SU1221485A1 - Способ измерени угла поворота объекта - Google Patents

Способ измерени угла поворота объекта Download PDF

Info

Publication number
SU1221485A1
SU1221485A1 SU843716127A SU3716127A SU1221485A1 SU 1221485 A1 SU1221485 A1 SU 1221485A1 SU 843716127 A SU843716127 A SU 843716127A SU 3716127 A SU3716127 A SU 3716127A SU 1221485 A1 SU1221485 A1 SU 1221485A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
angle
rotation
triple
beams
initial position
Prior art date
Application number
SU843716127A
Other languages
English (en)
Inventor
Юрий Викторович Коломийцов
Original Assignee
Предприятие П/Я Р-6681
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Р-6681 filed Critical Предприятие П/Я Р-6681
Priority to SU843716127A priority Critical patent/SU1221485A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1221485A1 publication Critical patent/SU1221485A1/ru

Links

Landscapes

  • Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)

Abstract

Изобретение позвол ет повысить точность прецизионного измерени  угла поворота объекта в машино- и приборостроении путем установки интерференционного угломера в эффективное начальное положение. После установки блока триппель-призм интерференционного угломера в геометрическое начальное положение его последовательно поворачивают на одинаковые, возможно большие углы + f, измер ют со ответствую1цие им значени  разностей хода пучков А и Д , определ ют величину ,.1/2и ввод т эту поправку (й в определ емый угол поворота объекта. Изменение начального положени  интерференционного угломера из геометрического в эффективное позвол ет скомпенсировать погрешности измерени  угла поворота, обусловленные неравенствами высот триппель- призм, наличием угла между падающими на них пучками лучей и отступлением углов между гран ми триппель-призм от угла, равного 90° . § (Л to tsD оо сд

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике и может использоватьс  дл  прецизионных измерений углов поворота объекта в машино- и приборостроении .
Целью изобретени   вл етс  повышение точности измерени  путем устранени  ошибки установки начального положени .
Способ измерени  угла поворота осуществл ют следующим образом.
Предварительно с контролируемым объектом скрепл ют блок триппель- призм, состо щий из двух призм, входные грани которых лежат в одной плоскости,.а рассто ние между их вершинами равно L. Величина L  вл етс  базой интерференционного угломера. Ориентируют входные грани триппель- призм перпендикул рно направлению падающих на них параллельных пучков лучей, фиксируют это начальное положение блока триппель-призм, например с помощью вспомогательного автокор- рил тора - геометрическое начальное положение.
Совмещают отраженные от блока ч триппель-призм пучки в интерферометре . При настройке угломера, после установки блока триппель-призм в геометрическое начальное положение его последовательно поворачивают на одинаковые, роэГможно большие углы + f , измер ют соответствующие им значени  разностей хода пучков А и Д определ ют величину
- 1Д 1 л г
Введение поправки t л эквивалентно отсчету измер емого угла поворота из такого эффективного начального положени  блока триппель-призм, при поворотах из которого на одинаковые углы + Ч измеренные значени  Л, и л равны по абсолютной величине, что может иметь место только при отсутствии погрешностей измерени , пропорциональных четньм степен м Y.
Угол поворота объекта вычисл ют из зависимости
sin Ч
А t(f а 2 L
где Л - разность хода, внесенна 
поворотом блока призм; «f - измер емый угол поворота объекта:
сГд - поправка смещени  из геометрического начального положени  в эффективное начальное положение.
Установку объекта в эффективное начальное положение выполн ют, например , с помощью автоколлиматора и стекл нного клина с углом Ч котоSЬгч
рый притерт к пластине и закреплен
также на объекте. Установив объект в геометрическое начальное положение , совмещают ось автоколлиматора с нормалью к свободной поверхности пластины, поворачивают объект на
угол +Лff до совмещени  нормали к поверхности клина с осью автоколлиматора и измер ют разность хода Д. Затем возвращают объект в начальное положение, поворачивают пластину с
клином на 180 (при неподвижном объекте), провер ют перпендикул рность поверхности пластины к оси автоколлиматора , поворачивают объект на угол - N f и измер ют разность
хода Д . Если (Д,| Л, то пово- рачивают объект из геометрического начального положени  на малый угол соответствующий изменению разно- Д - Лт
сти хода
сГй Повтор   эти
операции, добиваютс  равенства |а | (A,j|, При установке блока триппель- призм в зфф ективное начальное положение величина о а скомпенсирует погрешности измерени , пропорциональные четным степен м Ч , обусловленные неравенством высот триштель-призм, наличием угла между падающими на них пучками лучей и отступлением от 90 углов между гран ми триппель-призм, что способствует повышению точности измерени . Полна  компенсаци  происходит только при выбранном угле -f М т при остаточные погрешности, пропорциональные четырем степен мV , ничтожно малы, при этом допуск на равенство высот триппель-призм и на параллельность падающих на призмы пучков лучей может быть расширен.

