SU1156167A1 - Способ контрол качества электронно-оптических систем - Google Patents

Способ контрол качества электронно-оптических систем Download PDF

Info

Publication number
SU1156167A1
SU1156167A1 SU833678847A SU3678847A SU1156167A1 SU 1156167 A1 SU1156167 A1 SU 1156167A1 SU 833678847 A SU833678847 A SU 833678847A SU 3678847 A SU3678847 A SU 3678847A SU 1156167 A1 SU1156167 A1 SU 1156167A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
stigmator
electron
optical systems
quality control
point
Prior art date
Application number
SU833678847A
Other languages
English (en)
Inventor
Анатолий Дмитриевич Педан
Богдана Ивановна Любинецкая
Original Assignee
Львовский Ордена Ленина Политехнический Институт Им.Ленинского Комсомола
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Львовский Ордена Ленина Политехнический Институт Им.Ленинского Комсомола filed Critical Львовский Ордена Ленина Политехнический Институт Им.Ленинского Комсомола
Priority to SU833678847A priority Critical patent/SU1156167A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1156167A1 publication Critical patent/SU1156167A1/ru

Links

Abstract

СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ прибо ров, включ;зюа(ий определение места положени  точки фокусировки пучка зар женных частиц, отличающийс  тем, что, с целью упрощени  способа за счет осуществлени  контрол  в готовом приборе, на прибор в области расположени  кроссовера электронно-оптических систем устанавливают стигматор, подают на прибор и стнгматор напр жени  питани , перемещают стн-гматор вдоль оси прибора, а местоположение точки фокусировки пучка определ ют в момент преобразовани  крестообразного изображени  на экране прибора в расфокусированное п тно.

Description

Изобретение относитс  к электронной технике и может быть использовано дл  контрол  качества электроннооптических систем (ЭОС) различных приборов. Известен способ контрол  электрон но-оптических систем, включающий определение соосности отдельных деталей и сходимость оптических осей отдельных пушек . Указанный .способ примен етс  в процессе сборки ЭОС, а в процессе его реализации используют дополнительное оборудование, HanpjiMep, микроскоп МБС-2 и т.п. Однако такой способ контрол  достаточно сложен и не позвол ет определить качество ЭОС п рабочем с:осто  нии. Наиболее близким к предлагаемому  вл етс  способ контрол  качества электронно-оптической систем1 1, включающий определение MciCTa положени  точки фокусировки пучка зар женных частиц 2j . Дл  определени  точки фокусировки в известном способе используетс  электронно-оптическа  скам1  , на которую устанавливаетс  исследуема  ЭОС. Недостатками способа  вл ютс  сложность и невозможность.его исполь зовани  дл  готовых приборов. Цель изобретени  - упрощение способа за счет осуществлени  контрол  в готовом приборе. Указанна  цель достигаетс.1 тем, что согласно способу контрол  качест ва электронно-оптических систем, включающему определение места положени  точки фокусировки пучка зар женных частиц, на прибор устанавлива ют в области кроссовера ЭОС стигмато подают на прибор и стигматор напр же ни  питани , перемещают стигматор вдоль оси прибора, а местоположение Точки фокусировки пучка определ ют в момент Преобразовани  крестообразного изображени  на экране прибора в расфокусированное п тно. На чертеже схематически изображен электромагнитный стигматор, использу емьй в качестве индикатора места положени  точки фокусировки пучка зар  женных частиц. Электромагнитный стигматор включа ет в себ  катушку 1 и регулируемый источник 2 питани . Стигматор воздей 1 72 ствует на электронный пучок 3, формируемьй электронно-оптической системой 4 электроннолучевой трубки 5. Дл  определени  места положени  точки фокусировки электронного пучка 3, формируемого электронно-оптической системой 4 электроннолучевой трубки 5, катушку электромагнитного стигматора размещают на горловине электроннолучевой трубки в пространстве дрейфа электронного пучка. На катушку электромагнитного стигматора от источника питани  2 подают переменное напр жение, например промышленной частоты. При расположении средней плоскости стигматора вне места фокусировки пучка на экране электроннолучевой трубки наблюдаетс  характерна  Д.ПН работы стигматора крестообразна  фигура, формирующа с  в результате фокусирующего действи  квадрупольного пол  стигматора. При перемещении стигматора вдоль оси пучка в направлении точки фокусировки штрих-фокусы, образугацие крестообразную фигуру, начинают преобразовыватьс  в эллипсы , а в момент совмещени  средней плоскости с точкой фокусировки приобретают форму расфокусированного п тна, котора  остаетс  неизменной независимо от амплитуды питающего тока. Неизменность формы свет щегос  п тна  вл етс  критерием определени  места положени  точки фокусировки электронного пучка. При дальнейшем перемещении стигматора в том же направлении расфокусированное п тно вновь становитс  эллиптичным. Применение известного электромагнитного стигматора дл  определени  места положени  точки фокусировки зар женных частиц оказалось возможным благодар  взаимно компенсирующему действию квадрупольного пол  стигматора на траектор|ию зар женных частиц до и после точки фокусировки. Так, если в меридиональной плоскости крайние траектории пучка подвергаютс  воздействию первой по ходу пучка половины квадрупольного пол  стигматора и при этом отклон ютс , например, к оси пучка, то, пройд  точку фокусировки, эти траектории должны были бы еще больше удал тьс  от оси, однако, .втора  половина квадрупольного пол  повторно отклон ет траектории к оси и тем самым компенсирует воздействие первой половины 3 пол , в результате фокусирующее действие стигматора на пучок па экране электроннолучевой трубки не на блюдаетс . Экспериментальна  проверка И1гдикатора бьта выполнена на электронно лучевой трубке типа 13ЛК, электронно-оптическа  система которой создает второй кроссвер в пространстве дрейфа. Стигматор, выполненный в виде электромагнитного квадрупол ,размещалс  на горловине трубки за пределами предполагаемой области второго кроссовера и подсоедин лс  -к ЛАТРу. При включении трубки и подаче переменного тока в стигматор на экране трубки наблюдалась характерна  дл  стигматора крестообразна  фигура. Стигматор .перемещалс  вдоль оси горловины в направлении второго кроссвера. В момент совмещени  сред67 кей плоскости стигматора с кроссвером штрих-фокусы крестообразной фигуры приобретали форму неискаженного расфокусированного п тна. Место положени  второго кроссовера в исследуемой электроннолучевой трубке определ лось рассто нием между средней плоскостью квадрупол  и люминофорным покрытием экрана трубки. Это рассто ние составило 405 мм при ускор ющем напр жении 15 кВ и 387 мм при ускор ющем напр жении 10 кВ. Использование данного изобретени  по сравнению с известными способами имеет преимущества, так как стигматор прост по конструкции и может примен тьс  в экспериментальных лаборатори х предпри тий электровакуумной промышленности при исследовании готовых электро1тнолучевых приборов.

