SU1260697A1 - Эллипсометр дл измерени толщины поверхностных слоев и оптических свойств образцов - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике, св занной с оптическими методами из.мерени  оптических свойств изотропных и анизотропных ОДНОС.ЮИНЫХ и МНОГ()СЛО11ных отражающих систе.м. Цель 113()О) ни  - повышение удобства в работе и возможность проведени  измерений на любых изотропных и анизотропных от|К1 1 аю1цих системах при любых бол1)111их уг.чах падени  вплоть до 90°. CyniHOCTb изобретени  зак.чю- чаетс  в том, что в э. 1.1инсо% стре л. 1  li.iMC- рени  толщины и оптических cBoiicr-ri ойрал цов, содержаигем тубус падающс ciier;; и тубус отраженного света, устанои.юипыо под угло.м дру1 к дру1 у, и кювет дл  размещени  образца, оптические окна расположены на торцах тубх сон. o6| iaiucii ibi ix кювете , тубусы герметично iipiiKfieih ioiib: к NUii - ко гофрировапныл стенкам кюнс Т,, д/ю которой жестко зак| )ег1,1е;1о на про.тмотном сто.1пке. I H.i. ю К5 С5 О 05 со

Description

Изобретение относит(;  к измерительной технике, св занной с оптическими методами измерени  оптических свойств изотропных и анизотропных однослойных и многослойных отражающих систем.

Целью изобретени   вл етс  расширение области применени  на проведение иммерсионных измерений при больших углах падени  света.

На чертеже изображена принципиальна  схема эллипсометра.

Эллипсометр содержит тубус 1 падающего света и тубус 2 отраженного света, крыщ- ки 3 и 4, полые трубки 5 и 6, вставленные в направл ющие втулки 7 и 8 каждого из тубусов , оптические окна 9 и 10 из плавленного кварца прикрепленные к торцу каждого тубуса, м гко гофрированную кювету 11 с дном 12 дл  размещени  образца 13. Кювета расположена на предметном столике 14 и жестко с ним соединена. На дне кюветы имеетс  отверстие со штуцером, который соединен с резиновым резервуаром 15 с помощью щланга 16, причем последний может пережиматьс  зажимом 17. В резервуаре 15 помещена иммерсионна  жидкость 18. Крыщ- ка 19 (с отводной трубкой 20 и зажимом 21 на ней) закрывает кювету при работе с ток- сичными жидкост ми.

Эллипсометр работает следующим образом .

Во врем  измерений на воздухе иммерсионна  жидкость 18 находитс  в резервуа- ре 15, а щланг 16 пережат зажимом 17. При необходимости иммерсионных измерений зажим 17 снимают, жидкость из резер

вуара 15 вытесн ют в кювету таким образом, чтобы ее уровень находилс  выще оптических окон 9 и 10. Затем измерение проводитс  по обычной методике как на воздухе, что обеспечиваетс  м гко гофрированными стенками кюветы.

При увеличении угла падени  гофрированные боковые стенки кюветы сжимаютс , в противоположном случае - разжимаютс . Избыток воздуха под крыщкой 19 отводитс  с помощью отводной трубки 20 при открытом положении зажима 21. Описанна  процедура в любой жидкости занимает примерно такое же врем , как и на воздухе. Кроме того, отсутствие ограничени  на диаметр кюветы обеспечивает удобную настройку образца к падающему и отраженному световому пучку.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Эллипсометр дл  измерени  толщины поверхностных слоев и оптических свойств образцов, содержащий тубус падающего света и тубус отраженного света, установленные под углом друг к другу, кювету дл  размещени  образцов, расположенные на торцах тубусов, обращенных к кювете, оптические окна, предметный столик, отличающийс  тем, что, с целью обеспечени  применени  дл  иммерсионных измерений при больщих углах падени  света, стенки кюветы выполнены м гко гофрированными, тубусы герметично прикреплены к ним, а дно кюветы жестко закреплено на предметном столике.

   12

   Составитель В. Яков.лев

   Редактор Н. ГорватТехред И. ВересКорректор Т. Колб

   Заказ f)216/37Тираж 778Подписное

   ВНИИПИ Государственного комитета СССР

   по делам изобретений и открытий

   113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5

   Филиал ППП «Патент, г. Ужгород, ул. Проектна , 4