SU1154526A1 - Интерферометр дл определени линейных перемещений объекта - Google Patents

Интерферометр дл определени линейных перемещений объекта Download PDF

Info

Publication number
SU1154526A1
SU1154526A1 SU833543526A SU3543526A SU1154526A1 SU 1154526 A1 SU1154526 A1 SU 1154526A1 SU 833543526 A SU833543526 A SU 833543526A SU 3543526 A SU3543526 A SU 3543526A SU 1154526 A1 SU1154526 A1 SU 1154526A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
interferometer
face
laser
beam splitter
light beam
Prior art date
Application number
SU833543526A
Other languages
English (en)
Inventor
Виктор Григорьевич Парусимов
Александр Васильевич Полянский
Неонила Владимировна Беспалько
Original Assignee
Главная Астрономическая Обсерватория Ан Усср
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Главная Астрономическая Обсерватория Ан Усср filed Critical Главная Астрономическая Обсерватория Ан Усср
Priority to SU833543526A priority Critical patent/SU1154526A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1154526A1 publication Critical patent/SU1154526A1/ru

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

1. ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТА, содержащий лазер, расщепитель светового луча, референтный отражатель, измерительный отражатель. св зываемый с объектом, и фотоэлементы, отличающийс  тем, что, с целью повыщени  точности определени , расщепитель светового луча и референтный отражатель выполнены в виде единого блока, установленного по ходу световых лучей между лазером и фотоэлементами и содержащего пентапризму с одной полупрозрачной разделительной гранью и с двум  взаимно перпендикул рными зеркальными гран ми, одна из которых параллельна полупрозрачной разделитeJ ьнoй грани. 2. Интерферометр по п. 1, отличающийс  тем, что снабжен трехгранной пр моугольной призмой, примыкающей гипотенузной гранью к полупрозрачной разделительной грани пентапризмы. //

Description

&:.
2
й
J

Claims (2)

1. ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТА, содержащий лазер, расщепитель светового луча, референтный связываемый с объектом, и фотоэлементы, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения, расщепитель светового луча и референтный отражатель выполнены в виде единого блока, установленного по ходу световых лучей между лазером и фотоэлементами и содержащего пентапризму с одной полупрозрачной разделительной гранью и с двумя взаимно перпендикулярными зеркальными гранями, одна из которых параллельна полупрозрачной разделительной грани.
2. Интерферометр по π. 1, отличающийся тем, что снабжен трехгранной прямоугольной призмой, примыкающей гипотенузной гранью к полупрозрачной разделительной >
сл сл ю
SU833543526A 1983-01-25 1983-01-25 Интерферометр дл определени линейных перемещений объекта SU1154526A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833543526A SU1154526A1 (ru) 1983-01-25 1983-01-25 Интерферометр дл определени линейных перемещений объекта

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833543526A SU1154526A1 (ru) 1983-01-25 1983-01-25 Интерферометр дл определени линейных перемещений объекта

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1154526A1 true SU1154526A1 (ru) 1985-05-07

Family

ID=21046602

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU833543526A SU1154526A1 (ru) 1983-01-25 1983-01-25 Интерферометр дл определени линейных перемещений объекта

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1154526A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. За вка FR № 2375577, кл. G 01 В 9/02, 1978. 2. Авторское свидетельство СССР № 643746, кл. G 01 В 9/00, 1975. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE48183T1 (de) Selektiv lichtdurchlaessige platte.
KR880006659A (ko) 광학픽업장치
JPS5248331A (en) Scanning system with light beam
KR910007622A (ko) 레이저 광학계 및 이것을 사용한 레이저 가공방법
JPS56137307A (en) Optical branching filter
GB1476911A (en) Optical interferometer
SU1154526A1 (ru) Интерферометр дл определени линейных перемещений объекта
NO774224L (no) Slepeplate for en lense eller lignende
SU1168800A1 (ru) ДВУХСТУПЕНЧАТЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР, предназначенный, в частности
GB1525049A (en) Displacement-indicating apparatus
SU1106984A2 (ru) Интерферометр
SU1260674A1 (ru) Интерферометр дл измерени линейных и угловых перемещений объекта
JPS578407A (en) Reflector
SU1099097A1 (ru) Сканирующий интерферометр
SU1416861A1 (ru) Интерферометр дл измерени линейных перемещений объекта
SU401949A1 (ru) Светоделительная призма киси
SU996862A1 (ru) Зеркальный умножитель
SU1707585A1 (ru) Трехкоординатный светоделитель
SU1213395A1 (ru) Устройство дл измерени углов с коррекцией вли ни рефракции
RU95120809A (ru) Сферометр
SU546837A1 (ru) Оптическа визирна система
SU578562A1 (ru) Интерферометр дл контрол прогибов кваз плоских поверхностей деталей
SU756337A1 (ru) Способ изготовления оптических уголковых отражателей 1
SU502356A1 (ru) Призменна телескопическа система
SU267964A1 (ru) Биаксиальный коллиматор