Изобретение относитс к измерительной технике, а именно к технологии изготовлени тензометрических датчиков на базе замкнутых тензорезисторных мостов.The invention relates to a measurement technique, in particular, to the technology of manufacturing strain gauge sensors based on closed strain gauge bridges.
Известен способ балансировки замкнутого тензорезисторного моста, заключающийс в регулировании сопротивлений тензорезисторов путем включени дополнительных резисторов последова- 10 тельно или параллельно с рабочими тензорезисторами моста l.1. Недостатком этого способа вл етс наличие дополнительных сопротивлений. включаемьпк последовательно или парал лельно с тензорезисторами. Кроме то , баланс моста определ етс по условию равенства произведений сопротивлений противолежащих плеч, что ухудшает симметрию мостовой схемы. Наиболее близким к изобретению по технической сущности вл етс способ балансировки замкнутого тензорезистор ного моста, заключающийс в том, что регулируют сопротивлени тензорезисторов моста путем изменени их поперечных размеров, в соответствии с которым регулирование прекращают когда напр жение разбаланса в измеритель ной диагонали моста равно нулю С23 . Недостатком известного способа вл етс то, что не достигаетс симметри мостовой скемы, это снижает точность балансировки. Цель изобретени - повышение точности балансировки монолитных мостов путем достижени симметрии мостовой схемы. Указанна цель достигаетс тем, что согласно способу балансировки замкнутого тензорезисторного моста, заключающемус в том, что регулируют сопротивлени тензорезисторов моста лутем изменени их поперечных размеров , измер ют сопротивлени тензорезисторов до балансировки, выбирают теН орезистор с экстремальным сопротивлением и поочередно регулируютсопротивлени тензорезисторов остальных плеч моста до равенства с выбранным .A known method of balancing a closed strain gauge bridge involves regulating the resistances of the strain gauges by turning on additional resistors sequentially or in parallel with the working strain gauges of the bridge l.1. The disadvantage of this method is the presence of additional resistances. include sequentially or in parallel with strain gages. In addition, the balance of the bridge is determined by the condition of equality of the products of resistances of the opposite shoulders, which degrades the symmetry of the bridge circuit. The closest to the invention according to the technical essence is the method of balancing a closed resistance strain bridge, which regulates the resistances of the bridge resistance strain gauges by changing their transverse dimensions, according to which the regulation is stopped when the voltage unbalance in the measuring diagonal of the bridge is zero C23. The disadvantage of this method is that the symmetry of the bridge skeleton is not achieved, this reduces the balancing accuracy. The purpose of the invention is to improve the accuracy of balancing monolithic bridges by achieving symmetry of the bridge circuit. This goal is achieved in that according to the method of balancing a closed strain gauge bridge, which consists in adjusting the resistance of the bridge strain gauges to change their transverse dimensions, measure the resistance of the strain gauges before balancing, choose a thermoelectric resistor with extreme resistance, and cut the resistance cutters. with selected.
Равенство сопротивлений можно определить при этом, например, по равенству напр жений на выбранном и регулируемом тензорезисторах, задава через них равные по величине и противоположные по знаку токи.Equality of resistance can be determined in this case, for example, by the equality of the voltages on the selected and controlled strain gages, by setting through them currents of equal magnitude and opposite in sign.
На чертеже изображено устройство дл реализации предлагаемого способа.The drawing shows a device for implementing the proposed method.
К тензорезисторному мосту 1, содержащему тензорезисторы, обозначенные как Е , Й2 Ъ и подключены источники 2 тока и нуль-орган 3. Способ реализуетс следующим образом . Перед балансировкой, не наруша схемы моста, измер ют сопротивлени тензорезисторов й/( , Рг Яч одним из известных способов, выбирают тензорезистор с экстремальным значением сопротивлени , например, с максимальным , и принимают его за эталонное значение. Дл однозначности примем, что максимальное значение сопротивлени имеет тензорезистор . Затем поочередно регулируют сопротивлени тензорезисторов RZ. , Rj j Rzf До равенства с выбранным. Дл этого измен ют поперечные размеры тензорезисторов с помощью, например, лазерного излучени травлени , механической обработкой и т.п. Момент прекращени регулировани определУ1ют по равенству напр жений на выбранном, R/i , и регулируемом , например , тензорезисторах . Дл этого через резистор Ц, и резистор Ri, от двух источников тока 0 и Cfj, задают равные по величине и противоположные по знаку токи . Равенство сопротивлений ( и Йц определ ют по показани м нуль-органа 3. Сопротивлени R. и Rj, регулируют аналогично. Балансировку оканчивают когда выполн етс условие RA Предложенный способ позвол ет симметрировать мост и обеспечить более высокую точность балансировки.To a strain gauge bridge 1 containing a strain gauge, labeled E, H2 b, current sources 2 and a null organ 3 are connected. The method is implemented as follows. Before balancing, without violating the bridge circuit, measure the resistance of the strain gauges x / (, Pr Yach by one of the known methods, choose a strain gauge with an extreme resistance value, for example, maximum, and take it as a reference value. For unambiguity, we assume that the maximum resistance value has a strain gauge. Then alternately adjust the resistance of the strain gauges RZ., Rj j Rzf until it is equal to the selected. To do this, change the transverse dimensions of the strain gauges using, for example, laser radiation etching , machining, etc. The moment of termination of regulation is determined by the equality of the voltages on the selected, R / i, and regulated, for example, resistance strain gages. For this, through the resistor C, and the resistor Ri, from two current sources 0 and Cfj, set equal in value and opposite in sign currents. Equality of resistance (and Yc is determined by the null-organ indications 3. Resistances R. and Rj are adjusted similarly. Balancing is completed when condition RA is met. The proposed method allows to symmetrize the bridge and provide a higher Its precision balancing.