрируемой фотоприемником 17. 1 ил.
Description
ОсШЬх
Claims (1)
- п И Изобретение относитс к измкре-нию деформаций оптическими методами Цель изобретени повышение точ нос-ти измерени за счет увеличе ни оптической разности хода эталонного и рабочего лучей интерферометра. На чертеже показана схема лазерного интерферометра дл измерени динамических деформаций образцов. Лазерный интерферометр дл измер ни динамических деформаций содержит основание 1, установленный на нем источник 2 монохроматического излучени и расположенный по ходу светового пучка светоделитель 3,зер кало А, образующее эталонное плечо интерферометраJ два измерительных штока 5 и 6, подпружиненнь1е в осево направлении, одни торцы которых предназначены дл установки на образец , 7, два,уголковых отражател 8 и 9) закрепленные на торцах измерительных штоков 5 и 6, п ть зеркал 0-i 4j , закрепленные на основании по ходу светового пучка, два из которых 10 и 13 закреплены напротив соответствующих уголковых отражателей 8 и 9, образуюшик рабочее плечо интерферометраJ коллиматор 15 диафрагму 16, фотоприемник М и соеди ненную с ним электронную схему 18 обработки. Устройство работает следующим образом. Световой пучок монохроматичееско го излучени от источника 2 направл етс на светоделитель 3,, где раздел етс на две части. Часть излуче ни направл етс на неподвижное зер кало 4;, закрепленное на си;новании 1 которое образует эталонное ин терферометрад отражаетс от него и через коллиматор 15, диафрагму 16 падает на фотоприемник 17, где взаимодействует с другой частью излуче ни , котора проходит через све то-двлитель 3, падает на уголковый отр жатель 8j закрепленный на одном измерительном штоке 55 отражаетс от HerOj с помощью зеркал направл етс на уголковый отражатель 9, закрепленный на торце другого из мерительного штока 6 и, отража сь о зеркала 14, неподвижно закрепленного на основании 1. проходит по тому же оптическому пути обратно от светоделител 3, отражаетс от него и через коллиматор 15 и диафрагму 16 попадает на фотоприемник 7, вз 5 имодействует с пучком эталонного изучени и образует интерференционную картину. При динамических деформаци х образца 7 измен етс рассто ние между уголковыми отражател ми 8 и 9,закрепленными на торцах измерительных штоков 5 и 6, что зызьшает движение интерференционной картины на фотоприемнике 17, который регистрирует эти изменени с помощью электронной измерительной схемы i8. Движение недеформированного объекта не вызывает изменени интерференционной картины , так как уголковые отражатели 8 и 9 смещаютс и компенсируют смещение друг друга. Предлагаемое устройство испытывали с применением Не-Ке лазера (А 0,63 мкм). Объектом измере ш служила труба, в которой резко мен ли напор жидкости. Сигналы фотоприемника регистрировали запоминающим осциллографом ,, Оптические путиэталонного и рабочего лучей до начала измерений устанавлив.ши одинаковыми с точностью до 1 мм. Из услови максимума интерференции дл предлагаемого устройства , где i - пор док интерференции, следует, что ./4, а смена максимума на минимум происходит при . Учитыва изменение интенсивности в интерференционной полосе, можно измер ть деформацию д нм. При временном разрещении регистрирующей аппаратуры Т 10® с мсэжно измер ть скорость деформации до V --г: 8 м/с. Частота вибраций объекта, при которой может работать интерферометр, должна быть меньще резонансной частоты колебаний измерительных штоков, определ емой их массой и упругими свойствами пружины (до 10 кГц), Допустимые амплитуды вибрации объекта ограничены длиной свободного хода измерительш: 1х штоков, а максимальна величина измер емой деформации ограничена длиной когерентности излучени лазера. Дл достижени наибольшей видности. интерференционной картины эталонный и рабочий лучи должны иметь одинаковую пол ризацию и интенсивность. Формула изобретени Лазерный интерферометр дл измерени динамических деформаций образ3127цов, содержащий основание, установленные на нем источник монохроматического излучени и расположенный