Claims (1)

  1. СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ прибо- ров, включающий определение места положения точки фокусировки пучка заряженных частиц, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа за счет осуществления контроля в готовом приборе, на прибор в области расположения кроссове· ра электронно-оптических систем устанавливают стигматор, подают на прибор и стигматор напряжения питания, перемещают стигматор вдоль оси прибора, а местоположение точки фокусировки пучка определяют в момент преобразования крестообразного изображения на экране прибора в расфокусированное пятно.
SU833678847A 1983-12-21 1983-12-21 Способ контрол качества электронно-оптических систем SU1156167A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833678847A SU1156167A1 (ru) 1983-12-21 1983-12-21 Способ контрол качества электронно-оптических систем

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833678847A SU1156167A1 (ru) 1983-12-21 1983-12-21 Способ контрол качества электронно-оптических систем

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1156167A1 true SU1156167A1 (ru) 1985-05-15

Family

ID=21095217

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU833678847A SU1156167A1 (ru) 1983-12-21 1983-12-21 Способ контрол качества электронно-оптических систем

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1156167A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Производство цветных кинес пов. М., Энерги , 1978, с.222-22 2. В.М.Кальман, С.Я.Явор. Электронна оптика. М.-Л., АН СССР, с.119, 1963. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0966752B1 (en) Correction device for correcting the lens defects in particle-optical apparatus
JP2001015055A (ja) 荷電粒子ビームカラム
JPS5871545A (ja) 可変成形ビ−ム電子光学系
US3319110A (en) Electron focus projection and scanning system
US5099130A (en) Apparatus and methods relating to scanning ion beams
US4393310A (en) Method of and device for adjusting a shaped-electron-beam working device
JPS6362321A (ja) 荷電粒子露光装置
SU1156167A1 (ru) Способ контрол качества электронно-оптических систем
US2485754A (en) Electron microscope
EP0150941A1 (en) Charged-particle optical systems
Mulvey Electron microprobes
US3150284A (en) Apparatus for use in conjunction with a cathode ray tube to reduce defocusing and astigmatism of an electron beam thereof
JPS6256623B2 (ru)
US3638064A (en) Convergence deflection system for a color picture tube
US4205253A (en) Elimination of landing errors in electron-optical system of mixed field type
JPS63216256A (ja) 荷電粒子線装置
US11043353B2 (en) Energy filter and charged particle beam apparatus
JPS62160648A (ja) 集束イオンビ−ム装置
WO2021229732A1 (ja) 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置の制御方法
JPS5811073B2 (ja) 粒子線による試料走査形試料像表示装置
KR960010432B1 (ko) 펄스 비임 발생 방법 및 발생 장치
CN108024439A (zh) 一种离子rf加速结构及应用该结构的离子注入机
US4251790A (en) Magnetic focusing and deflection system for electron beam tubes
SU469159A1 (ru) Способ получени растра пучка зар женных частиц
US2802139A (en) Gun system for cathode ray tubes