SU1239514A1 - Способ определени чувствительности тензорезистора и устройство дл его осуществлени - Google Patents

Abstract

Способ и устройство относ тс  к полупроводниковой тензометрии и МОГУТ быть использованы дл  сн ти  гра- дуировочных характеристик нитевидных кристаллов кремни . Цель изобретени  расширение области применени  способа определени  чувствительности тензо- резистора дл  нитевидных кристаллов кремни , что достигаетс  за счет ис- пользова ни  в качестве св зующего дл  захватов и материала токовыводов сплава 2,0-2,4 мае.% кремни , 0,04- 0,06 мас.% алюмини , остальное - золо- то,.и перемещени  одного из концов тензорезистора перпендикул рно его продольной оси. Устройство содержит станину, направл ющие, микрометрические винты с гайками, каретки, элект-. роизол ционные прокладки и захваты с V-образными канавками, в которые вплавл етс  нитевидный кристалл кремни . Способ осуществл ют перемещением одного из концов кристалла в направлении , перпендикул рном его оси. Сн тие кристалла после определени  чувствительности осуществл ют расплавлением сплава.. 2 с.п. ф-лы, 1 ил.

Description

ИзобретенИ относитс  к измерительной технике:, а именно к полупроводниковой тензометрии, и может, быть ис пользовано дл  экспресс-определени  коэффициентов тензочувствительности нитевидных кристаллов кремни .

Цель .изобретени  - расширение области применени  способа дл  тензо- резисторов на основе нитевидных кристаллов кремни , что достигаетс  за счет использовани  в качестве св зующего и материала токовыводов сплава золота с кремнием и алюминием, деформировани  нитевидного кристалла путем перемещени  одного из его концов в направлении , перпендикул рном его продольной оси, а также выполнени  устройства с двум  каретками, двум  направл ющими и двум  захватами с канавками V-образного профил , облуженными о представл юЙ1Ий собой нитевидный кристем же сплавом.

На чертеже представлена схема устройства , дл  определени  чувствительности тензорезистора.

Способ осуществл ют следующим образом.

Тензорезистор с помощью св зующего закрепл ют в градуировочном устройстве , дл  чего концы штевидного кристалла кремни  вплавл ют в св зую щее - сплав, содержащий 2,0-2,4 мае.% кремни , 0,04-0,06 мас.% алюмини , остальное - золото. Участки контакта кристалла со св зующим используют в качестве токовыводов .при из- мерении сопротивлени  тензорезистора После измерени  исходных значений сопротивлени  тензорезистор деформируют на заданную величину, дл  чего один из концов нитевидного кристал- ла перемещают в направлении, перпендикул рном продольной оси кристалла. По измеренным значени м сопротивлени  до и после деформации и деформации кристалла в направлении .продоль- ной оси определ ют чувствительность тензорезистора. Дл   сн ти  тензорезистора с градуировочного устройства измен ют его теьйературу до значений соответствующих потере св зующим ад- гезионных свойств, т.е. до температу .ры плавлени  сплава.

I- .

Устройство дл  определени  чувствительности тензорезистора содержит станину 1 с направл ющими 2 и 3, расположенными перпендикул рно одна другой, установленные соответственно на направл ющих 2 и 3 каретки 4 и 5,

два микрометрических винта 6 и 7 с гайками 8 и 9, соединенными соответственно с каретками 4 и 5, две . электроизол ционные прокладки 10 и 11, установленные соответственно на каретках 4 и 5, и два захвата 12 и 13 дл  креплени  концов тензорезис тора 14, закрепленных соответствен- но на электроизол ционных прокладках 10 и 11. Захваты 12 и 13 выполнены в виде стержней с канавками |-образного профил , стенки которых облужены сплавом, выполн ющим роль св зующего, а придонна  часть заполнена им. Устройство дл  определени  чувствительности тензорезистора работает следующим обра зом.

Исследуемь1й тензорезистор 14,

талл кремни , вплавл ют концами в захваты 12 и 13. В качестве св зующего используетс  сплав золота с кремнием и .алюминием. Концы кристалла при этом располагаютс  в V-образных канавках захватов 12 и 13 на одной линии с продольной осью кристалла. Изолированные от станины 1 электроизол ционными .прокладками 10 и 11 захваты 12 и 13 используют .в качестве токовыводов при измерении сопротивлени  тензорезистора. Деформацию тензорезистора осзпдествл ют перемещением одного из концов нитевидного кристалла, например конца, закрепленного в захвате 12, в направлении, перпендикул рном продольной оси кристалла , на заданную величину с помощью микрометрического винта 6. Микрометрический винт 7 служит дл  настройки устройства на требуемую величину исходного рассто ни  между зaxвaтa D 12 и 13. Чувствительность тензорезистора рассчитывают по -известным зависимост м, в которые вход т изменение сопротивлени  и удлинение тензорезистора.

I .

Дл  сн ти  тензорезистора с устройства вновь расплавл ют св зующее в захватах 12 и 13 и снимают нитевидный кристалл.

Использование предлагаемых способа , и устройства позвол ет расширить область применени  известного метода определени  чувствительности тензорезистора дл  нитевидных кристаллов кремни . При этом по сравнению с известными методами определени  чувствительности .нитевидных кристаллов достигаетс  экономи  времени и более высока  точность определени  градуи- ровочной характеристики тензорезис- тора. .

Claims (2)

1. Способ определени  чувствительности тензорезистора, заключаннцийс  в том, что тензорез истор при помощи св зующего закрепл ют в градуировоч- н.ом устройстве, деформируют его, измер ют его сопротивление и деформацию и по окончании процесса деформировани  тензорезистора измен ют его тем- .пературу до значений, соответствующих потере св зук цим адгезионных свойств, а по измеренным значени м ,сопротивлени  и деформации определ ют чувствительность тензорезистора, отличающийс  тем, что, с целью расширени  области применени  способа дл  тензорезисторов на основе нитевидных кристаллов кремни , в качестве .св зующего используют сплав, содержащий 2,0-2,4 мас.% кремни , 0,0.4-0,06 мас.% алюмини , остальное - золото, тензорезистор закрепл ют путем вплавлени  в св зующее концов нитевидного кристалла, участ- ки контакта кристалла со св зующим используют в качестве токовыводов

при измерении сопротивлени  тензорезистора , а деформируют тензорезистор путем перемещени  одного из концов нитевидного кристалла в направлении, перпендикул рном его продольной оси.

2. Устройство дл  определени  чувствительности, тензорезистора, содержащее станину с направл ющими, каретку, установленную на направл ющих с возможностью перемещени , микрометрический винт с гайкой,; соеди- ненньй С кареткой, две электроизол ционные прокладки, одна из которых установлена на каретке, и два захвата дл  креплени  концов тензорезистора , каждый из которых закреплен ;на одной из электроизол ционных про- ,кладок,о тли чающеес  тем, что, оно снабжено вторыми направл ющими , выполненными на стани- не перпендикул рно первым направл ющим , второй кареткой, установленной на этих направл ющих, и вторым микрометрическим винтом с гайкой, соединенной со второй кареткой, втора  электроизол ционна  прокладка установлена на второй каретке, а каждый из захватов выполнен:в виде стержн  с канавкой Т-образного -профил , стенки которой облужены сплавом, выпол- н кйцим роль св зующего, а придонна  часть заполнена им.

Г 2

Ю

72 14 6 131Г. 5 3 9 7

Редактор Н.Тупица

Составитель Н.Тимошенко

Техред О.Гортвай Корректор Е.Сирохман

Заказ 3384/39 Тираж 670 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предпри тие, г.Ужгород, ул.Проектна , 4