Известные датчики измерителей мощност СВЧ обладают р дом недостатков. Например, проволочные болометры трудно согласовать с волноводным трактом в достаточно широкой полосе частот, и, кроме того, о}ш обладают низкой чувствительностью и критичны к перегрузкам; металлонленочные болометры обладают низкой чувствительностью; тер.мисторы, как известно, не позвол ют получить высокого к.п.д. при измерении мощности в миллиметровом диапазоне длин волн и не выдерживают больших мощностей.The known sensors for microwave power meters have a number of disadvantages. For example, wire bolometers are difficult to reconcile with the waveguide path in a fairly wide frequency band, and, in addition, o} w have low sensitivity and are critical to overloads; metal film bolometers have low sensitivity; Thermistries, as is known, do not allow to obtain high efficiency. when measuring power in the millimeter wavelength range and do not withstand high power.
Предлагаемый пленочный датчик дл измерени моидности СБЧ лишен указанных недостатков. Пленочный датчик дл измеренн мощности СВЧ устроен следующим образом {см. чертеж). На изолирующую пластинку / с одной стороны наноситс пленочна термопара 2 из полупроводниковых материалов; с другой стороны изолирующей пластинки наноситс тонка металлическа пленка 5; на концах пластины с одной стороны нанесены контактные металлические полоски 4 дл нодключени в измерительную цепь металлической пленки, а с противоположной стороны нанесены контактные металлические полоски 5 дл подключени в измерительную цепь термопары. Дл изготовлени пленок примен етс метод испарени в вакууме. Измерени с помощью предлагаемого элемента молсно производить методом замещени измер емой мощности известной мощностью посто нного тока аналогично измерени м с помощью пленочных болометров.The proposed film sensor for measuring the mobility of the SACh is free of the indicated disadvantages. The film sensor for measured microwave power is as follows {see drawing). A film thermocouple 2 made from semiconductor materials is applied to the insulating plate / on one side; a thin metal film 5 is applied on the other side of the insulating plate; On the ends of the plate, on one side, contact metal strips 4 are applied to connect a metal film to the measuring circuit, and on the opposite side, contact metal strips 5 are applied to be connected to the thermocouple measuring circuit. A vacuum evaporation method is used to make films. Measurements using the proposed element are molar by the method of replacing the measured power with a known DC power similar to measurements using film bolometers.
Предмет изобретени Subject invention
Пленочный датчик измерител мощности СВЧ, использующий термопару, отличающийс тем, что, с целью повышени чувствительности устройства, он выполнен в виде двухпленочного элемента, одна из пленок которого (металлическа ), поглощающа энергию СВЧ, служит подогревателем, а друга , разделенна с ней слоем диэлектрика , предстаг л ет собой пленочную термопару. .The film sensor of the microwave power meter using a thermocouple, characterized in that, in order to increase the sensitivity of the device, it is made in the form of a two-film element, one of the films of which (metal), which absorbs microwave energy, serves as a preheater, and the other is separated with a dielectric layer It is a thermocouple film. .