SU1124389A1 - Конденсатор с электростатическим возбуждением - Google Patents

Abstract

КОНДЕНСАТОР € ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИМ ВОЗБУЖ ЩНИЕН, содержащий вакуумированный корпус с размещенными . в кем электродами, расположенными на мембране в изол торах, отличающийс  тем«что, с целью улучшени  электрических характеристик конденсатора , он снабжен кольцевыми неталличес кими прокладками ,расположенными между изол торами и мембраной, причем изол торы выполиены вакуумплотными. г е Ю 4 00 /

Description

Изобретение относитс  к электроизмерительной технике и касаетс  кон струкции изготовлени  конденсатора с электростатическим возбуждением который может быть использован в электрометрических усилител х дл  преобразовани  слабых и сверхслабых сигна лов посто нного тока в переменные и S приборах дл  измерени  электростатических полей. В известной конструкции коидеиса тора с электростатическим возбуждением электроды, нанесенные на рабочие поверхности изол торов и мембран помещены в вакуумированный баллон« изготовленный из стекла или ме-галла. Баллон имеет откачное отверстие, к которому привариваютс  ютенгель длА вакуумиррвани  и последующей герметизации fl } Использование металлического баллона приводит к увеличению паразитных емкостей, а следовательно, к сни жению, эффективного коэффициента преобразовани  и уменьшению чувствитель ности. Кроме того, конструкции таких конденсаторов содержат вспомогательные элементы, такие как токовводы дополнительные изол торы и элементы креплени , что дополнительно приводи к увеличеЮ1ю паразитных емкостей и токов и к снижению чувствительности. Наиболее близким по технической сущности к изобретению  вл етс  конденсатор с электростатическим воэбу  дением. Содержащий вакуумированный корпус с размещенными в нем электродами , расположенными на мембране и изол торах С ЗОсиовш недостатком этой конструк ции  вл етс  наличие откачного отверсти  и, следовательно, дополнительного объема стекла, образованного приваренгалм к нему штенгелем, Мее то приварки ште гел   вл етс  концен тратором механических напр жений, что приводат к увеличению паразитных токов и снижению чувствительности измерительного устройства. Цель изобретени  - улучшение элек трических характеристик конденсатора Указанна  цель достигаетс  тем, что конденсатор с электростатическим возбуждением, содержащий вакуумированный корпус с размещенными в нем электродами, расположенными на мембране и изол торах, снабжены кольцевыми металлическими прокладками, рас положенными мелзду изол торами и мембраной , причем изол торы выполнены вакуумплотными. На фиг.I изображен предлагаемый конденсатор, разрез; на фиг.2 - разрез А-А иа фиг,1 Конденсатор с электростатическим возбуадением содержит корпус, выполненный из двух цилиндрических изол торов I и 2, .между которыми находитс  мембрана 3, На рабочие поверхности изол торов и мёмбршш нанесены танталовые пленочшле электроды 4 и 5. На соприкасающиес  поверхности 6 и 7 изол торов и мембраны нанесены кольцевые металлические прокладки 8, KOToi e шлтолн ют роль вакуумного уплотнени  и роль электрического контакта пленочного электрода 5, нанесенного на , с выводом 9. Выводы 9 н 10 выполнены из титана и впа ны в изол торы. Изол торы и мембрана изготовлены из сапфира. В качестве материала кольцевых прокладок 8 использован индий с подслоем хрома. Кольцеа е металлические плен- ки нанос тс  на соприкасаюпфиес  поверхности после нанесени  электродов 4 и 5, После нанесени  кольцевых металлических прокладок 8 изол торы 1,2 и мембрана 3 помещаютс  в вакуумируемую камеру и располагаютс  таким образом , .что между ними оставалс  зазвр 2-3 мм. После откачки . камеры изол торы и мембрана прогреваютс  до 200-300 С н выдерживаютс  при этой температуре 6-10 ч с целью обезгаживани , затем изол торы сжимаютс  по осевс линии с усилием 5-8 кг. При этом происходат спай изол торов с мембраной по соприкасак цимс  поверхност м 6 и 7, затем производ т охлажде  е конденсатора в камере снимают нагрузку, вакуумируемую камеру разгерметизируют и вынимают готовый конденсатор электроды которого наход тс  в вакууме. Таким образом, сборка, обезга о вание и герметизаци  осуществл етс  в вакууме, после чего конденсатор не требует дополнительного вакуумировани . Изготовленшлй таким образом конденсатор ие имеет дополнительного закуумируемого баллона или откачных отверстий, к которым припаиваетс  щтенгель, что приводит к увеличению чувствительности.

Технологические операции нанесени  электродов и кольцевых пленок, а также сжатие изол торов производ тс  В одной и той же вакуумной установке , что упрощает технологию изготовлени  конденсатор по сложности и кол11честву операций, а также по

количеству используемого разнородного оборудовани .

Испытани  образцов новой конструкции в электрической аппаратуре показали , что использование предлагаемого конденсатора повышает чувствительность аппаратуры в 1,5-2 раза.

в

f.2

Claims (1)

1. КОНДЕНСАТОР С ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИМ ВОЗБУЖДЕНИЕМ, содержащий вакуумированный корпус с размещенными . в нем электродами, расположенными на мембране в изоляторах, отличающийся тем,Что, с целью улучшения электрических характеристик конденсатора, он снабжен кольцевыми металлическими прокладками«расположенными между изоляторами и мембраной, причем изоляторы выполнены вакуумплотными.

   1124389 1 положенными между изоляторами и мембраной, примем изоляторы выполнены вакуумплотными.

   На фиг.1 изображен предлагаемый Конденсатор, разрез; на фиг.2 - разрез А-А иа фиг.I>

   Конденсатор с электростатическим возбуждением содержит корпус, выпол-^т ненный из двух цилиндрических изоляторов 1 и 2, между которыми находится мембрана 3. На рабочие поверхности изоляторов и мембраны нанесены танталовые пленочшяе электроды 4 и 5. На соприкасающиеся поверхности 6 и 7 изоляторов и мембраны нанесены кольцевые металлические прокладки 8, которые выполняют роль вакуумного уплотнения и роль электрического контакта пленочного электрода 5, нанесенного на мембрану, с выводом 9. Выводы 9 и 10 выполнены из титана и впаяны в изоляторы. Изоляторы и мембрана изготовлены из сапфира. В качестве материала кольцевых прокладок 8 использован индий с подслоем хрома. Кольцевые металлические пленки наносятся на соприкасающиеся поверхности после нанесения электродов 4 и 5. ·