SU1145499A1

SU1145499A1 - Remover for microparts

Info

Publication number: SU1145499A1
Application number: SU823491521A
Authority: SU
Inventors: Владимир Дмитриевич Карабанов; Анатолий Сергеевич Прибыловский; Борис Николаевич Фатюнин
Original assignee: Предприятие П/Я А-3759; Войсковая Часть 73790
Priority date: 1982-09-16
Filing date: 1982-09-16
Publication date: 1985-03-15

Abstract

СЪЕМНИК ДЛЯ МИКРОДЕТАЛЕЙ, содержащий корпус, в котором шарнирно закреплен захват в виде подпружиненного поворотного рычага и изолированный от корпуса, подключенный к источнику тока электронагреваемый наконечник, отличающийс тем, что, с целью повышени качества изделий, электронагреваемый наконечник выполнен в виде петли, а рабоча поверхность захвата в сечении имеет трапецеидальную форму. i (/) С ftn hUMICRODETER REMOVER, comprising a case in which the grip is hinged in the form of a spring-loaded pivot arm and insulated from the case, an electrically heated tip connected to the current source, characterized in that, in order to improve the quality of products, the electrically heated tip is made in the form of a loop, and the working surface The grip section has a trapezoidal shape. i (/) From ftn hU

Description

1 Изобретение относитс к.технолог ческому оборудованию, используемому при производстве микроэлектронных деталей. Известен съемник плоских микромо дулей, содержащий захватывающие губ ки, шйрнирно закрепленные на подпру жиненном штоке, установленные между двум подвижными опорами. В этом устройстве демонтируемьй модуль за , хватьшаетс губками, а выводы микро модул разогреваютс па льником и модуль извлекаетс из платы разжима щейс пружиной ij . Недостаток этого устройства состоит в Необходимости использовани па льника, повреждающего соседние детали на плате. Наиболее близким по технической сущности к изоб ретению вл етс съемник микродеталей, содержап1ий корпус, в котором шарнирно закрепле захват в виде подпружиненного поворотного рычага и изол ир0ванный от корпуса, соединенный с источником тока нагревательньй наконечник дл разогрева креп щего микродетали вещества 2j . Однако известный съемник не пригоден дл съема с подложки микродеталей , установленных с зазором между ними в пределах до 1,5 мм. Цель изобретени - повьшение качества изделий. Указанна цель достигаетс тем, что в съемнике дл микродёталей, содержащем корпус, в котором шарнир но закреплен захват, в виде подпружи ненного поворотного рычага и и.- олированный от корпуса, подключенный к источник.у тока электронагреваемый наконечник, последний выполнен в ви де петли а рабоча поверхность зах вата в сечении имеет трапецеидальную форму. На фиг, 1 показан съемник, разре на фиг. 2 - захват и нагревательный элемент съемника; на фиг. 3 - сечение А-А на фиг. 2. Съемник содержит размещенную в корпусе 1 и закрепленную на изолирую щей втулке 2 пружину 3, на конце которой закреплена пластина из диэлектрика 4. На пластине 4 установл ны зажимы 5 дл подключени электро нагреваемого наконечника 6. На нижней стороне пластины А размещен KOF) такт 7, соединенный проводником 8 с 9 J источником тока 9 и взаимодействуюдий с контактом 10, закрепленным в корпусе 1. С источником тока соединен также и электронагреваемый наконечник 6. Над электронагреваемым наконечником 6 установлен захват 11, шарнирно закрепленный в корпусе выполненный в виде рычага, носок 12 . которого выступает из корпуса. Носок 12 имеет с внутренней стороны трапецеидальное сечение. Захват 11 подпружинен пружиной 13, а электронагреваемый наконечник выполнен в виде петли. Источник тока съемника содержит блок регулировки энергии импульса, который может быть выполнен в виде автотрансформатора 14. Схема формировани импульса может иметь множество вариантов исполнени , например в виде накопительного конденсатора большой емкости 15,соединенного через выпр митель 16 с автотрансформатором . 14 через ограничительное сопротивление 17 и через тиристор 18 с электронагреваемым наконечником 6. Дл управлени тиристором 18 использован генератор 19 импульсов, соединенный с контактом 7. .При необходимости сообщени электронагреваемому наконечнику- 6 большего количества . энергии следует использовать более сложную схему. Съемник работает следующим образом . При необходимости удалени с.подложки дефектной детали, полученной путем резки полупроводниковой плас-, тины, выращенной на подложке, покрытой тонким слоем легкЬплавкого материала , поступают следующим образом.. Съемник подноситс к детали. Захват 11 отжимаетс и отпускаетс .При этом он прижимает деталь к электронагреваемому наконечнику 6, охватъ вающему ее по дериметру. Далее путем нажати на корпус съемника в направлении подложки размыкают контакты 7 и 10. В этот момент срабатывает ге|нератор 19 источника и открывает тиристор 18. Зар д, накопленный в конденсаторе 15, проходит через электронагреваемый наконечник 6 и разогревает его, а вместе с ним и снимаемую микродеталь, котора отдел етс от подложки. Поскольку конденсатор 15 отделен от выпр мител ограничительным сопротивлением, напр жение на 1 The invention relates to technological equipment used in the manufacture of microelectronic parts. A stripper of flat micromodules is known, which contains gripping lips, shirnirnah mounted on a spring-loaded rod, mounted between two movable supports. In this device, the dismountable module is removed by jaws, and the outlets of the micro module are heated by a blade and the module is removed from the board by unlocking the spring ij. The disadvantage of this device is the need to use a coil that damages adjacent parts on the board. The closest to the technical essence of the invention is a microdetails remover containing a housing in which the grip is fixedly fixed in the form of a spring-loaded pivoting lever and insulated from the housing, connected to a current source of a heating tip for heating the holding microdetale of the substance 2j. However, the known remover is not suitable for removing micro components from the substrate, which are installed with a gap between them up to 1.5 mm. The purpose of the invention is to improve the quality of products. This goal is achieved by the fact that in the micro-part puller, comprising a body in which the grip is fixed, a spring-loaded rotary lever and an electrically heated tip connected to the source of current are looped from the body. and the working surface of the gripper has a trapezoidal cross-section. FIG. 1 shows a puller, shown in FIG. 2 - capture and heating element of the puller; in fig. 3 is a section A-A in FIG. 2. The puller contains a spring 3 placed in the housing 1 and secured to the insulating sleeve 2, at the end of which a dielectric plate 4 is fixed. Clamps 5 are mounted on the plate 4 to connect an electrical heated tip 6. Plate A is placed on the lower side of plate A 7, connected by conductor 8 to 9 J current source 9 and interacting with contact 10 fixed in housing 1. Electroheating lug 6 is also connected to the current source. A gripper 11 is mounted above the electrically heated lug 6 Pusa made in the form of a lever, a sock 12. which protrudes from the hull. Sock 12 has a trapezoidal cross section on the inside. The gripper 11 is spring-loaded spring 13, and the electrically heated tip is made in the form of a loop. The puller current source contains a pulse energy adjustment unit, which can be made in the form of an autotransformer 14. The pulse shaping circuit can have many variants, for example, a large-capacity storage capacitor 15 connected via rectifier 16 to the autotransformer. 14 through a limiting resistance 17 and through a thyristor 18 with an electrically heated tip 6. A pulse generator 19 is used to control the thyristor 18, connected to contact 7. .If there is a need to communicate a larger quantity to the electrically heated tip. energy should use a more complex scheme. The puller works as follows. If it is necessary to remove the baseplate of a defective part, obtained by cutting a semiconductor plastics, tina, grown on a substrate covered with a thin layer of lightly melting material, proceed as follows. The puller is brought to the part. The gripper 11 is pressed and released. At the same time, it presses the workpiece against the electrically heated tip 6, which grips it along the meter. Next, by pressing the puller body in the direction of the substrate, contacts 7 and 10 open. At this moment the source generator 19 is triggered and the thyristor 18 opens. The charge accumulated in the capacitor 15 passes through the electrically heated tip 6 and heats it and a removable microdetal that separates from the substrate. Since capacitor 15 is separated from the rectifier by limiting resistance, the voltage across

