SU123351A1 - Способ изготовлени матриц из пленочных диодов - Google Patents

Description

Известные способы изготовлени  матриц из пленочных диодов, предназначенных дл  вычислительных устройств, характеризуютс  сложной технологией производства и не дают возможности получать многослойные матрицы с большой плотностью точек.

Дл  устранени  указанных недостатков предлагаетс  наносить пленки диодов одна на другую на изолирующую основу с микрорельефом , например на анодированный алюминий, и получать их испарением соответствующих веществ, например золота и кристаллического селена, в вакууме.

Па фиг. 1 изображена принципиальна  схема матрицы, получаемой но предлагаемому способу; на фиг. 2 и 3 - схема нанесени  электродов па подложку.

Матрица представл ет собой пр моугольную сетку электродов, места пересечени  которых представл ют собой диоды. Выпр мл ющую  чейку - диод составл ют тонкие металлические слои а и 6; и тонкий слой полупроводника между ними. Металлы нодобраны так, что в контакте одного из них с полупроводником возникает запирающий слой, который и обуславливает вынр мл ющие свойства такой  чейки. В обпдем случае диодна   чейка может быть и более сложной, нанример, она может состо ть из двух металлических электродов и двух или даже из трех полупроводниковых слоев между ними.

Матрица изготовл етс  путем нанесени  друг на друга соответствующих веществ испарением в вакууме через трафареты на непровод щую подложку /. В качестве подложки дл  матрицы служит анодированный алюминий . Выпр мл юща  же  чейка-диод составл етс  из двух тонких металлических электродов , разделенных тонки.м слоем кристаллического селена. Материалом дл  контактного электрода может служить золото или платина , а дл  выпр мл ющего электрода - алюминий или магний. Панесение электродов и

селена нроизводитс  в вакууме пор дка мм рт. ст. через соответствующие трафареты. В случае нанесени  первыми электродных полосок 2 из золота или платины (фиг. 2) полоски 5 селена нанос тс  вдоль полосок 2. Когда первыми нанос тс  электродные полоски 4 из алюмипп , селен иапоситс  поперечными полосками 3 (фиг. 3).

Во врем  напылени  селена температура подложки поддерживаетс  в пределах 60-

. После напылени  селена подложка помещаетс  в печь, в которой,она прогреваетс  при 200-210°С около 30 мин. Желательно нагревать и охлаждать подложку постепенно. После этих операций поверхность селена

поверхность. Второй электрод наноситс  полосками на селен поперек полосок нижнего электрода., сли.вторым электродом  вл етс  алюминий или магний, то этим процесс изготовлени  матрнцй кончаетс . Когда вторым электродом  вл етс  золото или .платина, те после нанесени  этого электрода матрица прогреваетс  в печи 15 мин при 200-210°С. i Толщина электродов может не превышать нескольких дес тых микрона. Толщина сло  селена выбираетс  в зависимости от режима работы. В общем случае она не превышает 15-20 мм. Дл  креплени  проводов на концы электродов испарением в вакууме или шопированием наноситс  слой олова, свинца или висмута. В случае шопировани  можно примен ть сплав Вуда или Розе. Наносимый слой не должен касатьс  отверстий. Через отверстие пропускаетс  многожильна  изолированна  проволока диаметром в 0,12-0,15 мм с залуженным концом, который и припаиваетс  сплавом Вуда или Розе к утолщенным местам электродов.

Предмет изобретени 

Способ изготовлени  матриц из пленочных диодов, предназначенных дл  вычислительных

устройств, отличающийс  тем, что, с целью упрощени  процесса изготовлени  и получени  сложных многослойных матриц с большой плотностью точек, пленки диодов нанос т одна на другую на изолирующую основу с микрорельефом , например анодированный алюминий , и получают их испарением соответствующих веществ, например золота и кристаллического селена, в вакууме.

,.,ЛД 1ЖЖ

-ЛЛЛ

V ./