SU1179447A1 - Способ изготовлени контактного покрыти магнитоуправл емых герметизированных контактов - Google Patents

Способ изготовлени контактного покрыти магнитоуправл емых герметизированных контактов Download PDF

Info

Publication number
SU1179447A1
SU1179447A1 SU843728935A SU3728935A SU1179447A1 SU 1179447 A1 SU1179447 A1 SU 1179447A1 SU 843728935 A SU843728935 A SU 843728935A SU 3728935 A SU3728935 A SU 3728935A SU 1179447 A1 SU1179447 A1 SU 1179447A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
contact
coating
contact coating
hermetically sealed
vacuum
Prior art date
Application number
SU843728935A
Other languages
English (en)
Inventor
Гайрат Шаукатович Мангутов
Валерий Валентинович Фельмецгер
Марик Григорьевич Эрлихсон
Original Assignee
Предприятие П/Я А-3997
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-3997 filed Critical Предприятие П/Я А-3997
Priority to SU843728935A priority Critical patent/SU1179447A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1179447A1 publication Critical patent/SU1179447A1/ru

Links

Landscapes

  • Manufacture Of Switches (AREA)

Abstract

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОНТАКТНОГО ПОКРЫТИЯ МАГНИТОУПРАВЛЯЕМЫХ ГЕРМЕТИЗИРОВАННЫХ КОНТАКТОВ, включающий операцию нанесени  сплава на основе благородного металла, легированного тугоплавким неблагородным металлом, отличающийс  тем, что, с целью увеличени  срока службы магнитоуправл емых герметизированных контактов путем повьшени  электроэрозионной стойкости контактного покрыти , операцию легировани  производ т омбардировкой поверхности контактного покрыти  в вакууме i ионами тугоплавкого неблагородного металла. (Л «ч « «ч

