SU1114528A1 - Устройство дл обработки фасок на полупроводниковых пластинах - Google Patents

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ФАСОК НА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИНАХ, содержащее смонтированные на станине шпиндель издели  с держателем, шпиндель инструмента с приводом его вращени  и механизм относительного перемещени  инструмента и издели , отличающеес  тем, что, с целью повышени  качества обработки путем самоустановки издели  относительно инструмента вдоль оси, шпиндель издели  выполнен полым, а держатель установлен в нем с возможностью свободного осевого перемещени  без относительного про ворота. i (Л У

Description

Изобретение относитс  к автоматизации и механизации технологических процессов обработки деталей, в частности к оборудованию дл  си ти  фасок с периферии полупроводниковых пластин. Известно устройство дл  обработки периферии полупроводннковых пластин, содержа 1цее вращающийс  держатель нздели .шпиндель с инструментом V-образного профил  и приводом его вращени , а также механизм дл  подвода и отвода инструмента 1. Недостатком устройства  вл етс  некачественна  обработка периферии полупроводниковых пластин (разлнчна  форма и размеры фасок) из-за сложности точной устаиовки пластины относительно V-образного паза. т. е. несовпадени  оси симметрии пластины и инструмента. Целью изобретени   вл етс  повышение качества обработки периферии пластин путем самоустановки издели  относительно инструмента вдоль осн. Поставленна  цель достигаетс  тем, что в устройстве дл  обработки фасок на полупроводниковых пластинах. содержащем смонтированные на станине шпиндель издели  с держателем, шпиндель инструмента с приводом его вращени  и механизмом относительного перемещени  инструмента и изделий, шпиндель нздели  выполнен полым, а держатель установлен в нем с возможностью свободного осевого перемещени  без относительного проворота. На чертеже показана принципиальна  рхема устройства. На подшнпниковых опорах 1 установлен вращающийс  полый вал 2 с фланцем на )дном конце и шкивом 3 на другом. Сквозь aл 2 проходит держатель 4 пластин, имею1ИЙ на одном конце фланец, который служит толиком дл  закреплени  обрабатываемых пластин, а на другом - узел подвода ва куума 5. Столик держател  4 сб заи с флан цем вала 2 при помощи штифтов, исключаю щих их относительный проворот, но не преп тствующих осевому смещеиию держател  4. На подшипннковых опорах 6 смонтирован щпиндель 7 с режущим инструментом 8 и шкивом 9. Кроме этого, устройство содержит ступен чатый сегмент 10 дл  орнентации пластины относительно центра столика, приводные двнгатели II и 12 и упругий элемент 13 вращени  издели  14 и шпиндел  7 параллельны и располагаютс  в горизонтальной плоскости с целью исключени  действи  масс конструкции иа осевое перемещеиие держател  4. Устройство работает следующим образом . Полый вал 2 с держателем 4 перемещаютс  влево. Пластина 14 ориентируетс  с помощью ступенчатого сегмента 10, а прн включении вакуума закрепл етс  на столике держател  4. Включаютс  приводы П и 12 вращени  держател  н инструмента. С помощью упругого элемента 13 пластина 14 прижимаетс  к режущему инструменту 8. Различие толщины пластин 14 автоматически компенсируетс  за счет самоустановки относительно оси паза осевым смещением держател  4 под действием сил резани  до совпадени  плоскостн симметрии ииструмента и пластины. По окончанни обработки держатель 4 с пластиной 14 отвод тс  в исходное положение , вакуум отключаетс  и пластина сннмаетс . Устройство обеспечивает качественную обработку полупроводниковых пластин за счет самоустановки их относнтельно оси профил  инструмента

Claims (1)

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ФАСОК НА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

   ПЛАСТИНАХ, содержащее смонтированные на станине шпиндель изделия с держателем, шпиндель инструмента с приводом его вращения и механизм относительного перемещения инструмента и изделия, отличающееся тем, что, с целью повышения качества обработки путем самоустановки изделия относительно инструмента вдоль оси, шпиндель изделия выполнен полым, а держатель установлен в нем с возможностью свободного осевого перемещения без относительного про ворота.

   WFTTT'TiS

   1114528.