SU1260681A1

SU1260681A1 - Интерференционное измерительное устройство

Info

Publication number: SU1260681A1
Application number: SU843703916A
Authority: SU
Inventors: Игорь Петрович Гуров
Original assignee: Предприятие П/Я А-1742
Priority date: 1984-02-27
Filing date: 1984-02-27
Publication date: 1986-09-30

Abstract

Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и может быть использовано при контроле длин и перемещений. Цель изобретени - повьппение точности измерений за счет уменьшени погрешностей от апумов и флуктуации. Устройство устранить вли ние нестаби, -ности угла наклона интерференционных полос и фазовьгх помех в оптическом интерферометре 1 путем усреднени изменений разности фаз по полю изображени , осуществл емого цепочкой из соединенных последовательно преобразователей 2 в виде матрицы, блока 3 измерени разности фаз и блока 5 усреднени . 2 ил. Фср иг.1

Description

Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и может быть использовано при контроле и перемещений.

Целью изобретени вл етс повышение точности измерени за счет уменьшени погрешностей от шумов и флуктуации.

На фиг. 1 представлена блок-схема устройства; на фиг. 2 - функции распределени разности фаз по полю изображени , изменени распределени разности фаз и их среднее значение.

Устройство содержит оптический сканирующий интерферометр 1, установленный па его выходе фотоэлектрический преобразователь 2, подключен- ньй к нему блок 3 измер-ени разности фаз и опорный генератор 4, св занный со сканирующим интерферометром 1 и блоком 3 измерени разности фаз. Фотоэлектрический преобразователь 2 выполнен в виде позиционно- чувствительной матрицы, блок 3 измерени разности фаз выполнен многоканальным , устройство имеет также блок 5 усреднени изменений разности фаз, входы которого подключены к выходам блока 3 измерени разности фаз.

Устройство работает следующим образом.

В (птическом сканирующем интерферометре 1 формируетс движуща с интерференционна картина в соответствий с сигналом опорного генератора 4, котора воспринимаетс фотоэлектрическим преобразователем 2. Интенсивность света преобразуетс в электрический сигнал независимо в каждой фоточувствительной чейке матрицы фотоэлектрического преобразовател 2 Размеры всего пол зрени фотоэлектрического преобразовател 2 близки к диаметру D выходного пучка оптического сканирующего интерферометра 1, а кажда фоточувствительна чейка имеет размер d, определ емьй соотношением d 0,5 ,,,, где В - минимальна ожидаема величина ширины интерференционной полосы. Сигнал от каждой чейки поступает в блок 3 измерени разности фаз, в котором определ етс фазовый сдвиг этого сиг

нала по отношению к сигналу опорного генератора 4. Дл этого блок 3 измерени разности фаз выполнен многоканальным , например в виде набора фазовых детекторов по числу фоточувствительных чеек матрицы преобразовател 2. При перемещении объекта измен ютс значени разности фаз на выходах блока 3 измерени разности фаз дл различных точек интерференционной картины. Эти изменени накапливаютс от точки к точке и усредн ютс в блоке 5 усреднени изменений разности фаз, например путем их суммировани и делени полученной суммы на число фоточувствительных чеек. При этом определ етс среднее значение изменений разности фаз по полю изображени .

Среднее значение изменений разности фаз ДФррНе зависит от угла наклона функций распределени дФ,, АФ

А S

ДФр и, следовательно, от изменений

угла наклона. В указанном примере эти изменени в одном случае соответствуют разности АФ5 - АФ(, а в другом лФв - АФд. При усреднении получаем в обоих случа х д Ф,, ЛФ2 - АФ, .

Claims

Формула изобретени

Интерференционное измерительное устройство, содержащее оптический сканирующий интерферометр, фотоэлектрический преобразователь, установленный на его выходе, блок измерени разности фаз, подкпюченньш к фотоэлектрическому преобразователю, и опорньй генератор, св занный со ска- нирукнцим интерферометром и с блоком

измерени разности фаз, о-т л и ч а- ю щ е е с тем, что, с целью повышени точности измерени , оно снабжено блоком усреднени изменений разности фаз, фотоэлектрический преобразователь выполнен в виде позици- . онно-чувствительной матрицы, блок измерени разности фаз вьтолнен многоканальным, число каналов равно числу чеек матрицы фотоэлектрического преобразовател , а блок усреднени подключен к выходам каналов блока измерени разности фаз.

4Ф

ЛФ -ЛФА

лФв-лФл

Редактор Н.Горват

Заказ 5214/36 Тираж 670 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предпри тие, г.Ужгород, ул.Проектна , 4

Фиг. 2

Составитель Е.Глаэкова

Техред Л.Олейник Корректор Л.Патай