SU1171692A1

SU1171692A1 - Apparatus for manufacturing specimens with angle lapping by etching

Info

Publication number: SU1171692A1
Application number: SU843688151A
Authority: SU
Inventors: Николай Александрович Брюхно; Шамистан Махмудович Гасанли; Иван Николаевич Комаров; Анатолий Кузьмич Стрельцов
Original assignee: Брянский Ордена "Знак Почета" Институт Транспортного Машиностроения (Битм); Предприятие П/Я А-1589
Priority date: 1984-01-09
Filing date: 1984-01-09
Publication date: 1985-08-07

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОБРАЗЦОВ С КОСЫМ ШЛИФОМ ТРАВЛЕНИЕМ, содержащее ванну с травителем, разделенную перегородкой на две сообщающиес части, в первой из которых находитс держатель с образцами, дополнительную емкость, расположенную над ванной, и соединительную трубку, от л ич ающ ее с тем, что, с целью улучшени профил косого шлифа и увеличени безопасности работы, втора часть ванны снабжена промежуточной емкостью с нейтральной жвдкостью , плавающей в травителе, причем центр т жести промежуточной емкости находитс ниже уровн травител , дополнительна емкость снабжена трубопроводом непрерывной подачи нейтральной жидкости и сливом, а соединительi на трубка снабжена зажимом, регулирующим краном и жгутом капилл ров, СЛ концы которых погружены в нейтральную жидкость промежуточной емкости. СA DEVICE FOR THE MANUFACTURE OF SAMPLES WITH EYE ELBOWING ELBOW, containing a bath with etchant, divided by a partition into two communicating parts, in the first of which there is a holder with samples, an additional container located above the bath, and a connecting tube, from which it is , in order to improve the profile of the slanting cut and increase the safety of work, the second part of the bath is equipped with an intermediate tank with a neutral liquid floating in the etchant, with the center of gravity of the intermediate tank located below DMS etchant, an additional capacitance is provided with a continuous feed conduit neutral fluid and drain, and soediniteli on the tube is provided with a clamp control valve and the wiring capillaries SL ends are immersed in a neutral intermediate container liquid. WITH

Description

0д0d

.g.g

Изобретение относитс к технике подготовки образцов, к исследованию свойств полупроводниковых материалов и может быть использовано дл контрол качества материалов в производстне полупроводниковых приборов и дл научных исследований.The invention relates to a sample preparation technique, to the investigation of the properties of semiconductor materials and can be used to control the quality of materials in the production of semiconductor devices and for scientific research.

Цель изобретени - улучшение линейности профил косого шлифа и увеличение безопасности работы. The purpose of the invention is to improve the linearity of the profile of an oblique thin section and increase the safety of work.

На чертеже изображено устройство, общий вид.The drawing shows the device, the overall appearance.

Устройство содержит ванну 1, дополнительную емкость 2, держатель 3 образцов 4, травитель 5, перегород ку 6, раздел ющую ванну ,на части 7 и 8, нейтральную жидкость 9, наход щуюс в дополнительной емкости, трубопровод 10 непрерывного подвода нейтральной жидкости в емкость 2, . посто нный слив 11 из этой емкости, промежуточную емкость 12, расположенную в части 8 ванны 1, трубку 13, котора соедин ет емкости 2 и 12 и имеет зажим 14, регулирующий кран 15 и жгут капилл ров 16, соприкасающихс с поверхностью нейтральной жидкости в промежуточной емкости 12 и вьтолненный в виде пучка нитей, прикрепленных к нижнему концу трубкиThe device contains a bath 1, an additional tank 2, a holder 3 of samples 4, an etchant 5, a partition 6 that separates the bath into parts 7 and 8, a neutral liquid 9 in the additional tank, a pipeline 10 for continuously supplying neutral liquid to the tank 2 , a constant drain 11 of this tank, an intermediate tank 12, located in part 8 of bath 1, a tube 13 that connects tanks 2 and 12 and has a clamp 14, a regulating valve 15 and capillary harness 16 in contact with the surface of a neutral liquid in an intermediate tank 12 and executed in the form of a bundle of threads attached to the lower end of the tube