по ходу светового пучка светоделитель , зеркало, образующее эталонное плечо интерферометра, три зеркала, образующие рабочее плечоинтерферометра и неподвижно закрепленные на основании по ходу светового пучка, два подпружиненных в осевом направлении измерительных штока, одни торцы которых предназначены дл установки на образец, два отражательных зле5 ,4мента, закрепленных на других торцах каждого измерительного штока, коллиматор , диафрагму, фотоприемник и соединенную с ним электронную схему обработки, отличающийс тем, что, с целью повьщтени точности, каждый отражательньга элемент выполнен в виде уголкового отражател ,а интерферометр снабжен двум зеркалами , каждое из которых закреплено на основании по ходу светового пучка перед соответствующим уголковым отражателем .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833672215A SU1272105A1 (ru) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | Лазерный интерферометр дл измерени динамических деформаций образцов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833672215A SU1272105A1 (ru) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | Лазерный интерферометр дл измерени динамических деформаций образцов |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1272105A1 true SU1272105A1 (ru) | 1986-11-23 |
Family
ID=21092727
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU833672215A SU1272105A1 (ru) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | Лазерный интерферометр дл измерени динамических деформаций образцов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1272105A1 (ru) |
-
1983
- 1983-11-30 SU SU833672215A patent/SU1272105A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Автометри . АН СССР, Сиб.отд. 1970, № 2, с. 67-69. Авторское свидетельство СССР № 958851, кл. G 01 В 11/161, 1982. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4948253A (en) | Interferometric surface profiler for spherical surfaces | |
EP0094835A1 (en) | Apparatus for investigation of a surface | |
US5369488A (en) | High precision location measuring device wherein a position detector and an interferometer are fixed to a movable holder | |
JP2004530898A (ja) | 非球面表面および波面に対する干渉計スキャニング | |
US6894788B2 (en) | Interferometric system for automated radius of curvature measurements | |
US4707137A (en) | Device and method for testing the wave front quality of optical components | |
CN104296676A (zh) | 基于低频差声光移频器移相的外差点衍射干涉仪 | |
US4747688A (en) | Fiber optic coherence meter | |
US4509858A (en) | Compact, linear measurement interferometer with zero abbe error | |
US5952554A (en) | Method for testing frequency response characteristics of laser displacement/vibration meters | |
SU1272105A1 (ru) | Лазерный интерферометр дл измерени динамических деформаций образцов | |
Joyeux et al. | Real time measurement of angström order transverse displacement or vibrations, by use of laser speckle | |
US4714346A (en) | Frequency chirped interferometric displacement sensors and mechanical translation tips therefor | |
US3232165A (en) | Interferometer having plural slit source | |
JPH095018A (ja) | 移動量測長装置 | |
SU1270555A1 (ru) | Лазерный интерферометр дл измерени динамических деформаций | |
JP2592254B2 (ja) | 変位量及び変位速度の測定装置 | |
RU2815604C1 (ru) | Оптическая система формирования изображения кодирующей структуры измерительной шкалы | |
SU1196686A1 (ru) | Система компенсации угловых смещений объекта дл двухлучевых интерференционных измерителей перемещений | |
SU761847A1 (ru) | Устройство для бесконтактного измерения линейных перемещений и резонансных частот изделий 1 | |
SU1578456A1 (ru) | Устройство дл многократных отражений в двухлучевом интерферометре | |
SU1236313A1 (ru) | Интерференционный способ регистрации нулевого положени сканирующего зеркала и устройство дл его осуществлени | |
RU1770739C (ru) | Устройство дл измерени угловых перемещений объекта | |
SU1464046A1 (ru) | Устройство дл измерени амплитуды угловых колебаний | |
SU911168A1 (ru) | Оптический виброметр |