SU1217185A1 - Способ очистки поверхности полупроводниковых пластин - Google Patents
Способ очистки поверхности полупроводниковых пластинInfo
- Publication number
- SU1217185A1 SU1217185A1 SU3609828/25A SU3609828A SU1217185A1 SU 1217185 A1 SU1217185 A1 SU 1217185A1 SU 3609828/25 A SU3609828/25 A SU 3609828/25A SU 3609828 A SU3609828 A SU 3609828A SU 1217185 A1 SU1217185 A1 SU 1217185A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- plate surface
- semiconductor plate
- cleaning semiconductor
- cleaning
- absent
- Prior art date
Links
Landscapes
- Detergent Compositions (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
1. СПОСОБ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, включающий их помещение в нейтральную среду или вакуум и последующее испарение загрязняющих частиц путем облучения поверхности лазерным излучением, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности очистки, используют излучение с длиной волны, меньшей среднего размера поперечника удаляемых частиц.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют излучение с длительностью импульсов не более 10 с.3. Способ по пп.1 и 2, отличающийся тем, что лазерный луч направляют на поверхность наклонно к ней.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU3609828/25A SU1217185A1 (ru) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | Способ очистки поверхности полупроводниковых пластин |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU3609828/25A SU1217185A1 (ru) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | Способ очистки поверхности полупроводниковых пластин |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1217185A1 true SU1217185A1 (ru) | 1996-05-10 |
Family
ID=60542360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU3609828/25A SU1217185A1 (ru) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | Способ очистки поверхности полупроводниковых пластин |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1217185A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2666416C1 (ru) * | 2017-07-14 | 2018-09-07 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Тюменский государственный университет" | Способ очистки твердой поверхности от микрочастиц |
-
1983
- 1983-06-27 SU SU3609828/25A patent/SU1217185A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2666416C1 (ru) * | 2017-07-14 | 2018-09-07 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Тюменский государственный университет" | Способ очистки твердой поверхности от микрочастиц |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GR81852B (ru) | ||
| IT1209526B (it) | Metodo per il trattamento enzimatico di polpa pre-spremuta. | |
| SU1217185A1 (ru) | Способ очистки поверхности полупроводниковых пластин | |
| IT8349358A0 (it) | Apparecchio per la messa in operadi dispositivi di fissaggio | |
| SU1193950A1 (ru) | Способ изготовления микроканальных пластин | |
| SU1226762A1 (ru) | Способ изготовления алмазного инструмента | |
| SU1135378A1 (ru) | Способ изготовления биполярных интегральных транзисторов | |
| SU1148279A1 (ru) | Способ получения м-фенилендиамина | |
| SU1207110A1 (ru) | Способ получения сульфамидов | |
| SU1160684A1 (ru) | Способ извлечения иридия из сульфатных растворов | |
| SU1212056A1 (ru) | Способ термической обработки металлических изделий | |
| SU1195862A1 (ru) | Способ изготовления интегральных схем | |
| SU1220344A1 (ru) | Установка для ферментативной обработки материалов | |
| SU1216940A1 (ru) | Способ получения изопрена | |
| SU1192351A1 (ru) | Способ очистки винодельческой продукции | |
| SU1154974A1 (ru) | Способ изготовления сегнетокерамической мишени | |
| SU1083739A1 (ru) | Стокс-калибратор | |
| SU1114135A1 (ru) | Манотрон | |
| SU1120886A1 (ru) | P-i-n-ДИОД | |
| SU1081999A1 (ru) | Способ получения клея | |
| SU1135053A1 (ru) | Способ приготовления модифицированной гранулированной окиси алюминия | |
| SU1081967A2 (ru) | Способ изготовления изделий из ячеистобетонной смеси | |
| SU953798A1 (ru) | Способ получения тетрахлорсилана | |
| SU1240079A1 (ru) | Способ получения тетрабутоксититана | |
| SU1196536A1 (ru) | Способ создания вакуума |