Улучшение линейности профил косого достигаетс за счет посто нной скорости подъема уровн травител , что обеспечиваетс равномерность погружени в травитель промежуточной емкости с помс цью подачи нейтральной жидкости из дополнительной емкости 2 по трубке 13. При этом трубопровод непрерывного подвода 10 и посто нный слив 11 поддерживают УРО вень нейтральной жвдкости в дополнительной емкости посто нным, регулирущий кран 15 обеспечивает требуемую скорость подачи нейтральной жидкоети в промежуточную емкость, а наличи жгута капилл ров предохран ет поверхность от падени капель и сохран ет независимость скорости вытекани нейтральной жидкости из верхней емкости от уровн ее в промежуточной емкости. Расположение центра т жести промежуточной емкости ниже уровн травител , а также наличие жгута капилл ров исключают по вление волнисто .й поверхности шлифа за счет падени капель нейтральной жидкости и качани промежуточной емкости.Improving the linearity of the oblique profile is achieved due to the constant rate of increase of the level of the herbalist, which ensures uniform immersion in the etchant of the intermediate tank with supply of neutral liquid from the additional tank 2 through the tube 13. At the same time, the continuous supply pipe 10 and the constant discharge 11 support the URO level neutral liquid in the additional tank constant, regulating valve 15 provides the required feed rate of neutral liquid to the intermediate tank, and the presence of a capillary harness It prevents the surface from falling droplets and maintains the independence of the rate of flow of neutral liquid from the upper tank to the level in the intermediate tank. The location of the center of gravity of the intermediate tank below the level of the herbalist, as well as the presence of a bundle of capillaries, exclude the appearance of a wavy surface of the thin section due to the fall of drops of neutral liquid and the swing of the intermediate tank.

Безопасность работы увеличиваетс благодар тому, что травитель находитс только в одной емкости, а так .же благодар тому, что соприкасающиес с травителем части установки: промежуточна емкость и держатель с образцами, расположены компактно в ванне, что позвол ет манипулировать ванной при нейтрализации травител без разборки установки.The safety of work is increased due to the fact that the etchant is only in one tank, and also due to the fact that the parts of the installation that are in contact with the etchant: the intermediate tank and the sample holder are arranged compactly in the bath, which allows the bath to be manipulated while neutralizing the etchant without disassembling installation.

Устройство работает следующим образом .Образцы 4 устанавливают с помощью держател 3 в вертикальном положении в ванне 1. Поверхность образцов, не подвергающуюс : травлению, покрывают химически стойким лаком. Ванну 1 заполн ют травителем 5 (например, HNOg : HF 20:1), которьш не касаетс образцов. В дополнительную емкость 2 непрерывно подают нейтральную жидкость 9 со сливом 11 и поддерживают ее уровень Н посто нным. Как только уровень жвдкости в дополнительной емкости 2 установитс , Т-. е. гидравлический напбр будет определ тьс величиной Н, открывают зажим 14 на соединительной трубке 13 и, при заранее установленной краном 15 скорости, подают жвдкость 9 в промежуточную емкость 12. Уровень жидкости в промежуточной емкости 12 не вли ет на гидравлический напор, так как трубка 13 соприкасаетс с жидкостью в течение всего времени травлени через гибкий жгут капилл ров 16 (например, пучок ниток), поэтому промежуточна емкость 12 равномерно заполн етс жидкостью, вызыва равномерньй подъем уровн травител в ванне. ф1 устранени качаний промежуточной емкости 12 центр т жести ее находитс ниже уровн травител в .ванне 1 .The device works as follows. Samples 4 are installed with the help of the holder 3 in a vertical position in the bath 1. The surface of the samples, which is not exposed to: etching, is coated with a chemically resistant varnish. Bath 1 is filled with etchant 5 (for example, HNOg: HF 20: 1), which does not apply to samples. Neutral liquid 9 is continuously supplied to additional tank 2 with drain 11 and its level H is kept constant. As soon as the level of liquidity in the additional tank 2 is established, T-. i.e. the hydraulic pressure gauge will be determined by the value of H, open the clamp 14 on the connecting tube 13 and, at a speed pre-set by the valve 15, feed the fluid level 9 into the intermediate tank 12. The liquid level in the intermediate tank 12 does not affect the hydraulic head, as 13 is in contact with the liquid during the entire time of etching through the flexible towing of the capillaries 16 (for example, a bundle of threads), therefore the intermediate tank 12 is evenly filled with liquid, causing a uniform increase in the level of the etchant in the bath. F1 for eliminating the oscillations of the intermediate tank 12, its center of gravity is below the level of the herbalist in Vanna 1.

Различные участки образцов будут находитьс в травителе 5 различное врем , в результате образуетс угол скоса шлифа, завис щий как от скорости подачи жидкости в промежуточную емкость 12, так и от скорости травлени .Different areas of the samples will be in the etchant 5 at different times, resulting in a slant angle, depending both on the rate at which the liquid is supplied to the intermediate tank 12, and on the rate of etching.

Claims

DEVICE FOR MANUFACTURING SAMPLES WITH A BASIC EQUIPMENT S etched, containing a bath with an etchant separated by a partition into two communicating parts, in the first of which there is a holder with samples, an additional container located above the bathtub, and a connecting tube, revealing that, in order to improve the profile oblique thin section and increase safety, the second part of the bath is equipped with an intermediate tank with a neutral liquid floating in the etchant, and the center of gravity of the intermediate tank is below the level of herbs of Tell, additional capacity is provided continuously feeding conduit neutral fluid and drain, and the connecting tube is provided with a clamp control valve and the wiring capillary ends are immersed in a neutral intermediate container liquid.

SHTG’J>

1 1171692 2