SU1154526A1 - Интерферометр дл определени линейных перемещений объекта - Google Patents
Интерферометр дл определени линейных перемещений объекта Download PDFInfo
- Publication number
- SU1154526A1 SU1154526A1 SU833543526A SU3543526A SU1154526A1 SU 1154526 A1 SU1154526 A1 SU 1154526A1 SU 833543526 A SU833543526 A SU 833543526A SU 3543526 A SU3543526 A SU 3543526A SU 1154526 A1 SU1154526 A1 SU 1154526A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- interferometer
- face
- laser
- beam splitter
- light beam
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
1. ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТА, содержащий лазер, расщепитель светового луча, референтный отражатель, измерительный отражатель. св зываемый с объектом, и фотоэлементы, отличающийс тем, что, с целью повыщени точности определени , расщепитель светового луча и референтный отражатель выполнены в виде единого блока, установленного по ходу световых лучей между лазером и фотоэлементами и содержащего пентапризму с одной полупрозрачной разделительной гранью и с двум взаимно перпендикул рными зеркальными гран ми, одна из которых параллельна полупрозрачной разделитeJ ьнoй грани. 2. Интерферометр по п. 1, отличающийс тем, что снабжен трехгранной пр моугольной призмой, примыкающей гипотенузной гранью к полупрозрачной разделительной грани пентапризмы. //
Description
&:.
2
й
J
Claims (2)
1. ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТА, содержащий лазер, расщепитель светового луча, референтный связываемый с объектом, и фотоэлементы, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения, расщепитель светового луча и референтный отражатель выполнены в виде единого блока, установленного по ходу световых лучей между лазером и фотоэлементами и содержащего пентапризму с одной полупрозрачной разделительной гранью и с двумя взаимно перпендикулярными зеркальными гранями, одна из которых параллельна полупрозрачной разделительной грани.
2. Интерферометр по π. 1, отличающийся тем, что снабжен трехгранной прямоугольной призмой, примыкающей гипотенузной гранью к полупрозрачной разделительной >
сл сл ю
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833543526A SU1154526A1 (ru) | 1983-01-25 | 1983-01-25 | Интерферометр дл определени линейных перемещений объекта |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833543526A SU1154526A1 (ru) | 1983-01-25 | 1983-01-25 | Интерферометр дл определени линейных перемещений объекта |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1154526A1 true SU1154526A1 (ru) | 1985-05-07 |
Family
ID=21046602
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU833543526A SU1154526A1 (ru) | 1983-01-25 | 1983-01-25 | Интерферометр дл определени линейных перемещений объекта |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1154526A1 (ru) |
-
1983
- 1983-01-25 SU SU833543526A patent/SU1154526A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1. За вка FR № 2375577, кл. G 01 В 9/02, 1978. 2. Авторское свидетельство СССР № 643746, кл. G 01 В 9/00, 1975. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ATE48183T1 (de) | Selektiv lichtdurchlaessige platte. | |
KR880006659A (ko) | 광학픽업장치 | |
JPS5248331A (en) | Scanning system with light beam | |
KR910007622A (ko) | 레이저 광학계 및 이것을 사용한 레이저 가공방법 | |
JPS56137307A (en) | Optical branching filter | |
GB1476911A (en) | Optical interferometer | |
SU1154526A1 (ru) | Интерферометр дл определени линейных перемещений объекта | |
NO774224L (no) | Slepeplate for en lense eller lignende | |
SU1168800A1 (ru) | ДВУХСТУПЕНЧАТЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР, предназначенный, в частности | |
GB1525049A (en) | Displacement-indicating apparatus | |
SU1106984A2 (ru) | Интерферометр | |
SU1260674A1 (ru) | Интерферометр дл измерени линейных и угловых перемещений объекта | |
JPS578407A (en) | Reflector | |
SU1099097A1 (ru) | Сканирующий интерферометр | |
SU1416861A1 (ru) | Интерферометр дл измерени линейных перемещений объекта | |
SU401949A1 (ru) | Светоделительная призма киси | |
SU996862A1 (ru) | Зеркальный умножитель | |
SU1707585A1 (ru) | Трехкоординатный светоделитель | |
SU1213395A1 (ru) | Устройство дл измерени углов с коррекцией вли ни рефракции | |
RU95120809A (ru) | Сферометр | |
SU546837A1 (ru) | Оптическа визирна система | |
SU578562A1 (ru) | Интерферометр дл контрол прогибов кваз плоских поверхностей деталей | |
SU756337A1 (ru) | Способ изготовления оптических уголковых отражателей 1 | |
SU502356A1 (ru) | Призменна телескопическа система | |
SU267964A1 (ru) | Биаксиальный коллиматор |