SU1149123A1 - Оптико-электронное устройство дл измерени линейных перемещений - Google Patents
Оптико-электронное устройство дл измерени линейных перемещений Download PDFInfo
- Publication number
- SU1149123A1 SU1149123A1 SU833637472A SU3637472A SU1149123A1 SU 1149123 A1 SU1149123 A1 SU 1149123A1 SU 833637472 A SU833637472 A SU 833637472A SU 3637472 A SU3637472 A SU 3637472A SU 1149123 A1 SU1149123 A1 SU 1149123A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- unit
- measured
- measure
- measuring
- photodetectors
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННОЕ УСТРОЙСТВО ДПЯ ИЗЬШРЕШЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ , содержащее монохроматический источник света и последовательно установленные по ходу излучени измерительную и индикаторную дифракционные решетки с одинаковым шагом, блок фотоприемников и блок регистpdi iH , отличающеес тем,, что, с целью повышени точности измерени , индикаторна решетка установлена так, что плоскость расположени ее штрихов составл ет двугранный угол с плоскостью расположени штрихов- измерительной решетки, ребро двугранного угла параллельно штрихам решеток, а блок фотоприемников расположён в вершине угла, образованного пересечением оптических осей пучков одноименных пор дков дифракции на измерительной и (Л индикаторной решетках, так что входна плоскость блока фотоприемников перпендикул рна биссектрисе этого угла.
Description
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и может бьпь использовано в измерительных системах координатно-измерительных машин, станков и приборов активного контрол .
Известно оптико-электронное устройство дл измерени перемещений , содержащее источник света и последовательно расположенные по ходу излучени индикаторную и измерительную растровые решетки и блок фотоприемников 03
Недостатком устройства вл етс низка разрешающа способность вследствие к)упного шага растровых решеток.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретению вл етс оптико-электронное устройство дл измерени линейных перемещений, содержащее монохроматический источник света и последовательно установленные по ходу излучени измерительную и индикаторную дифракционные решетки с одинаковым шагом, блок фотоприемников и блок регистрации 2 .
Недостатком известного устройства вл етс невысока точность измерени вследствие низкой контрастности муаровых полос.
Цель изобретени - повьшение точности измерени .
Дл достижени поставленной цели в оптико-электронном устройстве дл измерени линейных перемещений, содержащем монохроматический источник света и последовательно устанойленные по ходу излучени измерительную и индикаторную дифракционные решетки с одинаковьм ща:гом, блок фотоприемников и блок регистрации, индикаторна решетка установлена так, что плоскость расположени ее штрихов составл ет двугранный угол с плоскостью расположени штрихов измерительнойрешетки, ребро двугра ного угла параллельно штрихам решеток , а блок фотоприемников расположен в вершине угла, об1 азованного пересечением оптических-осей -пучков одноименных пор дков дифракции на измерительной и индикаторной решетках , так что входна плоскость блока фотоприемников перпендикул рна биссектрисе этого угла.
1491232
На чертеже представлена схема оптико-электронного устройства дл измерени линейных перемещений.
Устройство содержит монохроматический источник 1 света и последовательно установленные по ходу излучени измерительную и индикаторную дифракционные решетки 2 и 3 с одинаковым шагом, блок 4 фотоприto емников и блок 5 регистрации. Индикаторна решетка 3 установлена так, что плоскость расположени ее штри .хов составл ет двугранный угол с плоскостью расположени штрихов 15 измерительной решетки 2, ребро двугранного утла параллельно штрихам решеток 2 и 3, а блок 4 фотоприемников расположен в вершине угла, образованного пересечением оптических пучков одноименных пор дков дифракции на измерительной и индикаторной решетках 2 и 3, так что входна плоскость блока 4 фотоприемников перпендикул рна биссектрисе 25 этого угла.
Устройство работает следующем образом .
Луч монохроматического источника 1 с длиной волны Л падает на измери„ тельную дифракционную решетку 2,
имеющую шаг d , под углом i , претерпевает преломление и дифракцию. Ввиду того, что дл большинства профилей дифракционньк решеток интенсивность лучей в пор дках вьш1е первого мала, используютс пучки одноименных первых пор дков дифракции на измерительной и индикаторной дифракционной решетках 2 и 3.