3131

нем падает практически до нул и тиристор 18 размыкаетс . Источник тока готов к новому циклу.it drops almost to zero and the thyristor 18 opens. The current source is ready for a new cycle.

Как видно из указанного выше, пет леобразный электронагреваемый наконечник 6 и захват 11 охватьтают снимаемую деталь, не задева соседние детали. Кратковременность воздействи тока исключает возможность ихAs can be seen from the above, the loop-shaped electrically heated tip 6 and the grip 11 cover the part to be removed without touching the adjacent parts. The short duration of the current excludes the possibility of their

994 . .994. .

повреждени .. После удалени всех дефектных деталей подложку разогревают целиком или подвергают воздействию ультразвука и тем самым отдел ют от нее остальные детали. Такой подход к отбраковке микродеталей позвол ет существенно упростить работу и повысить производительность труда. damage. After removing all defective parts, the substrate is heated in whole or exposed to ultrasound and thus the rest of the parts are separated. Such an approach to the rejection of microdetails can significantly simplify work and increase productivity.

Фиг.22

Риг,3Rig 3

Claims

MICRODETAIL REMOVER, comprising a housing in which a grip in the form of a spring-loaded swing arm is pivotally secured and isolated from the housing, connected ₍ to a power source, an electric heated tip, characterized in that, in order to improve the quality of products, the electric heated tip is made in the form of a loop, and the working surface of the capture in cross section has a trapezoidal shape.

P. 4.5499

1 1145499