Description

Изобретение относитс  к электротехнике , а более конкретно к технологии изготовлени  эрозионностойких контактных покрытий дл  газонаполненных магнитоуправл емых контактов (МК) средней мощности, и может быть использовано в серийном производстве контактов. Цель изобретени  - увеличение срока службы магнитоуправл емых герметизированных контактов путем повышени  электроэрозионной стойкости контактного покрыти . Сущность способа и положительньй эффект, достигаемый при его использовании , определ етс   влени ми, которыми сопровождаетс  обработка поверхности покрыти  металлическими ионами. Процесс взаимодействи  ионного потока с поверхностью металла сводитс  к протеканию взаимосв занных физических процессов: конденсации, внедрени  и распылени . При энергии ионов меньше 10 эВ конденсаци , как правило, преобладает над распылением При энергии, превышающей энергию инверсии скорости движени  границы поверхности (), доминирующую роль начинает играть процесс распылени . Обычно величина f составл ет (1-2) 10 эВ. При энергии ионов, близкой Kg, реализуетс  режим формировани  предельно уплотненных слоев,-, мак симально насыщенных по концентрации легирующим элементом, поэтому оптимальна  энерги  ионов дл  осуществле ни  способа находитс  в диапазоне (1-2) -103 эВ. При ионном легировании металличес кие ионы внедр ютс  в обрабатываемую поверхность и образуют с поверхностным слоем псевдодиффузионную св зь. Последукща  диффузи  внедренных атомов вглубь покрыти  приводит к образованию легированного сло , толщина которого при заданной энергии ионов определ етс  дозой облучени . Электр физические параметры сло  могут существенно отличатьс  от его параметров до обработки ионами. Низковольтно ионное легирование позвол ет создавать плотные, износостойкие слои повьшенной твердости и, тем самым, зна чительно увеличить срок службы контактов средней мощности в наиболее т желых режимах коммутации, сопровождающихс  мостиковым переносом и разр дом типа короткой дуги. При этом сопротивление МК не увеличиваетс . Способ осуществл етс  следующим образом. На контактные поверхности контактдеталей МК нанос т покрытие из благородного металла или сплава на основе благородного металла одним из известных способов: электрохимическим .осаждением, вакуумным напылением или катодным распылением. Наиболее целесообразно применение способа электрохимического осаждени , при котором безвозвратные потери драгоценных металлов практически отсутствуют. Затем покрытие обрабатывают в вакууме ионами тугоплавкого неблагородного металла (например, вольфрама, молибдена, рени , титана), дл  чего контактдетали загружают в металлические кассеты и помещают в вакуумное устройство , снабженное источником металлических ионов. Дл  создани  интенсивного ионного потока с заданной энергией ионов предпочтительно использовать технологические плазменные ускорители с генерацией металлической плазмы в вакуумном дуговом-разр де. Вакуумньй дуговой разр д в парах тугоплавкого металла обеспечивает высокую степень ионизации паров (90100% ), а энерги  выт гиваемых из плазмы разр да ионов может быть задана разностью потенциалов между испар емым катодом ускорител  и кассетой с обрабатьгааемыми контакт-детал ми. Пример. Исследовани  провод т на серийно вьтускаемом газонаполненном герконе средней модности типа МК27 с контактной системой консольной конструкции. Контактное покрытие гёркона из гальванического сплава золотоникель толщиной 2-3 мкм обеспечивает высокую надежность прибора при коммутации микромощных электрических цепей , но имеет недостаточную эрозионную стойкость при эксплуатации в наиболее часто примен емых коммутационных режимах с напр жением 60 В при токах до 0,2 А, а также имеет склонность к свариванию. Дл  оценки эффективности предлагаемого способа на предпри тии проведены испытани  двух партий герконов Ж27 с покрыти ми, изготовленными по известной технологии способом электрохимического осаждени  (парти  1) и с покрыти ми, изготовленньпчи согласно изобретению следующим образом (парти  2), На контакт-детали нанос т сплав золото - никель путем электрохимического осаждени . Затем на вакуумной установке, снабженной технологическим плазменным ускорителем, прово д т легирование покрыти  из сплава золото - никель ионами титана марки ВТ 1-00. Дл  этого контакт-детали с гальванопокрытием загружают в металлическую кассету. Кассету помещают в вакуумную камеру установки таким образом, чтобы обрабатьшаема  поверх ность контакт-деталей располагалась перпендикул рно к оси ускорител . После достижени  в камере вакуума пор дка 10 инициируют дуго вой разр д в napaix титана с током ду ги 90 А. На кассету с контакт-датал ми . при этом подают отрицательньй пот енциал -1600 В, плотность ионного тока на обрабатываемой поверхности составл ет 10 А/м. После ионной обработки в течение 14 ев камеру на пускаетс  чистьй азот, и затем контакт-детали вынимаютс  на воздух. Дл  оценки эрозионной стойкости покрытий к воздействию короткой дуги герконы обеих партий испытываютс  на наработку в режиме коммутации активной цепи напр жением 60 В (пост.), коммутируемый ток - 0,025 А, Вли ние ионной обработки на стабильность пер ходного сопротивлени  герконов определ етс  при испытании экспериментальных приборов в микромощном режим коммутации (напр жение 510 В, ком мутируемьй ток 5 активна  нагрузка ) . Кроме того, провод т испытани  герконов на склонность к холодной сварке по следующей методике замер ют магнитодвижущие силы-срабатывани  и отпускани  (F, и Гдт-,,) в нормальных услови х, затем герконы замыкают (магнитодвижуща  сила 74 1гаъна 2Ff.p) и в замкнутом состо нии помещают в камеру тепла, вьщерживают при 100°С 24 ч, после чего провод т замер . Заливание контактов или рост величины свидетельствуют о склонности геркона к холодной сварке. Герконы с покрытием, изготовленным по предлагаемому способу, провер ютс  на склонность к холодной сварке также и после испытаний их в микромощном режиме коммутации с целью определени  способности ионнолегированных покрытий сохран ть устойчивость к свариванию при длительной эксплуатации. Результаты испытаний приведены в таблице, из которой видно, что герконы с покрытием, легированным ионами титана, имеют в 3 раза больший срок службы при эксплуатации в режиме 60 В - 0,025 А по сравнению с герконами контрольной партии. При этом они не склонны к свариванию и имеют низкое и стабильное переходное сопротивление при коммутации микромощных цепей. Электронно-микроскопические исследовани  эрозионных образований на поверхности ионнолегированных контактных покрытий показывают , что эрози  носит плоскостной характер , в то врем  как на покрыти х, не подвергавшихс  ионной обработке, эрози  развиваетс  вглубь покрыти  с образованием выступов и кратеров, что вызывает неразмыкание контактов вследствие -заклинивани . Таким образом, способ изготовлени  контактного покрыти  согласно предлагаемому изобретению позвол ет при сохранении всех положительных качеств, присущих покрытию на основе благородных металлов, повысить электроэрозионную стойкость покрыти  и, следовательно, увеличить срок службы МК.
25
10 10
20 10
J5 (до испытаНИИ на наработку)
10
(после испытаний в режиме 5--10-2 в5-10 А)
20 15
6,5
10 21,7