Луч периого пор дка дифракции на измерительной дифракционной решетке 2 выходит из решетки под углом б , определ емым из известного соотношени
«}
5100 « sini -д-
На индикаторную дифракционную решетку 3 падает пучок нулевого пор дка под углом 1 ср . Угол пучка у первого пор дка дифракции излучени на индикаторной решетке 3 определ етс из выражени
5;ny + sini,-cfbj
Claims (1)
- ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ, содержащее монохроматический источник света и последовательно установленные по ходу излучения измерительную и индикаторную дифракционные решетки с одинаковым шагом, блок фотоприемников и блок регистрации, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения , индикаторная решетка установлена так, что плоскость расположения ее штрихов составляет двугранный угол с плоскостью расположения штрихов· измерительной решетки, ребро двугранного угла параллельно штрихам решеток, а блок фотоприемников расположён в вершине угла, образованного пересечением оптических осей пучков одноименных порядков дифракции на измерительной и индикаторной решетках, так что входная плоскость блока фотоприемников перпёндикулярна биссектрисе этого угла.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU833637472A SU1149123A1 (ru) | 1983-08-29 | 1983-08-29 | Оптико-электронное устройство дл измерени линейных перемещений |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU833637472A SU1149123A1 (ru) | 1983-08-29 | 1983-08-29 | Оптико-электронное устройство дл измерени линейных перемещений |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1149123A1 true SU1149123A1 (ru) | 1985-04-07 |
Family
ID=21079990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU833637472A SU1149123A1 (ru) | 1983-08-29 | 1983-08-29 | Оптико-электронное устройство дл измерени линейных перемещений |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1149123A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2534378C1 (ru) * | 2013-05-13 | 2014-11-27 | Федеральное государственное бюджетное учреждение "Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова" | Датчик линейных перемещений |
-
1983
- 1983-08-29 SU SU833637472A patent/SU1149123A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 1. Фотоэлектрические преобразователи информации. Под ред. Л.Н. Преснухииа, М., Машиностроение, 1974, с. 180. 2. Bucrh J.M. The metrological applications of diffraction gratings. - Progress in optics, V. 2, 1963 p. 85-106 (прдтотип). * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2534378C1 (ru) * | 2013-05-13 | 2014-11-27 | Федеральное государственное бюджетное учреждение "Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова" | Датчик линейных перемещений |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5214280A (en) | Photoelectric position detector with offset phase grating scales | |
| SU1450761A3 (ru) | Устройство дл измерени относительных перемещений двух объектов | |
| GB1516536A (en) | Measuring apparatus | |
| US10670431B2 (en) | Encoder apparatus that includes a scale and a readhead that are movable relative to each other configured to reduce the adverse effect of undesirable frequencies in the scale signal to reduce the encoder sub-divisional error | |
| DE3776742D1 (de) | Lichtelektrische winkelmesseinrichtung. | |
| US4606642A (en) | Measuring arrangement for the clear scanning of at least one reference mark allocated to a graduation | |
| US3900264A (en) | Electro-optical step marker | |
| JPS58191907A (ja) | 移動量測定方法 | |
| SU1149123A1 (ru) | Оптико-электронное устройство дл измерени линейных перемещений | |
| US4231662A (en) | Phase shift correction for displacement measuring systems using quadrature | |
| CN1032757A (zh) | 火花电蚀加工机 | |
| CN106247992A (zh) | 一种高精度、宽范围和大工作距自准直装置与方法 | |
| US4867568A (en) | Optoelectronic measuring system | |
| CN212180228U (zh) | 一种光栅周期的测量装置 | |
| ATE48699T1 (de) | Lichtelektrische laengen- oder winkelmesseinrichtung. | |
| JPS5963517A (ja) | 光電式エンコ−ダ | |
| JP2571694B2 (ja) | レベル測量用スタッフの光ファイバを利用した受光位置検出装置 | |
| JPS6232403B2 (ru) | ||
| JPH08320205A (ja) | 干渉縞の評価装置及びそれを用いた回折干渉光学系の検査方法 | |
| JP2861804B2 (ja) | 測長装置 | |
| EP3527953B1 (en) | Methods to calculate the shape of a mask slots of an optical incremental encoder | |
| JPH0733134Y2 (ja) | 光学式変位検出装置 | |
| SU1696855A1 (ru) | Двухкоординатный оптикоэлектронный угломер | |
| JPH0454166B2 (ru) | ||
| SU823273A1 (ru) | Оптико-электронное измерительноеуСТРОйСТВО |