SU1245954A1 - Способ контрол адгезии покрыти к подложке - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к методам контрол  трибологических характеристик твердых материалов, в частности адгезии покрыти  к подложке при изготовлении микросхем . Цель изобретени  - повышение производительности контрол , котора  достигаетс  тем, что из партии исследуемых образцов выбирают эталонное покрытие и определ ют его адгезию к подложке путем воздействи  индентора на покрытие при максимальной нагрузке и перемещении индентора при условии, что на покрытии не образуетс  разрушающий след, а остальные образцы партии испытывают при выбранной по эталону рабочей нагрузке. Если на покрытии при этом образуетс  разрушающий след, то такое покрытие бракуетс , а пригодными к эксплуатации считаютс  покрыти , которые не разрушаютс  при рабочей нагрузке. ) 4 сл ;с ел 4

Description

Изобретение относитс  к методам контрол  трибологических характеристик твердых материалов и может быть использовано дл  оценки качес1 ва адгезии покрыти  к подложке при изготовлении микросхем .

Цель изобретени  - повышение производительности контрол  адгезии покрыти  к подложке.

Эта цель достигаетс  тем, что рабочую нагрузку на индентор выбирают равной величине нагрузки, при которой индентор на эталонном покрытии не оставл ет разрушающего следа.

Предлагаемый способ осуществл ют следующим образом.

Из партии образцов, представл ющих собой покрыти  на твердых подложках, выбирают эталонное покрытие. Затем к эталонному покрытию прижимают индентор, сообщают ему поступательное перемещение и измер ют силу трени  между индентором и подложкой. Нагрузку на индентор постепенно увеличивают, а рабочую нагрузку выбирают равной величине нагрузки, при ко горой индентор на эталонном покрытии не оставл ет разрушающего следа.

Определение величины адгезии исследуемых покрытий на других образцах партии осуществл ют при нагрузке, равной рабочей в той же последовательности как и эталонное покрытие.

Если на покрытии образуетс  разрушенный след, то такое покрытие бракуетс  и считаетс  непригодным к эксплуатации. Отсутствие разрущенного следа свидетельствует об удовлетворительном качестве адгезии к подложке.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Способ контрол  адгезии покрыти  к подложке, заключающийс  в том, что индентор прижимают рабочей нагрузкой к покрытию на подложке, сообщают индентору поступательное перемещение, измер ют силу трени  между индентором и покрытием, по величине которого суд т об адгезии покрыти  к подложке, отличающийс  тем, что, с целью повышени  производительности, рабочую нагрузку выбирают ранной величине нагрузки, при которой индентор на эталонном покрытии не оставл ет разрушающего следа.