Claims (1)

  1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОНТАКТНОГО ПОКРЫТИЯ МАГНИТОУПРАВЛЯЕМЫХ ГЕРМЕТИЗИРОВАННЫХ КОНТАКТОВ, включающий операцию нанесения сплава на основе благородного металла, легированного тугоплавким неблагородным металлом, отличающийся тем, что, с целью увеличения срока службы магнитоуправляемых герметизированных контактов путем повышения электроэрозионной стойкости контактного покрытия, операцию легирования производят1 бомбардировкой поверхности контактного покрытия в вакууме ионами тугоплавкого неблагородного металла.
SU843728935A 1984-04-16 1984-04-16 Способ изготовлени контактного покрыти магнитоуправл емых герметизированных контактов SU1179447A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843728935A SU1179447A1 (ru) 1984-04-16 1984-04-16 Способ изготовлени контактного покрыти магнитоуправл емых герметизированных контактов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843728935A SU1179447A1 (ru) 1984-04-16 1984-04-16 Способ изготовлени контактного покрыти магнитоуправл емых герметизированных контактов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1179447A1 true SU1179447A1 (ru) 1985-09-15

Family

ID=21114501

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU843728935A SU1179447A1 (ru) 1984-04-16 1984-04-16 Способ изготовлени контактного покрыти магнитоуправл емых герметизированных контактов

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1179447A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4142857A1 (de) * 1991-12-20 1993-06-24 Siemens Ag Verfahren zum herstellen eines elektrischen kontaktes

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Патент US № 2.504.906, 200-166, опублик. 1945. Патент US № 3.146.328, 200-166, опублик. 1961. Патент PL № 85.867, кл. Н 0.1 Н 1/04, опублик. 1973. ЖТФ, т. 51, вып. 3, 1981, С.520522. Блинов И.Г. и др. Вакуумные сйль-. ноточные плазменные устройства и их применение в технологическом оборудовании микроэлектроники. -Обзорыпо электронной технике. Сер..Микроэлектроника, вьш. 8 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4142857A1 (de) * 1991-12-20 1993-06-24 Siemens Ag Verfahren zum herstellen eines elektrischen kontaktes

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3616403A (en) Prevention of inversion of p-type semiconductor material during rf sputtering of quartz
Waits Planar magnetron sputtering
US4710283A (en) Cold cathode ion beam source
JPS62294163A (ja) 低接触低抗組成物及びその製造方法
KR20010040034A (ko) 스퍼터 증착을 위한 개선된 코일
KR910011341A (ko) 서브스트레이트들을 코팅하기 위한 방법 및 장치
SU1179447A1 (ru) Способ изготовлени контактного покрыти магнитоуправл емых герметизированных контактов
Williams Vacuum coating with a hollow cathode source
SU1721651A1 (ru) Способ изготовлени контактного покрыти магнитоуправл емого герметизированного контакта
US5593798A (en) Ion implantation of highly corrosive electrolyte battery components
JP2023152602A (ja) アルミニウム材、アルミニウム材用表面特性調整皮膜及びアルミニウム材の表面処理方法
Seeman Bias sputtering: its techniques and applications
US4129765A (en) Electrical switching contact
SU1624549A1 (ru) Способ изготовлени контактного покрыти контакт-деталей магнитоуправл емых герметизированных контактов
US5168504A (en) Be coated glass cathode with high concentration of beo
US3484358A (en) Method and apparatus for reactive sputtering wherein the sputtering target is contacted by an inert gas
JP3615096B2 (ja) イオン発生装置、イオン照射装置及びフィラメント
EP1381703B1 (en) A method for determining a critical size of an inclusion in aluminum or aluminum alloy sputtering target
Wingert et al. The effects of CdO on the static gap arc erosion of silver-based contacts
Ashworth et al. Novel corrosion resistant alloys by ion implantation
SU1749929A1 (ru) Способ изготовлени контакт-детали жидкометаллического геркона
JPH1021772A (ja) 封入接点材料
SU1394258A1 (ru) Способ нанесени контактного покрыти на контакт-деталь вакуумного высоковольтного магнитоуправл емого контакта
RU2664506C1 (ru) Способ изготовления геркона с азотированными и наноструктурированными контактными поверхностями
JP3079765B2 (ja) 電気接点用材料