SU1174739A1

SU1174739A1 - Method of tuning integrated strain-gauge bridges

Info

Publication number: SU1174739A1
Application number: SU843709835A
Authority: SU
Inventors: Владимир Андреевич Тихоненков; Анатолий Иванович Жучков; Евгений Михайлович Белозубов; Николай Филиппович Соснин
Original assignee: Предприятие П/Я А-1891
Priority date: 1984-03-11
Filing date: 1984-03-11
Publication date: 1985-08-23

Abstract

СПОСОБ НАСТРОЙКИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ТЕНЗОМЕТРИЧЕСКИХ МОСТОВ, заключающийс в том, что в одно из плеч моста ввод т термочувствительный резистор, сопротивление которого превышает предельно необходимое дл термокомпенсации, измер ют начальный выходной сигнал моста при закороченном термочувствительном резисторе дл двух различных температур , определ ют температурный дрейф сигнала, рассчитывают величину сопротивлени термочувствительного резистора, необходимую дл термокомпенсации , и с помощью технологической перемычки подгон ют величину сопротивлени термочувствительного резистора требуемой величины , отличающийс тем, что, с целью повышени точности путем уменьшени аддитивной температурной погрешности в широком диапазоне температур, измер ют начальный выходной сигнал моста при тех же температурах и полностью включенном термочувствительном резисторе, а величину сопротивлени подгон ют напыпением технологической перемычки и между двум любыми точками термочувствительного резистора. 4 00 СОMETHOD OF SETTING THE INTEGRAL SHORT-MOUNTED BRIDGES, which means that a temperature-sensitive resistor is inserted into one of the bridge arms, the resistance of which exceeds the limit required for temperature compensation, the initial signal output of the bridge is measured at a shorted temperature sensor for two different temperatures, the temperature drift of the signal is determined, calculate the resistance value of the thermosensitive resistor, necessary for temperature compensation, and adjust it using a technological jumper The magnitude of the resistance of a thermosensitive resistor of the required size, characterized in that, in order to increase accuracy by reducing the additive temperature error over a wide temperature range, the initial output signal of the bridge is measured at the same temperatures and the fully switched on thermosensitive resistor, and the resistance value is adjusted by spraying a technological jumper and between any two points of the temperature-sensitive resistor. 4 00 WITH

Description

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано при настройке тензометрических мостов, изготавливаемых по интегральной микроэлектронной технологии на основе как металлопленочных, так и полупроводниковых тензорезисторов .The invention relates to a measurement technique and can be used to configure strain gauge bridges manufactured according to the integrated microelectronic technology based on both metal film and semiconductor strain gauges.

Целью изобретени вл етс повышение точности путем уменьшени аддитивной температурной погрешности в широком диапазоне температур.The aim of the invention is to improve the accuracy by reducing the additive temperature error in a wide range of temperatures.

На фиг. 1 представлен интегральный тензометрический мост с термочувствительным резистором и напыленной технологической перемычкой, общий вид; на фиг. 2 - схема включени моста при сн тии величины температурного дрейфа.FIG. 1 shows an integral strain gauge bridge with a temperature-sensitive resistor and a sprayed technological jumper, general view; in fig. 2 is a circuit for switching on the bridge when the temperature drift is removed.

Способ осуществл етс следукицим образом.The method is carried out in a follow-up manner.

При изготовлении тензометрического моста 1, включающего в себ четыре тензорезистора 2-5, в одно из плеч, например, последовательно с тензорезисторами 4 и 5, ввод т термочувствительньй резистор 6. Выводы тензорезисторов 2-5 образованы соответственно контактшфю площадками 7-10, а выводы термочувствительного резистора 6 - контактными площадкам 11 и 12. Сопротивление термочувствительного резистора 6 выбирают таким , чтобы оно превышало предельно необходимое дл термокомпенсации.In the manufacture of a strain gauge bridge 1, which includes four strain gauges 2-5, a thermosensitive resistor 6 is inserted in one of the arms, for example, in series with the strain gauges 4 and 5. The outputs of the strain gauges 2-5 are formed by contact areas 7-10, and the conclusions thermosensitive resistor 6 - contact pads 11 and 12. The resistance of the thermosensitive resistor 6 is chosen such that it exceeds the limit necessary for thermal compensation.

Тензомётрический мост 1 помещают в термокамеру 13 и с помощью клеммнойStrain gage bridge 1 is placed in a heat chamber 13 and with the help of terminal

колодки 14 подключают к источнику 15 питани и вольтметру 16. Вьжлючатель 17 поочередно устанавливают в положение Замкнуто и Разомкнуто иpads 14 are connected to power supply 15 and voltmeter 16. Switch 17 is alternately set to the Closed and Open position and

измер ют начальный выходной сигнал моста 1. Эти измерени провод т при двух различных температурах. По полученным данным рассчитывают температурный дрейф сигнала и величину сопротивлени термочувствительного резистора 6, необходимую дл термокомпенсации .The initial output signal of bridge 1 is measured. These measurements are made at two different temperatures. According to the data obtained, the temperature drift of the signal and the resistance value of the thermosensitive resistor 6, which is necessary for thermal compensation, are calculated.

С помощью технологической перемычки 18, напыл емый между двум любыми получившимис в соответствии с расчетом точками термочувствительного резистора 6 до требуемой величины. На этом процесс настройки интегральногоWith the help of a technological jumper 18, sprayed between any two points, obtained in accordance with the calculation, of the temperature-sensitive resistor 6 to the required value. In this process of setting the integral

тензометрического моста заканчиваетс .strain gauge bridge ends.

Использование предлагаемого способа позвол ет более точно определ ть величину сопротивлени термочувствительного резистора, необходимую дл термокомпенсации, так как сигнал этого резистора оцениваетс на основе экспериментальных данных. Более точна подгонка величины сопротивлени Using the proposed method allows one to more accurately determine the resistance value of the thermosensitive resistor necessary for thermal compensation, since the signal of this resistor is estimated on the basis of experimental data. More accurate fit

обеспечиваетс бесступенчатой регулировкой с помощью напыл емой по месту перемычки. Таким образом, предлагаемый способ позвол ет на пор док уменьшить аддитивную температурнуюIt is provided with stepless adjustment using a lintel sprayed at the place. Thus, the proposed method allows an order to reduce the additive temperature

погрешность, что существенно повышает точность измерений при работе моста в широком диапазоне температур.error, which significantly increases the accuracy of measurements when the bridge is operating in a wide temperature range.

Claims

METHOD FOR SETTING OF INTEGRATED strain gauges, comprising administering a thermosensitive perature determine temperature ₁ drift signal calculated resistance value of the temperature sensing resistor needed for the temperature compensation, and by a method jumper customize the magnitude of the resistance temperature sensing resistor required value in one arm of the bridge, wherein in order to increase accuracy by reducing the additive temperature error over a wide range of temperatures round measured initial bridge output for the same resistor, the resistance of which exceeds the temperature compensation required for the measured initial signal output with a bridge shorted temperature sensing temperatures and fully incorporated heat-sensitive resistor, and the resistance value customize the process and coated bridges between any two points of the thermal