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Способ измерени  угла поворота объекта с помощью двухлучевого ин- терференционного угломера, заключаю- щийс  Е том, что скрепл ют блок триппель-призм с контролируемым объектом , уст анавливают блок триппель31221485
    призм перпендикул рно к направлению между пучками, последовательно попадающих пучков лучей, фиксируют это ворачивают блок триппель-призм на начальное положение блока триппель- равные углы + ч относительно его на- призм, измер ют разность хода между чального положени , измер ют раз- пучками при повороте объекта и вы- 5 ности хода пучков Л и й соответ- числ ют синус угла поворота как отно- ствующие углам поворота +4 опреде- шение разности хода к удвоенной длинеiл I I Л I
    базы интерференционного угломера, л ют величину ----- « вычисд ют
    отличающийс  тем, что, с |
    целью повышени  точности измерени , 10 синус угла поворота объекта с учетом
    перед измерением разности хода этой величины.
    Составитель Н, Солоухин Редактор М. Келемеш Техред В.Кадар Корректор М, Демчик
    Заказ 1602/46 Тираж 670 Подписное
    ВНИИПИ Государственного комитета СССР
    по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5
    Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектна , 4
SU843716127A 1984-03-30 1984-03-30 Способ измерени угла поворота объекта SU1221485A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843716127A SU1221485A1 (ru) 1984-03-30 1984-03-30 Способ измерени угла поворота объекта

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843716127A SU1221485A1 (ru) 1984-03-30 1984-03-30 Способ измерени угла поворота объекта

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1221485A1 true SU1221485A1 (ru) 1986-03-30

Family

ID=21109465

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU843716127A SU1221485A1 (ru) 1984-03-30 1984-03-30 Способ измерени угла поворота объекта

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1221485A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Лазерна измерительна система. 5526 А. Проспект фирмы, 1979. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6922899B2 (en) Rotary encoder
US4276698A (en) Machines for measuring the dimensions of workparts
JPS63292005A (ja) 走り誤差補正をなした移動量検出装置
CN1019525B (zh) 激光平行度与垂直度测量仪及其测量方法
SU1221485A1 (ru) Способ измерени угла поворота объекта
US4738532A (en) Method of calibrating an optical measuring system
Bryan et al. Angle interferometer cross-axis errors
Candela et al. An Ellipsometry System for High Accuracy Metrology of Thin Films
SU1415056A1 (ru) Устройство дл измерени углов призм
SU998855A1 (ru) Способ измерени несоосности роторов турбоагрегатов
SU1402803A2 (ru) Устройство дл контрол пр молинейности и соосности
SU1476306A1 (ru) Теодолит
SU1303819A1 (ru) Устройство дл измерени отклонени от перпендикул рности угловых мер
SU1307220A1 (ru) Способ измерени несоосности двух поверхностей вращени
SU1538044A1 (ru) Устройство дл поверки угловой меры
SU1567870A1 (ru) Интерферометр дл измерени линейных величин
SU1546234A1 (ru) Способ измерени параллельности направл ющих
RU2081394C1 (ru) Способ измерения линейных размеров
SU560135A1 (ru) Устройство дл контрол точности автоколлиматоров
Rahneberg et al. Dynamic alignments and calibaration of linear axis
JPS63115011A (ja) 変位測定装置
SU1740988A1 (ru) Способ измерени непр молинейности
SU1219914A1 (ru) Способ определени зазора винтового механизма задатчика и устройство дл его осуществлени
SU493618A1 (ru) Способ измерени несоосности роторов двух сопр гаемых машин
SU1578463A1 (ru) Способ измерени отклонени от перпендикул рности поверхностей